Cacat nol Dimensi Cacat Dua Dimensi Cacat Tiga Dimensi

2.8.1 Cacat nol Dimensi

Cacat titik digolongkan menjadi tiga macam yaitu kekosongan vacancy, intertitial dan antisite. Kekosongan adalah cacat kristal yang terjadi karena atom- atom tidak menempati posisi pada kristal sehingga posisi atom tidak terisi kosong. Cacat titik yang sederhana adalah kekosongan, lokasi atom dari suatu atom yang hilang dan ini sering dikenal dengan schottky defect. Kekosongan disebabkan karena adanya gangguan lokal, susunan atom dalam kristal karena mobilitas atomik, pendinginan sangat cepat dan faktor eksternal. Intertitial adalah cacat kristal yang terjadi karena adanya penambahan atom-atom logam atau nitrogen yang masuk di antara kekisi kristal yang terjadi karena faktor dari luar seperti radiasi Smith, 1998. Antisite adalah cacat kristal yang terjadi karena kation menempati posisi anion dan sebaliknya anion menempati posisi kation. Gambar 2.6 Cacat titik vacancy,self interstitial dan interstitial Singh, 1993 Cacat Frenkkel adalah cacat dimana atom meninggalkan posisi kristal dan berpindah ke posisi interstitial.

2.8.2 Cacat Dua Dimensi

Cacat garis two dimension sering disebut juga dislokasi. Dislokasi terjadi jika ada dua atom yang bertemu tetapi ukurannya berbeda Smith, 1998. Dislokasi menyebabkan atom-atom terlepas dari ikatan tetangga terdekatnya yang dapat menghasilkan deep level pada pita energi. Deep level dapat menjadi perangkap elektron dan lubang hole saat proses rekombinasi pada pita energi Singh, 1993. Dislokasi digolongkan menjadi dua macam yaitu edge dan screw. Edge adalah dislokasi yang disebabkan karena pengaruh ukuran sedangkan screw dikarenakan pengaruh gaya tekan Smith, 1998. Gambar 2.7 Cacat garis dislokasi Singh, 1993: 12

2.8.3 Cacat Tiga Dimensi

Grain boundaries adalah cacat permukaan pada material polykristal yang memisahkan grain dari orientasi yang berbeda. Pada grain boundaries logam karena pembekuan, kristal yang terbentuk dari nukleus yang berbeda secara serempak bertemu satu sama lain. Bentuk grain boundaries ditentukan oleh grain yang berdekatan. Permukaan grain boundaries ditunjukkan secara skema pada Gambar 2.8. Grain boundaries adalah daerah sempit antara dua grain sampai lima lebar diameter atom dan daerah antara atom yang bersebelahan. Grain boundaries juga memilik beberapa atom pada posisi tegang menaikkan energi daerah grain boundaries. Struktur mikro pada permukaan grain Isi dari grain

2.9 Sputterring