APLIKA SI FIL M TI PIS Ti O 2 :Au YANG DITUMB UHKA N PA DA TEMPER ATUR 500 0 C SEBA GAI S ENSO R GAS C O
tp
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
APLIKASI FILM TIPIS TiO2:Au YANG DITUMBUHKAN PADA
TEMPERATUR 5000C SEBAGAI SENSOR GAS CO
SKRIPSI
Oleh:
Nur Faizin
081810201022
JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS JEMBER
2013
ht
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
u
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/
/
tp://
ttp:/YANG DITUMBUHKANhtPADA
ttp:/
FILM TIPIS TiOh2:Au
hAPLIKASI
lib.u
digi
tp://
id/
ac.
nej.
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
ht
id/
ac.
nej.
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
0
TEMPERATUR 500 C SEBAGAI SENSOR GAS CO
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.u
ht
Nur Faizin
/NIM 081810201022
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
h
h
h
u
ilib.
dig
tp://
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
ac.
nej.
ht
.id
lib.u
nej
oleh: igilib.
d
tp://
.id/
ac
nej.
id/
.ac.
ac.
nej.
u
u
ilib.
dig
tp://
JURUSAN FISIKA
.id/
.id/
c
c
a
a
.
.
j
j
j
FAKULTAS MATEMATIKA
DAN ILMU PENGETAHUAN
ALAM
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
UNIVERSITAS
://di
://diJEMBER
://di
http
http
http
id/
.ac.
2013
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:i
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
ht
id/
id/
ac.
nej.
ht
digi
tp://
://
id/
ac.
nej.
u
ilib.
ht
http
http
id/
dig
tp://
http
://
://
http
tp
.u
/
/
diajukan guna melengkapi
id/ satu syarat
c.id
c.salah
c.id tugas akhir dan memenuhi
a
a
a
.
.
.
j
j
j
untuk
Studi
.une
.uneFisika (S1)
.une menyelesaikan Programilib
b
b
i
i
l
l
i
i
dan mencapai gelardSarjana
Sains
ig
dig
dig
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ttp
h
SKRIPSI
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERSEMBAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
j
ej saya persembahkan untuk.u: nej
Alhamdulillah, Skripsi
.unini
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
igilib
ig
ig
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
tp
http
http
1. Ibuku Suwarti dan Bapakku Syafa’at tercinta;
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
/
d/ 2. Kakakku Imam Asrofi
id/(Rorik) yang selalu
id/ (Pipik) dan Miftahul Asrori
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
mendukungku;
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
di
di
://di
3. htMbak
tp:// yang Aku sayangi.
tp:// Rohmah dan Arina ZulfahtUlya
http
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
ht
4. Seluruh keluarga besarku yang selalu mendukungku
/
/ memotivasi dan
/
yang selalu menemani,
.id/ 5. Adhekku “Oryza .aArdhiarisca”
c.id
c.id
c.id
a
a
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
mendukungku.
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
http
http
http
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
ilib.
dig
tp://
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
ii:
http
http
tp
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
http
id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
u
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
tp
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
http
id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.u
ac
nej.
http
http
.id/
ac
nej.
ht
.id/
.
.
http
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
Dan barang siapa yang menginginkan keduanya,
/
/
maka
c.id
c.id itupun harus dengan ilmu
a
a
.
.
j
j
(HR. Tabrani) une
une
gilib
i
d
/
/
:
tp
digi
tp://
ht
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
ilib.
ac.
nej.
ac.
nej.
pengetahuan beberapa derajat
*)
/(Al-Mujadalah 11)
ac
nej.
dig
tp://
id/
id/
id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
ht
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/ ilmu.
/ dunia, maka ia harus memiliki
/ yang menginginkan kehidupan
Barang
siapa
ttp:/
ttp:/
ttp:/
Dan hbarang siapa yang menginginkanh kehidupan akhirat itupun harushdengan ilmu.
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
u
u
ib.u akan meninggikan orang-orang
ilib.
ilib. yang beriman
ilAllah
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/
/
/
:/
:/
:/
di antaramu dan orang-orang
yang diberi ilmu
http
http
http
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
ttp
hMOTO
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Departemen Agama Republik Indonesia. 2002. Al-Qur’an dan Terjemahannya.
/
Surabaya:
PT Mekar Surabaya.
.id/
.id/
.id
*)
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
iii
http
http
tp
id/
ac.
nej.
ac
nej.
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERNYATAAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
/
id/ ini:
.id/
.bawah
.idSaya
c
c
c
yang
bertanda
tangan
di
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
Nama : Nur
Faizin
dig
://di
://di
p
p
t
t
tp://
t
t
h
NIM h : 081810201022
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
Jurusan : Fisika / S-1
/
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
Menyatakan dengan
.une
.uneyang berjudul: AplikasiilFilm
.une sesungguhnya bahwailskripsi
b
b
b
i
i
i
l
i
g
g
g
i CO
//di yang Ditumbuhkan padattpTemperatur
Tipis TiO
5000C sebagai Sensor
://dGas
://di
2::Au
http
h
http
id/
.ac.
nej
lib.u
digi
tp://
ht
adalah benar-benar hasil karya sendiri, kecuali jika dalam pengutipan substansi
/
sumbernya, dancbelum
.id/ mana pun, serta .ac.id/
.id/ pernah diajukan pada.acinstitusi
.iddisebutkan
a
.
j
j
e
nej
ne
nSaya
u
u
u
.
.
.
bukan karya jiplakan.
bertanggung
jawab
atas
keabsahan
dan
kebenaran
isinya
b
b
b
i
i
i
l
l
l
digi
digi
digi
/
/
/
/
/
/
:
:
:
p
p
p
tt
tt
sesuaihdengan
sikap ilmiah yang harushdijunjung
tinggi.
htt
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
Demikian pernyataan ini saya buat dengan sebenarnya, tanpa adanya tekanan
/
/
/
/
c.id sanksi akademik jika j.ac.id
c.idpun serta bersedia mendapatkan
c.iddan paksaan dari pihak mana
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
ternyata
di
kemudian
hari
pernyataan
ini
tidak
benar.
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
/
/
d
ac.i
.
j
e
n
u
ilib.
dig
tp://
d
ac.i
.
j
e
n
u
ilib.
dig
tp://
ht
i
/dig
/
:
p
t
t
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
iv
http
http
tp
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.u
ht
ht
h
.id/
ac
nej.
tp
u
Nur Faizin
ilib.
g
i
d
NIM 081810201022
tp://
lib.u
h
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
.id/
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
Jember,
.id/
.id/
ac
nej.
digi
tp://
Februari 2013
d/
i
.id/
.
c
c
a
a
.
