50
3.4.3 Pengukuran Kerapatan
Kerapatan cairan merupakan besarnya massa setiap satuan volume. Banyak cara untuk pengukuran kerapatan cairan yang telah dikenal, antara lain tabung
getaran, penimbangan, gaya apung buoyancy, tekanan hidrostatik dan hamburan gamma gamma ray. Peralatan dalam pengukuran berdasarkan semua prinsip
sensor yang tersedia secara komersial dan digunakan untuk pengukuran kepadatan dalam aplikasi proses yang berbeda. Namun, kesesuaian dalam aplikasi yang
diberikan dapat bervariasi sesuai dengan penggunaan khusus Bjondal, 2007. Penimbangan atau piknometri menggunakan volume yang dikenal V diisi
dengan cairan untuk mendapatkan densitas cairan dengan menimbang massa m menurut persamaan:
=
Metode laboratorium untuk memperoleh kerapatan cairan didominasi oleh prinsip ini. Sebuah ketidakpastian relatif kurang dari 1.10
-6
dapat diperoleh dan peralatan didasarkan pada prinsip ini berfungsi sebagai metode yang paling
akurat. Selain menggunakan piknometer, prinsip pengukuran ini dapat diterapkan untuk setiap bejana, atau menjadi bagian dari sistem pipa yang ada fluida
mengalir. Pengukuran ini dilakukan sebanyak tiga kali untuk masing-masing sampel photoresist. Hasil pengukuran yang diperoleh dari tiga kali pengukuran
tersebut selanjutnya dihitung nilai rata-ratanya. Hasil rata-rata tersebut merupakan nilai kerapatan photoresist yang dicari.
51
3.4.4 Pengukuran Viskositas
Kesesuaian viskositas merupakan hal yang penting dalam rangka untuk menyeimbangkan persyaratan yang terlibat dalam langkah proses yang berbeda
Campo et al., 2007. Pemilihan komposisi photoresist, yaitu jumlah pelarut dan viskositas larutan merupakan hal yang sangat penting Pham et al., 2004. Oleh
karena itu, karakterisasi viskositas perlu dilakukan untuk mengetahui sifat kekentalan cairan photoresist.
Karakterisasi viskositas dilakukan dengan viskometer rotasional LV series viscometer spindle number. Pada viskometer rotasional, cairan diselidiki di ruang
antara dua badan koaksial silinder. Salah satu dari badan ini bergerak, dan lainnya tetap. Viskositas ditentukan oleh momen torsi dengan kecepatan sudut
tertentu atau dengan kecepatan sudut pada saat torsi diberikan. Karakterisasi viskositas photoresist dilakukan pada tiga sampel photoresist dengan komposisi
yang berbeda. Dari tiga sampel tersebut selanjutnya dianalisis hubungan nilai viskositas terhadap komposisi photoresist. Data yang dihasilkan disajikan dalam
grafik hubungan.
3.5 Analisis Data