Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas CO Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal
LAPORAN HASIL PENELITIAN
HIBAH BERSAING
Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas CO Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal
Peneliti :
Edy Supriyanto
Suwardiyanto
Goib Wiranto
(Sumber Dana : Penelitian Hibah Bersaing DP2M Dikti Tahun 2010, DIPA Universitas Jember Nomor:
0106/023-04.2/XV/2010, Tanggal 31 Desember 2009)
FAKULTAS MIPA
UNIVERSITAS JEMBER
2010
Katalog Abstrak : A2010057
Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas CO Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal
(Sumber Dana : Penelitian Hibah Bersaing Tahun 2010, DIPA Universitas Jember Nomor: 0106/02304.2/XV/2010; Tanggal 31 Desember 2009)
Peneliti : Edy Supriyanto, Suwardiyanto, Goib Wiranto (Fakultas MIPA Universitas Jember)
ABSTRAK
Penelitian ini bertujuan untuk mendisain dan memfabrikasi sensor gas CO yang berbasis nanokristal
Titanium Dioksida (TiO2). Pertama-tama ditumbuhkan di atas substrat Si (001) dengan teknik spincoating. Pada tahapan ini dilakukan optimasi penumbuhan film tipis (TiO2), bertujuan untuk mendapatkan
film tipis yang berkualitas baik secara morfologi, struktur butiran penyusun film tipis serta sifat listriknya.
Kondisi optimum tersebut digunakan untuk melakukan rekayasa terhadap film tipis TiO2 melalui
pendadahan dengan unsure elemen Au. Pada tahapan selanjutnya ini dilakukan optimasi besarnya
konsentrasi Au, untuk mendapatkan film tipis TiO2: Au berkualitas baik. Kondisi penumbuhan,
konsentrasi optimum Au dijadikan sebagai acuan dalam membuat sensor gas yang berbasis TiO 2 pada
tahap berikutnya. Pendadahan Au bertujuan untuk meningkatkan sensitivitas deteksi dan kestabilan dari
sensor.
Interdigital Tranducer (IDT) sebagai elektroda dan heater sebagai pemanas dipolakan pada film tipis
TiO2: Au memakai teknik fotolithografi. Unjuk kerja divais sensor diukur berdasarkan pada perubahan
resistansi sensor terhadap gas CO pada temperature tertentu dan terhadap variasi konsentrasi gas.
Langkah ini dilakukan pada tahun kedua.Untuk mengetahui sifat film beberapa teknik pengujian
dilakukan, seperti: struktur Kristal menggunakan X-Ray diffractometer (XRD), komposisi kimia dengan
Energy Dispertion Spectroscope (EDS), citra permukaan dan penampang film tipis memakai Scanning
Electron Microscope (SEM), energy band gap diuji dengan spectroscope reflectance optical dan uji
transport listrik dengan menggunakan teknik empat titik metode van der Paw.
Kata kunci : sensor gas, film tipis TiO2
HIBAH BERSAING
Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas CO Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal
Peneliti :
Edy Supriyanto
Suwardiyanto
Goib Wiranto
(Sumber Dana : Penelitian Hibah Bersaing DP2M Dikti Tahun 2010, DIPA Universitas Jember Nomor:
0106/023-04.2/XV/2010, Tanggal 31 Desember 2009)
FAKULTAS MIPA
UNIVERSITAS JEMBER
2010
Katalog Abstrak : A2010057
Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas CO Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal
(Sumber Dana : Penelitian Hibah Bersaing Tahun 2010, DIPA Universitas Jember Nomor: 0106/02304.2/XV/2010; Tanggal 31 Desember 2009)
Peneliti : Edy Supriyanto, Suwardiyanto, Goib Wiranto (Fakultas MIPA Universitas Jember)
ABSTRAK
Penelitian ini bertujuan untuk mendisain dan memfabrikasi sensor gas CO yang berbasis nanokristal
Titanium Dioksida (TiO2). Pertama-tama ditumbuhkan di atas substrat Si (001) dengan teknik spincoating. Pada tahapan ini dilakukan optimasi penumbuhan film tipis (TiO2), bertujuan untuk mendapatkan
film tipis yang berkualitas baik secara morfologi, struktur butiran penyusun film tipis serta sifat listriknya.
Kondisi optimum tersebut digunakan untuk melakukan rekayasa terhadap film tipis TiO2 melalui
pendadahan dengan unsure elemen Au. Pada tahapan selanjutnya ini dilakukan optimasi besarnya
konsentrasi Au, untuk mendapatkan film tipis TiO2: Au berkualitas baik. Kondisi penumbuhan,
konsentrasi optimum Au dijadikan sebagai acuan dalam membuat sensor gas yang berbasis TiO 2 pada
tahap berikutnya. Pendadahan Au bertujuan untuk meningkatkan sensitivitas deteksi dan kestabilan dari
sensor.
Interdigital Tranducer (IDT) sebagai elektroda dan heater sebagai pemanas dipolakan pada film tipis
TiO2: Au memakai teknik fotolithografi. Unjuk kerja divais sensor diukur berdasarkan pada perubahan
resistansi sensor terhadap gas CO pada temperature tertentu dan terhadap variasi konsentrasi gas.
Langkah ini dilakukan pada tahun kedua.Untuk mengetahui sifat film beberapa teknik pengujian
dilakukan, seperti: struktur Kristal menggunakan X-Ray diffractometer (XRD), komposisi kimia dengan
Energy Dispertion Spectroscope (EDS), citra permukaan dan penampang film tipis memakai Scanning
Electron Microscope (SEM), energy band gap diuji dengan spectroscope reflectance optical dan uji
transport listrik dengan menggunakan teknik empat titik metode van der Paw.
Kata kunci : sensor gas, film tipis TiO2