.
j
j Yang menyatakan,
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
://di
://di
p
p
t
t
t
t
h
h
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
Oleh
/
/
:
http
http
.id/
gilib
i
d
/
/
:
id/
id/
u
ilib.
u
ilib.
dig
tp://
ht
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
v:
http
http
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
http
.id/
.u
.id/
ac
nej.
http
.id/
ht
h
.u
.u
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
.id/
ac
nej.
http
ac
nej.
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
h
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
.id/
.u
id/
ac.
nej.
.id/
lib.u
.id/
ac.
nej.
ht
id/
u
ilib.
.id/
ac
nej.
tp
http
id/
dig
tp://
h
gilib
i
d
/
/
:
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
Pembimbing:
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
tp
.id/
ac
nej.
Dosen Pembimbing II : Puguh Hiskiawan, S. Si., M.Si
a
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
Dosen Pembimbing I h: tDr. Edy Supriyanto, S. Si., M. hSit
/
c.id
lib.u
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
digi
tp://
http
/
.id/ 081810201022
c.id
a
.
j
.une
b
i
l
i
g
://di
p
t
t
h
http
ac.
nej.
.u
ac
nej.
.u
.u
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
NUR FAIZIN
ac
nej.
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
lib.u
h
.id/
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
tp
ht
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
tp
http
http
h
dig
tp://
ac.
nej.
b.u
b.u
.id/
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
id/
ac.
nej.
TEMPERATUR 5000C SEBAGAI SENSOR GAS CO
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
ili
gili
gili
APLIKASI
/dig DITUMBUHKAN PADA
://di
://di FILM TIPIS TiO2:Au:/YANG
http
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
b.u
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
ttp
SKRIPSI
h
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PENGESAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
.id/ pada Temperatur .ac.id/
.id/Tipis TiO2:Au yang Ditumbuhkan
.idSkripsi
c
c
c
berjudul
Aplikasi
Film
a
a
a
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
0
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
500 C sebagai
dan
oleh Fakultas Matematika
ig
dig
://di dan
://ddisahkan
://di Sensor Gas CO telah diuji
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Jember pada:
/
dHari
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
:
tanggal :
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
Dr. Edy Supriyanto,
gilib S. Si., M. Si
i
d
/
/
:
NIP. 19671215
199802 1 001
http
tp
id/
ac.
nej.
Anggota I,
igilib
d
/
/
:
tp
http
ht
.id/
.id/
ac
nej.
lib.uHiskiawan, S. Si., M.Si igilib.u
i
Puguh
g
i
://d
://d NIP. 19741215 200212 1tt001
h p
http
id/
ac.
nej.
.un
ht
id/
.id/
j.ac II,
eAnggota
igilib
d
/
/
:
tp
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
ht
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
igilib
d
/
/
:
tp
Sekretaris,
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http Ketua,
tp
ht
.id/
Tim Penguji
.u
.u
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
//
tempat ttp: :Fakultas
Matematika dan Ilmu
Pengetahuan
Alam UniversitasttpJember
://
://
h
http
h
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
Drs.
D.
Supriyadi S. Si.,
/
/ M. Si.
/ Yuda C. Hariadi, M. Sc. .Ph.
id200604
id/
idNIP.
.
.
c.id
c
c
c
19620311
198702
1
001
NIP.
19820424
1
003
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
g
g
di
://di
://di
://di
tp://
http
http
http
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
vi
http
http
tp
id/
ac.
nej.
http
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
Prof. Drs. Kusno, DEA, Ph. D.
NIP 19610108 198602 1 001
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
Mengesahkan
Dekan,
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
RINGKASAN
Aplikasi Film Tipis TiO2:Au yang Ditumbuhkan pada Temperatur 5000C
sebagai Sensor Gas CO; Nur Faizin, 081810201022; 2013: 45 halaman; Jurusan
Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Jember.
Emisi dari kendaraan bermotor dan pabrik telah menyumbang adanya polusi
udara yang berasal dari gas karbon monoksida (CO). Gas CO sangat berbahaya bagi
kehidupan manusia sehingga perlu dilakukan monitoring dengan menggunakan
sensor gas. Sensor gas pada umumnya terdiri dari empat bagian yaitu lapisan aktif
(sensitive layer), elektroda, substrat, dan heater. Dalam penelitian ini lapisan aktif
pada sensor gas yang digunakan berbasis film tipis TiO2:Au yang ditumbuhkan pada
temperatur 5000C.
Pada penelitian ini terdapat tiga tahapan. Tahap pertama pembuatan pola heater
pada bagian bawah substrat dan tahap kedua pembuatan pola elektroda di atas film
tipis. Pola heater dan elektroda dibuat dengan menggunakan metode fotolitografi.
Pengujian terhadap heater dan elektroda dilakukan untuk mengetahui apakah heater
dan elektroda yang telah dibuat dapat bekerja dengan baik sebagai komponen sensor.
Pengujian heater terdiri dari tiga aspek antara lain: respon temperatur heater terhadap
arus masukan, waktu yang diperlukan heater untuk mencapai temperatur kerja, dan
resistansi heater terhadap arus masukan. Sedangkan pengujian yang dilakukan pada
elektroda yaitu besarnya resistansi elektroda pada temperatur kerja. Tahap akhir dari
penelitian ini adalah unjuk kerja sensor. Unjuk kerja sensor terdiri dari tanggapan
resistansi sensor terhadap temperatur dan konsentrasi gas CO.
Hasil pada pengujian respon temperatur heater terhadap arus masukan berupa
grafik eksponensial dengan nilai R2 sebesar 0,979. Arus yang diperlukan heater untuk
mencapai temperatur kerja adalah 1,3 ampere. Sedangkan waktu yang diperlukan
heater untuk mencapai temperatur kerja adalah 80 detik. Pengujian heater yang
vii
terakhir adalah pengujian resistansi heater terhadap arus masukan. Hasil yang
diperoleh pada pengujian ini yaitu resistansi heater cenderung stabil pada arus
kerjanya. Dari hasil pengujian di atas maka heater sudah layak diaplikasikan dalam
sensor gas.
Hasil yang diperoleh pada pengujian elektroda yaitu besar resistansi elektroda
pada temperatur kerjanya. Resistansi elektroda pada temperatur kerja yaitu 0,7 ohm
dan secara perhitungan nilai resistansi elektroda adalah 0,4 ohm. Dengan beda nilai
resistansi yang kecil maka elektroda dianggap stabil pada temperatur kerjanya. Dari
hasil pengujian di atas maka elektroda sudah layak diaplikasikan dalam sensor gas.
