Sifat Listrik PENGARUH SUHU DEPOSISI TERHADAP SIFAT FISIS FILM TIPIS SENG OKSIDA DOPING GALIUM OKSIDA DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING

2.9 Sifat Listrik

Sifat listrik film tipis dapat diketahui dari konduktivitas, resistivitas dan pembawa muatannya. Pada saat medan listrik diberikan pada suatu material, elektron dalam material tersebut akan mengalir berlawanan dengan arah medan dan membawa arus listrik. Bahan semikonduktor mempunyai dua jenis pembawa muatan yaitu elektron dan hole. Konduktivitas listriknya dapat dinyatakanKittel, 1996 dalam persamaan 2.7. = 2.7 dengan adalah waktu hidup lifetime elektron. Konduktivitas listrik dapat dirumuskan dalam suku mobilitas, dituliskan pada persamaan 2.8. = ne 2.8 Koduktivitas listrik , selain bergantung pada mobilitas pembawa muatan , Vs juga bergantung pada konsentrasi pembawa muatan n, dan besar muatan e, Coulomb. Pengukuran dengan I-V meter menggunakan prinsip kerja mikrokontroler SoC 8051Foo6 yang berisi mikroposesor dengan transistor MOS, mengeluarkan bit-bit digital yang diubah menjadi tegangan DC oleh pengubah digital ke analog DACdigital to analog converter sehingga menjadi sumber tegangan terpogram yang keluarannya diatur oleh mikrokontroler. Tegangan keluaran tersebut diterapkan kepada devais uji dan arus mengalir didalam devais uji tersebut.Arus tersebut dibaca oleh elektrometer arus yang keluarannya berupa tegangan, diubah menjadi digital oleh ADC analog to digital converter, dan kemudian diberikan ke mikrokontroler. Dalam suatu siklus ini mikrokontroler memilki sepasang data yaitu tegangan V yang diberikan ke devais uji dan arus I yang mengalir didalam devais uji tersebut.Siklus tersebut diulangi lagi untuk tegangan yang berbeda hingga seluruh tegangan yang diinginkan selesai. Pasangan-pasangan data V,I tersebut selanjutnya diolah oleh mikrokontroler dan dikirimkan ke komputer melalui protokol komunikasi serial RS232 untuk disimpan atau diperagakan di display dalam bentuk kurva I-V. Hal ini dijelaskan dalam Gambar 2.4. Gambar 2.4 Diagram blok system I-V meter untuk menghasilkan kurva arus-tegangan dari sebuah devais uji 24 BAB 3 METODE PENELITIAN

3.1 Pelaksanaan Penelitian