2.8.1 Cacat nol Dimensi
Cacat titik digolongkan menjadi tiga macam yaitu kekosongan vacancy, intertitial dan antisite. Kekosongan adalah cacat kristal yang terjadi karena atom-
atom tidak menempati posisi pada kristal sehingga posisi atom tidak terisi
kosong. Cacat titik yang sederhana adalah kekosongan, lokasi atom dari suatu
atom yang hilang dan ini sering dikenal dengan schottky defect. Kekosongan disebabkan karena adanya gangguan lokal, susunan atom dalam kristal karena
mobilitas atomik, pendinginan sangat cepat dan faktor eksternal. Intertitial adalah cacat kristal yang terjadi karena adanya penambahan atom-atom logam atau
nitrogen yang masuk di antara kekisi kristal yang terjadi karena faktor dari luar seperti radiasi Smith, 1998. Antisite adalah cacat kristal yang terjadi karena
kation menempati posisi anion dan sebaliknya anion menempati posisi kation.
Gambar 2.6 Cacat titik vacancy,self interstitial dan interstitial Singh, 1993
Cacat Frenkkel adalah cacat dimana atom meninggalkan posisi kristal dan berpindah ke posisi interstitial.
2.8.2 Cacat Dua Dimensi
Cacat garis two dimension sering disebut juga dislokasi. Dislokasi terjadi jika ada dua atom yang bertemu tetapi ukurannya berbeda Smith, 1998.
Dislokasi menyebabkan atom-atom terlepas dari ikatan tetangga terdekatnya yang dapat menghasilkan deep level pada pita energi. Deep level dapat menjadi
perangkap elektron dan lubang hole saat proses rekombinasi pada pita energi Singh, 1993. Dislokasi digolongkan menjadi dua macam yaitu edge dan screw.
Edge adalah dislokasi yang disebabkan karena pengaruh ukuran sedangkan screw dikarenakan pengaruh gaya tekan Smith, 1998.
Gambar 2.7 Cacat garis dislokasi Singh, 1993: 12
2.8.3 Cacat Tiga Dimensi
Grain boundaries adalah cacat permukaan pada material polykristal yang memisahkan grain dari orientasi yang berbeda. Pada grain boundaries logam
karena pembekuan, kristal yang terbentuk dari nukleus yang berbeda secara
serempak bertemu satu sama lain. Bentuk grain boundaries ditentukan oleh grain yang berdekatan. Permukaan grain boundaries ditunjukkan secara skema pada
Gambar 2.8.
Grain boundaries adalah daerah sempit antara dua grain sampai lima
lebar diameter atom dan daerah antara atom yang bersebelahan. Grain boundaries juga memilik beberapa atom pada posisi tegang menaikkan energi daerah grain
boundaries.
Struktur mikro pada permukaan grain
Isi dari grain
2.9 Sputterring