Pada pengujian resistansi sensor terhadap temperatur digunakan arus sebesar
1,3 ampere. Pengambilan data resistansi sensor dilakukan pada temperatur 270C
sampai 3000C. Hasil dari pengujian ini berbentuk grafik eksponensial dengan nilai R2
sebesar 0,903. Nilai resistansi sensor yang diperoleh turun secara drastis pada
temperatur 270C sampai 1000C. Sedangkan untuk temperatur 1000C sampai 3000C,
nilai resistansi sensor mengalami penurunan yang tidak terlalu signifikan. Pada
temperatur kerja 3000C sensor memiliki resistansi sebesar 27 kilo ohm.
Pada pengujian resistansi sensor terhadap gas CO, arus masukan yang diberikan
sebesar 1,3 ampere. Hasil yang diperoleh pada pengujian ini berbentuk grafik
eksponensial dengan nilai R2 sebesar 0,819. Pada konsentrasi 0 ppm sampai 250 ppm
nilai resistansi sensor turun secara signifikan dari 27,5 kilo ohm menjadi 4,1 kilo
ohm. Pada konsentrasi 250 ppm sampai 500 ppm nilai resistansi sensor turun sebesar
2,6 kilo ohm yaitu dari 4,1 kilo ohm menjadi 1,5 kilo ohm. Dari hasil pengujian
resistansi sensor terhadap konsentrasi gas CO, sensor gas yang telah dibuat sensitif
untuk konsentrasi gas CO dari 0 ppm sampai 500 ppm.
viii
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
Alhamdulillahhirobilalamin,
segala puji syukur e
kehadirat
ALLAH SWT atas ej.ac
j.ac
j.ac
e
n
n
n
ib.u
ib.u
ib.u
l
l
l
i
i
i
g
g
g
i
i
i
berkat, rahmat,
://d skripsi
://d penulis dapat menyelesaikan
://d dan hidayah-Nya, sehingga
u
ilib.
dig
tp://
.u
http
.id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
PRAKATA
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
http
http
http
ht
dengan judul “Aplikasi Film Tipis TiO2:Au yang Ditumbuhkan pada Temperatur
5000C sebagai Sensor Gas CO”
untuk
/
id/ memperoleh gelar
id/ sebagai salah satu syarat
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
Sarjana Sains Jurusan
Fisika di Fakultas Matematika
.une
.unedan Ilmu Pengetahuan Alam
.une
id/
.ac.
nej
.u
igilib
gilib
gilib
igilib
://di
http
://di
http
/d
Universitas
ttp:/Jember.
d
tp://
h
ht
Dalam penulisan skripsi ini tidak lepas dari bantuan semua pihak. Oleh karena
/
/
/
/ pada kesempatan ini penulis
kasih
.iditu
c.id
c.id kepada :
c.idingin mengucapkan terima
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une Pembimbing I dan Ketua
.une S. Si., M. Si., selaku
1. Dr. Edy Supriyanto,
Dosen
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
Jurusan
httpUniversitas
http dan Ilmu Pengetahuan Alam
http Fisika Fakultas Matematika
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
Jember;
/
/
/
.id/M. Si., selaku Dosen Pembimbing
c.id
cSi.,
c.id2. Puguh Hiskiawan, S.
II yang telah j.ac.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
memberikan
g
g
g arahan;
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h Yuda C. Hariadi, M. Sc. Ph.hD., selaku Dosen PembimbinghAkademik dan
3. Drs.
ht
Dosen Penguji I yang telah memberikan saran untuk kesempurnaan skripsi ini;
d/
i
.id/
.id/
.id/
.
c
c
c
c
a
a
a
a
.
.
.
.
j telah memberikan masukan nej
j selaku Dosen Penguji II yang
j
4. Supriyadi,S. Si., M.Si
u
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
ilib.
i
i
i
g
g
g
g
i
i
i
i
d
d
d
d
untuk
kesempurnaan
skripsi
ini;
/
/
/
/
:/
:/
:/
tp:/
http
http
http
ht
5. kedua orang tuaku. Bapak Syafa’at dan Ibu Suwarti yang selalu memberikan doa
.id/
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
6. kakakku Imam
dan Miftahul Asrori yang
.u
ib.uselalu memberikan dukungan;ib.u
ibAsrofi
lib.u
digi
tp://
.id/
.id/
dan dukungan, terimakasih
/ segalanya;
.idatas
igil
igil
d
d
/
/
/
/
:
:
7. adikku,
http
http Oryza Ardhiarisca yang tersayang;
gil
://di
http
ht
8. Universitas Jember atas bantuannya melalui Hibah Bersaing 2011 (dana DIPA
.id/
ac
nej.
://d
://d
://d
http
http
http
Pengetahuan
Alam Universitas Jember;
tp
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ix
http
http
tp
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
ht
.id/
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
nej.
nej.
.u
.u
ib.u
9. seluruh dosen
igilIlmu
igilib Fakultas Matematika dan
igilibbeserta staf karyawan di lingkungan
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
d/
d/
Universitas Jember Nomor:
ac.i 271/H25.3..1/PL.6/2011); ac.i
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
p
10. kawan-kawan
seperjuangan: Alfa
A. Syaiful Lutfi, Erphan,
Habib,
http
httRianto,
http
tp
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
Mustakim, Khoirul M, Ianuar Teguh Priambodo, Jalal Rosyidi S, Reza Sairawan,
id/
id/
id/
.
.
. Yuliatin, Wira Dian J,.aIva,
Oryza Adk, Dewi eEndutz,
j c Retno, Indria, Heri, nej.ac
j.ac
e
n
n
u
u
lib.u
ilib.
ilib.
Syamsudin,
digi aku
/dig angkatan 2008 yang tidak /dapat
/digDiah, dan semua teman-temanku
ttp:/
ttp:/
ttp:/
ht
h untuk segala kebersamaan,h pembelajaran
h
sebutkan
satu persatu, terima kasih
ht
/
/
/
/
senang hati dan tangan
.iddengan
c.idsaran dan kritik yang j.ac.id
c.id terbuka penulis menerima
a
a
.
.
j
j
berguna untuk menyempurnakan
skripsi ini.
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
/dig
://di
://di
Akhir
ttp:/ bermanfaat dan memberikan
http tambahan
http kata, semoga skripsi inihdapat
ht
nej
lib.u
digi
tp://
hidup dan kekeluargaan yang/ telah kalian berikan;
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
11. semua pihak yang
telah membantu dengan tulusundan
.une
. e ikhlas dalam penyelesaian
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
skripsi.
://di
://di
://di
http
http
http
id/
.ac.
Penulis menyadari bahwa skripsi ini masih jauh dari sempurna, untuk itu
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
pengetahuan bagi yang membacanya.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
c
c
a
a
.
.
Jember, Februari 2013
j
j
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
dig
://di
p
t
tp://
t
h
i
/dig
/
:
p
t
t
id/
ac.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
ac.
nej.
ac
nej.
http
gilib
i
d
/
/
x:
http
http
tp
.id/
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
ac
nej.
.id/
.u
gilib
i
d
/
/
:
lib.u
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
http
.id/
ht
.id/
lib.u
http
u
ht
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
.u
ac
nej.
Penulis
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
ilib.
http
.id/
.u
ht
dig
tp://
h
.id/
ac
nej.
tp
ac.
nej.
u
ilib.
g
i
d
/
:/
ac
nej.
h
gilib
i
d
/
/
:
id/
lib.u
lib.u
digi
tp://
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
DAFTAR
http ISI
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Halaman
d/
d/
d/
i
i
i
.id/
.
.
.
c
c
c
c
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
HALAMAN JUDUL
i
ej
.une
.une
.un..................................................................................
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
ig
dig
HALAMAN
................................................................
://di ii
://di
://dPERSEMBAHAN
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
ht
/
/
/
/
PERNYATAAN
....................................................................
iv
.idHALAMAN
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
HALAMAN PEMBIMBINGAN
...............................................................
v lib.une
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
i
g
g
g
i
/di vi
/di
/dPENGESAHAN
/
/
/
:
:
:
p
p
p
HALAMAN
....................................................................
t
t
t
ht
ht
ht
ht
HALAMAN MOTO ...................................................................................
iii
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
RINGKASAN .............................................................................................
vii
/
/
/
/
ix
c.id
c.id
c.id
c.idPRAKATA ..................................................................................................
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
DAFTAR
ISI
...............................................................................................
xi
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
DAFTAR GAMBAR ..................................................................................
xiii
BAB 1. PENDAHULUAN ........................................................................
1
1.1 Latar Belakang
ej.
ej. Masalah ......................................................
1
d/
ac.i
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
u
.id/
ac
nej.
ac
nej.
u
tp
.id/
ac
nej.
2.1 Film Tipis TiO2:Au ................................................................
5
/
/
2.2 Fabrikasi Sensor
c.id
c.idGas .............................................................
7
a
nej.
a
nej.
2.2.3 Heater Sensor ................................................................
10
2.2.4 Elektroda
j.ac
j.acSensor ............................................................
12
.une
.id/
gilib
i
d
/
/
:
nej.
id/
ac.
nej.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
xi
http
http
tp
.une
.id/
id/
ac.
nej.
.id/
ht
.id/
ac
nej.
.u
ht
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
ac
nej.
ilib
2.2.5
g14
gilib
gilibMetode Fotolitografi ......................................................
i
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
http
http sensor) ...................................
http 2.2.6 Sensitive Layer (Lapisan
15
2.2.7 Sensitivitas Sensor .........................................................
16
/
/
d
2.3 Prinsip KerjaaSensor
17
c.id ..............................................................
ac.i
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ht
1.4 Tujuan Penelitian
d/
d/ ..................................................................
.id/
lib.
i
g
i
://d
ib.u
u
.u Gas .....................................................................
2.2.1
7ilib.u
ilib.
ilibSensor
g
g
g
i
i
i
d
d
d
:// 8
://
://
http
http
http 2.2.2 Substrat Si(100) .............................................................
lib.u
digi
tp://
.id/
ac
nej.
3
.id/
.i
.i
c
c
c
a
a
a
.
.
.
j
ej
1.5 Manfaat
................................................................
4 .unej
.une
.unPenelitian
b
b
i
i
l
l
i
i
ig5ilib
ig
ig
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
BAB 2.ttTINJAUAN
PUSTAKA
................................................................
http
http
h p
id/
ac.
nej.
ilib.
n
ib.u
d/
ac.i
l
l
igil
1.2
Masalah ................................................................
dig3i
digi
dRumusan
/
/
/
/
/
/
:
:
:
p
p
p
htt
htt
htt1.3 Batasan Masalah ...................................................................
3
tp
dig
tp://
n
ib.u
d/
ac.i
ht
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
tp
3.2.2 Bahan .............................................................................
20
3.3 Prosedur penelitian
/
/ ................................................................
21
4.1.1 Respon Temperatur Heater terhadap Arus Masukan .....
27
/ ........
4.1.2 Waktu Heater
Kerja
.id/ untuk Mencapai Temperatur.id
28
id/
.id/
.id/
........................................................................
c
c
c
3.2 Alat dan Bahan
20
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g20
g
g Alat .................................................................................
3.2.1
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h
h
gi
://di
tp
ac
nej.
gi
://di
ht
.id/
ht
.id/
ac
nej.
29 .u
gilib
i
d
/
/
:
p Pengujian Elektroda ..............................................................
http
http
htt4.2
30
4.3 Pengujian Sensor ....................................................................
30
ht
/
/
id/ terhadap Temperatur a.........................
4.3.1 Resistansi
30
c.id
c.id
c.Sensor
a
a
.
.
.
j
j
j
e
.une
.un...............................
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
4.3.2
Resistansi
Sensor
terhadap
Gas
CO
32
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h .....................................................
h KESIMPULAN DAN SARAN
BAB 5.
35
d/
ac.i
ej.
n
lib.u
i
g
i
d
tp://
d/
ac.i
5.1 Kesimpulan .............................................................................
35
d/
ac.i
d/
ac.i
ht
id/
.
5.2 Saran .......................................................................................
35
j.ac
j.
j.
e
e
e
n
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib. .................................................................................
g
g
g
i
i
i
DAFTAR :PUSTAKA
37
d
d
d
/
/
/
/
:/
:/
http
http
http
nej.
u
ilib.
ac
nej.
u
4.1.3libResistansi
Heater terhadap Arus
....................
.u
lib.Masukan
.u
dig
tp://
id
.ac.
id
.ac.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
c
ej
ej
BAB 4. HASIL DAN
PEMBAHASAN
....................................................
27 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig27
igilib
igilib Heater ....................................................................
d
d
d
/
/
/
4.1
Pengujian
/
/
/
:
:
:
http
http
http
nej
lib.u
.u
20
id/
.ac.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
3.1 Tempat dan Waktu Penelitian ..............................................
dig
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
20
j.
une
ilib.
.id/
p
BAB 3.
PENELITIAN
http
http ..................................................
httMETODELOGI
d/
ac.i
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
tp://
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
LAMPIRAN-LAMPIRAN
41
/
d/ A. Gambar Sensor Gasc.CO
id/
id/ .................................................................
.
c.id
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
B. Data Pengujian
....................
42 .une
.unHeater
.uneTemperatur terhadap iArus
b
b
i
i
l
l
i
g
g
g
i ilib
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
C. tData
Pengujian
Temperatur
terhadap
Waktu
Heater
.................
43
http
http
h tp
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
D. Data Pengujian Resistansi terhadap Temperatur Sensor ...........
ht
44
/
/
/
.id/ E. Data Pengujian Resistansi
c.id
c.id Gas CO 45
c.id Sensor terhadap Konsentrasi
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
http
http
http
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
xii
http
http
tp
id/
ac.
nej.
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
APLIKASI FILM TIPIS TiO2:Au YANG DITUMBUHKAN PADA
TEMPERATUR 5000C SEBAGAI SENSOR GAS CO
SKRIPSI
Oleh:
Nur Faizin
081810201022
JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS JEMBER
2013
ht
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
u
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/
/
tp://
ttp:/YANG DITUMBUHKANhtPADA
ttp:/
FILM TIPIS TiOh2:Au
hAPLIKASI
lib.u
digi
tp://
id/
ac.
nej.
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
ht
id/
ac.
nej.
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
0
TEMPERATUR 500 C SEBAGAI SENSOR GAS CO
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.u
ht
Nur Faizin
/NIM 081810201022
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
h
h
h
u
ilib.
dig
tp://
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
ac.
nej.
ht
.id
lib.u
nej
oleh: igilib.
d
tp://
.id/
ac
nej.
id/
.ac.
ac.
nej.
u
u
ilib.
dig
tp://
JURUSAN FISIKA
.id/
.id/
c
c
a
a
.
.
j
j
j
FAKULTAS MATEMATIKA
DAN ILMU PENGETAHUAN
ALAM
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
UNIVERSITAS
://di
://diJEMBER
://di
http
http
http
id/
.ac.
2013
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:i
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
ht
id/
id/
ac.
nej.
ht
digi
tp://
://
id/
ac.
nej.
u
ilib.
ht
http
http
id/
dig
tp://
http
://
://
http
tp
.u
/
/
diajukan guna melengkapi
id/ satu syarat
c.id
c.salah
c.id tugas akhir dan memenuhi
a
a
a
.
.
.
j
j
j
untuk
Studi
.une
.uneFisika (S1)
.une menyelesaikan Programilib
b
b
i
i
l
l
i
i
dan mencapai gelardSarjana
Sains
ig
dig
dig
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ttp
h
SKRIPSI
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERSEMBAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
j
ej saya persembahkan untuk.u: nej
Alhamdulillah, Skripsi
.unini
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
igilib
ig
ig
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
tp
http
http
1. Ibuku Suwarti dan Bapakku Syafa’at tercinta;
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
/
d/ 2. Kakakku Imam Asrofi
id/(Rorik) yang selalu
id/ (Pipik) dan Miftahul Asrori
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
mendukungku;
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
di
di
://di
3. htMbak
tp:// yang Aku sayangi.
tp:// Rohmah dan Arina ZulfahtUlya
http
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
ht
4. Seluruh keluarga besarku yang selalu mendukungku
/
/ memotivasi dan
/
yang selalu menemani,
.id/ 5. Adhekku “Oryza .aArdhiarisca”
c.id
c.id
c.id
a
a
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
mendukungku.
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
http
http
http
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
ilib.
dig
tp://
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
ii:
http
http
tp
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
http
id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
u
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
tp
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
http
id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.u
ac
nej.
http
http
.id/
ac
nej.
ht
.id/
.
.
http
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
Dan barang siapa yang menginginkan keduanya,
/
/
maka
c.id
c.id itupun harus dengan ilmu
a
a
.
.
j
j
(HR. Tabrani) une
une
gilib
i
d
/
/
:
tp
digi
tp://
ht
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
ilib.
ac.
nej.
ac.
nej.
pengetahuan beberapa derajat
*)
/(Al-Mujadalah 11)
ac
nej.
dig
tp://
id/
id/
id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
ht
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/ ilmu.
/ dunia, maka ia harus memiliki
/ yang menginginkan kehidupan
Barang
siapa
ttp:/
ttp:/
ttp:/
Dan hbarang siapa yang menginginkanh kehidupan akhirat itupun harushdengan ilmu.
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
u
u
ib.u akan meninggikan orang-orang
ilib.
ilib. yang beriman
ilAllah
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/
/
/
:/
:/
:/
di antaramu dan orang-orang
yang diberi ilmu
http
http
http
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
ttp
hMOTO
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Departemen Agama Republik Indonesia. 2002. Al-Qur’an dan Terjemahannya.
/
Surabaya:
PT Mekar Surabaya.
.id/
.id/
.id
*)
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
iii
http
http
tp
id/
ac.
nej.
ac
nej.
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERNYATAAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
/
id/ ini:
.id/
.bawah
.idSaya
c
c
c
yang
bertanda
tangan
di
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
Nama : Nur
Faizin
dig
://di
://di
p
p
t
t
tp://
t
t
h
NIM h : 081810201022
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
Jurusan : Fisika / S-1
/
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
Menyatakan dengan
.une
.uneyang berjudul: AplikasiilFilm
.une sesungguhnya bahwailskripsi
b
b
b
i
i
i
l
i
g
g
g
i CO
//di yang Ditumbuhkan padattpTemperatur
Tipis TiO
5000C sebagai Sensor
://dGas
://di
2::Au
http
h
http
id/
.ac.
nej
lib.u
digi
tp://
ht
adalah benar-benar hasil karya sendiri, kecuali jika dalam pengutipan substansi
/
sumbernya, dancbelum
.id/ mana pun, serta .ac.id/
.id/ pernah diajukan pada.acinstitusi
.iddisebutkan
a
.
j
j
e
nej
ne
nSaya
u
u
u
.
.
.
bukan karya jiplakan.
bertanggung
jawab
atas
keabsahan
dan
kebenaran
isinya
b
b
b
i
i
i
l
l
l
digi
digi
digi
/
/
/
/
/
/
:
:
:
p
p
p
tt
tt
sesuaihdengan
sikap ilmiah yang harushdijunjung
tinggi.
htt
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
Demikian pernyataan ini saya buat dengan sebenarnya, tanpa adanya tekanan
/
/
/
/
c.id sanksi akademik jika j.ac.id
c.idpun serta bersedia mendapatkan
c.iddan paksaan dari pihak mana
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
ternyata
di
kemudian
hari
pernyataan
ini
tidak
benar.
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
/
/
d
ac.i
.
j
e
n
u
ilib.
dig
tp://
d
ac.i
.
j
e
n
u
ilib.
dig
tp://
ht
i
/dig
/
:
p
t
t
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
iv
http
http
tp
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.u
ht
ht
h
.id/
ac
nej.
tp
u
Nur Faizin
ilib.
g
i
d
NIM 081810201022
tp://
lib.u
h
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
.id/
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
Jember,
.id/
.id/
ac
nej.
digi
tp://
Februari 2013
d/
i
.id/
.
c
c
a
a
.
.
j
j Yang menyatakan,
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
://di
://di
p
p
t
t
t
t
h
h
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
Oleh
/
/
:
http
http
.id/
gilib
i
d
/
/
:
id/
id/
u
ilib.
u
ilib.
dig
tp://
ht
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
v:
http
http
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
http
.id/
.u
.id/
ac
nej.
http
.id/
ht
h
.u
.u
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
.id/
ac
nej.
http
ac
nej.
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
h
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
.id/
.u
id/
ac.
nej.
.id/
lib.u
.id/
ac.
nej.
ht
id/
u
ilib.
.id/
ac
nej.
tp
http
id/
dig
tp://
h
gilib
i
d
/
/
:
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
Pembimbing:
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
tp
.id/
ac
nej.
Dosen Pembimbing II : Puguh Hiskiawan, S. Si., M.Si
a
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
Dosen Pembimbing I h: tDr. Edy Supriyanto, S. Si., M. hSit
/
c.id
lib.u
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
digi
tp://
http
/
.id/ 081810201022
c.id
a
.
j
.une
b
i
l
i
g
://di
p
t
t
h
http
ac.
nej.
.u
ac
nej.
.u
.u
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
NUR FAIZIN
ac
nej.
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
lib.u
h
.id/
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
tp
ht
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
tp
http
http
h
dig
tp://
ac.
nej.
b.u
b.u
.id/
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
id/
ac.
nej.
TEMPERATUR 5000C SEBAGAI SENSOR GAS CO
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
ili
gili
gili
APLIKASI
/dig DITUMBUHKAN PADA
://di
://di FILM TIPIS TiO2:Au:/YANG
http
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
b.u
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
ttp
SKRIPSI
h
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PENGESAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
.id/ pada Temperatur .ac.id/
.id/Tipis TiO2:Au yang Ditumbuhkan
.idSkripsi
c
c
c
berjudul
Aplikasi
Film
a
a
a
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
0
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
500 C sebagai
dan
oleh Fakultas Matematika
ig
dig
://di dan
://ddisahkan
://di Sensor Gas CO telah diuji
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Jember pada:
/
dHari
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
:
tanggal :
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
Dr. Edy Supriyanto,
gilib S. Si., M. Si
i
d
/
/
:
NIP. 19671215
199802 1 001
http
tp
id/
ac.
nej.
Anggota I,
igilib
d
/
/
:
tp
http
ht
.id/
.id/
ac
nej.
lib.uHiskiawan, S. Si., M.Si igilib.u
i
Puguh
g
i
://d
://d NIP. 19741215 200212 1tt001
h p
http
id/
ac.
nej.
.un
ht
id/
.id/
j.ac II,
eAnggota
igilib
d
/
/
:
tp
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
ht
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
igilib
d
/
/
:
tp
Sekretaris,
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http Ketua,
tp
ht
.id/
Tim Penguji
.u
.u
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
//
tempat ttp: :Fakultas
Matematika dan Ilmu
Pengetahuan
Alam UniversitasttpJember
://
://
h
http
h
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
Drs.
D.
Supriyadi S. Si.,
/
/ M. Si.
/ Yuda C. Hariadi, M. Sc. .Ph.
id200604
id/
idNIP.
.
.
c.id
c
c
c
19620311
198702
1
001
NIP.
19820424
1
003
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
g
g
di
://di
://di
://di
tp://
http
http
http
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
vi
http
http
tp
id/
ac.
nej.
http
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
Prof. Drs. Kusno, DEA, Ph. D.
NIP 19610108 198602 1 001
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
Mengesahkan
Dekan,
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
RINGKASAN
Aplikasi Film Tipis TiO2:Au yang Ditumbuhkan pada Temperatur 5000C
sebagai Sensor Gas CO; Nur Faizin, 081810201022; 2013: 45 halaman; Jurusan
Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Jember.
Emisi dari kendaraan bermotor dan pabrik telah menyumbang adanya polusi
udara yang berasal dari gas karbon monoksida (CO). Gas CO sangat berbahaya bagi
kehidupan manusia sehingga perlu dilakukan monitoring dengan menggunakan
sensor gas. Sensor gas pada umumnya terdiri dari empat bagian yaitu lapisan aktif
(sensitive layer), elektroda, substrat, dan heater. Dalam penelitian ini lapisan aktif
pada sensor gas yang digunakan berbasis film tipis TiO2:Au yang ditumbuhkan pada
temperatur 5000C.
Pada penelitian ini terdapat tiga tahapan. Tahap pertama pembuatan pola heater
pada bagian bawah substrat dan tahap kedua pembuatan pola elektroda di atas film
tipis. Pola heater dan elektroda dibuat dengan menggunakan metode fotolitografi.
Pengujian terhadap heater dan elektroda dilakukan untuk mengetahui apakah heater
dan elektroda yang telah dibuat dapat bekerja dengan baik sebagai komponen sensor.
Pengujian heater terdiri dari tiga aspek antara lain: respon temperatur heater terhadap
arus masukan, waktu yang diperlukan heater untuk mencapai temperatur kerja, dan
resistansi heater terhadap arus masukan. Sedangkan pengujian yang dilakukan pada
elektroda yaitu besarnya resistansi elektroda pada temperatur kerja. Tahap akhir dari
penelitian ini adalah unjuk kerja sensor. Unjuk kerja sensor terdiri dari tanggapan
resistansi sensor terhadap temperatur dan konsentrasi gas CO.
Hasil pada pengujian respon temperatur heater terhadap arus masukan berupa
grafik eksponensial dengan nilai R2 sebesar 0,979. Arus yang diperlukan heater untuk
mencapai temperatur kerja adalah 1,3 ampere. Sedangkan waktu yang diperlukan
heater untuk mencapai temperatur kerja adalah 80 detik. Pengujian heater yang
vii
terakhir adalah pengujian resistansi heater terhadap arus masukan. Hasil yang
diperoleh pada pengujian ini yaitu resistansi heater cenderung stabil pada arus
kerjanya. Dari hasil pengujian di atas maka heater sudah layak diaplikasikan dalam
sensor gas.
Hasil yang diperoleh pada pengujian elektroda yaitu besar resistansi elektroda
pada temperatur kerjanya. Resistansi elektroda pada temperatur kerja yaitu 0,7 ohm
dan secara perhitungan nilai resistansi elektroda adalah 0,4 ohm. Dengan beda nilai
resistansi yang kecil maka elektroda dianggap stabil pada temperatur kerjanya. Dari
hasil pengujian di atas maka elektroda sudah layak diaplikasikan dalam sensor gas.
Pada pengujian resistansi sensor terhadap temperatur digunakan arus sebesar
1,3 ampere. Pengambilan data resistansi sensor dilakukan pada temperatur 270C
sampai 3000C. Hasil dari pengujian ini berbentuk grafik eksponensial dengan nilai R2
sebesar 0,903. Nilai resistansi sensor yang diperoleh turun secara drastis pada
temperatur 270C sampai 1000C. Sedangkan untuk temperatur 1000C sampai 3000C,
nilai resistansi sensor mengalami penurunan yang tidak terlalu signifikan. Pada
temperatur kerja 3000C sensor memiliki resistansi sebesar 27 kilo ohm.
Pada pengujian resistansi sensor terhadap gas CO, arus masukan yang diberikan
sebesar 1,3 ampere. Hasil yang diperoleh pada pengujian ini berbentuk grafik
eksponensial dengan nilai R2 sebesar 0,819. Pada konsentrasi 0 ppm sampai 250 ppm
nilai resistansi sensor turun secara signifikan dari 27,5 kilo ohm menjadi 4,1 kilo
ohm. Pada konsentrasi 250 ppm sampai 500 ppm nilai resistansi sensor turun sebesar
2,6 kilo ohm yaitu dari 4,1 kilo ohm menjadi 1,5 kilo ohm. Dari hasil pengujian
resistansi sensor terhadap konsentrasi gas CO, sensor gas yang telah dibuat sensitif
untuk konsentrasi gas CO dari 0 ppm sampai 500 ppm.
viii
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
Alhamdulillahhirobilalamin,
segala puji syukur e
kehadirat
ALLAH SWT atas ej.ac
j.ac
j.ac
e
n
n
n
ib.u
ib.u
ib.u
l
l
l
i
i
i
g
g
g
i
i
i
berkat, rahmat,
://d skripsi
://d penulis dapat menyelesaikan
://d dan hidayah-Nya, sehingga
u
ilib.
dig
tp://
.u
http
.id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
PRAKATA
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
http
http
http
ht
dengan judul “Aplikasi Film Tipis TiO2:Au yang Ditumbuhkan pada Temperatur
5000C sebagai Sensor Gas CO”
untuk
/
id/ memperoleh gelar
id/ sebagai salah satu syarat
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
Sarjana Sains Jurusan
Fisika di Fakultas Matematika
.une
.unedan Ilmu Pengetahuan Alam
.une
id/
.ac.
nej
.u
igilib
gilib
gilib
igilib
://di
http
://di
http
/d
Universitas
ttp:/Jember.
d
tp://
h
ht
Dalam penulisan skripsi ini tidak lepas dari bantuan semua pihak. Oleh karena
/
/
/
/ pada kesempatan ini penulis
kasih
.iditu
c.id
c.id kepada :
c.idingin mengucapkan terima
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une Pembimbing I dan Ketua
.une S. Si., M. Si., selaku
1. Dr. Edy Supriyanto,
Dosen
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
Jurusan
httpUniversitas
http dan Ilmu Pengetahuan Alam
http Fisika Fakultas Matematika
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
Jember;
/
/
/
.id/M. Si., selaku Dosen Pembimbing
c.id
cSi.,
c.id2. Puguh Hiskiawan, S.
II yang telah j.ac.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
memberikan
g
g
g arahan;
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h Yuda C. Hariadi, M. Sc. Ph.hD., selaku Dosen PembimbinghAkademik dan
3. Drs.
ht
Dosen Penguji I yang telah memberikan saran untuk kesempurnaan skripsi ini;
d/
i
.id/
.id/
.id/
.
c
c
c
c
a
a
a
a
.
.
.
.
j telah memberikan masukan nej
j selaku Dosen Penguji II yang
j
4. Supriyadi,S. Si., M.Si
u
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
ilib.
i
i
i
g
g
g
g
i
i
i
i
d
d
d
d
untuk
kesempurnaan
skripsi
ini;
/
/
/
/
:/
:/
:/
tp:/
http
http
http
ht
5. kedua orang tuaku. Bapak Syafa’at dan Ibu Suwarti yang selalu memberikan doa
.id/
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
6. kakakku Imam
dan Miftahul Asrori yang
.u
ib.uselalu memberikan dukungan;ib.u
ibAsrofi
lib.u
digi
tp://
.id/
.id/
dan dukungan, terimakasih
/ segalanya;
.idatas
igil
igil
d
d
/
/
/
/
:
:
7. adikku,
http
http Oryza Ardhiarisca yang tersayang;
gil
://di
http
ht
8. Universitas Jember atas bantuannya melalui Hibah Bersaing 2011 (dana DIPA
.id/
ac
nej.
://d
://d
://d
http
http
http
Pengetahuan
Alam Universitas Jember;
tp
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ix
http
http
tp
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
ht
.id/
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
nej.
nej.
.u
.u
ib.u
9. seluruh dosen
igilIlmu
igilib Fakultas Matematika dan
igilibbeserta staf karyawan di lingkungan
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
d/
d/
Universitas Jember Nomor:
ac.i 271/H25.3..1/PL.6/2011); ac.i
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
p
10. kawan-kawan
seperjuangan: Alfa
A. Syaiful Lutfi, Erphan,
Habib,
http
httRianto,
http
tp
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
Mustakim, Khoirul M, Ianuar Teguh Priambodo, Jalal Rosyidi S, Reza Sairawan,
id/
id/
id/
.
.
. Yuliatin, Wira Dian J,.aIva,
Oryza Adk, Dewi eEndutz,
j c Retno, Indria, Heri, nej.ac
j.ac
e
n
n
u
u
lib.u
ilib.
ilib.
Syamsudin,
digi aku
/dig angkatan 2008 yang tidak /dapat
/digDiah, dan semua teman-temanku
ttp:/
ttp:/
ttp:/
ht
h untuk segala kebersamaan,h pembelajaran
h
sebutkan
satu persatu, terima kasih
ht
/
/
/
/
senang hati dan tangan
.iddengan
c.idsaran dan kritik yang j.ac.id
c.id terbuka penulis menerima
a
a
.
.
j
j
berguna untuk menyempurnakan
skripsi ini.
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
/dig
://di
://di
Akhir
ttp:/ bermanfaat dan memberikan
http tambahan
http kata, semoga skripsi inihdapat
ht
nej
lib.u
digi
tp://
hidup dan kekeluargaan yang/ telah kalian berikan;
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
11. semua pihak yang
telah membantu dengan tulusundan
.une
. e ikhlas dalam penyelesaian
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
skripsi.
://di
://di
://di
http
http
http
id/
.ac.
Penulis menyadari bahwa skripsi ini masih jauh dari sempurna, untuk itu
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
pengetahuan bagi yang membacanya.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
c
c
a
a
.
.
Jember, Februari 2013
j
j
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
dig
://di
p
t
tp://
t
h
i
/dig
/
:
p
t
t
id/
ac.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
ac.
nej.
ac
nej.
http
gilib
i
d
/
/
x:
http
http
tp
.id/
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
ac
nej.
.id/
.u
gilib
i
d
/
/
:
lib.u
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
http
.id/
ht
.id/
lib.u
http
u
ht
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
.u
ac
nej.
Penulis
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
ilib.
http
.id/
.u
ht
dig
tp://
h
.id/
ac
nej.
tp
ac.
nej.
u
ilib.
g
i
d
/
:/
ac
nej.
h
gilib
i
d
/
/
:
id/
lib.u
lib.u
digi
tp://
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
DAFTAR
http ISI
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Halaman
d/
d/
d/
i
i
i
.id/
.
.
.
c
c
c
c
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
HALAMAN JUDUL
i
ej
.une
.une
.un..................................................................................
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
ig
dig
HALAMAN
................................................................
://di ii
://di
://dPERSEMBAHAN
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
ht
/
/
/
/
PERNYATAAN
....................................................................
iv
.idHALAMAN
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
HALAMAN PEMBIMBINGAN
...............................................................
v lib.une
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
i
g
g
g
i
/di vi
/di
/dPENGESAHAN
/
/
/
:
:
:
p
p
p
HALAMAN
....................................................................
t
t
t
ht
ht
ht
ht
HALAMAN MOTO ...................................................................................
iii
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
RINGKASAN .............................................................................................
vii
/
/
/
/
ix
c.id
c.id
c.id
c.idPRAKATA ..................................................................................................
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
DAFTAR
ISI
...............................................................................................
xi
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
DAFTAR GAMBAR ..................................................................................
xiii
BAB 1. PENDAHULUAN ........................................................................
1
1.1 Latar Belakang
ej.
ej. Masalah ......................................................
1
d/
ac.i
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
u
.id/
ac
nej.
ac
nej.
u
tp
.id/
ac
nej.
2.1 Film Tipis TiO2:Au ................................................................
5
/
/
2.2 Fabrikasi Sensor
c.id
c.idGas .............................................................
7
a
nej.
a
nej.
2.2.3 Heater Sensor ................................................................
10
2.2.4 Elektroda
j.ac
j.acSensor ............................................................
12
.une
.id/
gilib
i
d
/
/
:
nej.
id/
ac.
nej.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
xi
http
http
tp
.une
.id/
id/
ac.
nej.
.id/
ht
.id/
ac
nej.
.u
ht
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
ac
nej.
ilib
2.2.5
g14
gilib
gilibMetode Fotolitografi ......................................................
i
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
http
http sensor) ...................................
http 2.2.6 Sensitive Layer (Lapisan
15
2.2.7 Sensitivitas Sensor .........................................................
16
/
/
d
2.3 Prinsip KerjaaSensor
17
c.id ..............................................................
ac.i
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ht
1.4 Tujuan Penelitian
d/
d/ ..................................................................
.id/
lib.
i
g
i
://d
ib.u
u
.u Gas .....................................................................
2.2.1
7ilib.u
ilib.
ilibSensor
g
g
g
i
i
i
d
d
d
:// 8
://
://
http
http
http 2.2.2 Substrat Si(100) .............................................................
lib.u
digi
tp://
.id/
ac
nej.
3
.id/
.i
.i
c
c
c
a
a
a
.
.
.
j
ej
1.5 Manfaat
................................................................
4 .unej
.une
.unPenelitian
b
b
i
i
l
l
i
i
ig5ilib
ig
ig
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
BAB 2.ttTINJAUAN
PUSTAKA
................................................................
http
http
h p
id/
ac.
nej.
ilib.
n
ib.u
d/
ac.i
l
l
igil
1.2
Masalah ................................................................
dig3i
digi
dRumusan
/
/
/
/
/
/
:
:
:
p
p
p
htt
htt
htt1.3 Batasan Masalah ...................................................................
3
tp
dig
tp://
n
ib.u
d/
ac.i
ht
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
tp
3.2.2 Bahan .............................................................................
20
3.3 Prosedur penelitian
/
/ ................................................................
21
4.1.1 Respon Temperatur Heater terhadap Arus Masukan .....
27
/ ........
4.1.2 Waktu Heater
Kerja
.id/ untuk Mencapai Temperatur.id
28
id/
.id/
.id/
........................................................................
c
c
c
3.2 Alat dan Bahan
20
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g20
g
g Alat .................................................................................
3.2.1
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h
h
gi
://di
tp
ac
nej.
gi
://di
ht
.id/
ht
.id/
ac
nej.
29 .u
gilib
i
d
/
/
:
p Pengujian Elektroda ..............................................................
http
http
htt4.2
30
4.3 Pengujian Sensor ....................................................................
30
ht
/
/
id/ terhadap Temperatur a.........................
4.3.1 Resistansi
30
c.id
c.id
c.Sensor
a
a
.
.
.
j
j
j
e
.une
.un...............................
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
4.3.2
Resistansi
Sensor
terhadap
Gas
CO
32
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h .....................................................
h KESIMPULAN DAN SARAN
BAB 5.
35
d/
ac.i
ej.
n
lib.u
i
g
i
d
tp://
d/
ac.i
5.1 Kesimpulan .............................................................................
35
d/
ac.i
d/
ac.i
ht
id/
.
5.2 Saran .......................................................................................
35
j.ac
j.
j.
e
e
e
n
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib. .................................................................................
g
g
g
i
i
i
DAFTAR :PUSTAKA
37
d
d
d
/
/
/
/
:/
:/
http
http
http
nej.
u
ilib.
ac
nej.
u
4.1.3libResistansi
Heater terhadap Arus
....................
.u
lib.Masukan
.u
dig
tp://
id
.ac.
id
.ac.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
c
ej
ej
BAB 4. HASIL DAN
PEMBAHASAN
....................................................
27 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig27
igilib
igilib Heater ....................................................................
d
d
d
/
/
/
4.1
Pengujian
/
/
/
:
:
:
http
http
http
nej
lib.u
.u
20
id/
.ac.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
3.1 Tempat dan Waktu Penelitian ..............................................
dig
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
20
j.
une
ilib.
.id/
p
BAB 3.
PENELITIAN
http
http ..................................................
httMETODELOGI
d/
ac.i
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
tp://
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
LAMPIRAN-LAMPIRAN
41
/
d/ A. Gambar Sensor Gasc.CO
id/
id/ .................................................................
.
c.id
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
B. Data Pengujian
....................
42 .une
.unHeater
.uneTemperatur terhadap iArus
b
b
i
i
l
l
i
g
g
g
i ilib
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
C. tData
Pengujian
Temperatur
terhadap
Waktu
Heater
.................
43
http
http
h tp
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
D. Data Pengujian Resistansi terhadap Temperatur Sensor ...........
ht
44
/
/
/
.id/ E. Data Pengujian Resistansi
c.id
c.id Gas CO 45
c.id Sensor terhadap Konsentrasi
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
http
http
http
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
xii
http
http
tp
id/
ac.
nej.
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.