Karakteristik Laser Nd:Yag Q-Smart 850 Dan Aplikasi Pld

LAMPIRAN A
DATA PERCOBAAN

1. Data Hasil Lapisan Film Tipis Teknik PLD

Panjang
Gelombang
532 nm

1064 nm

1064 nm

Substrat

Alumina

Energi

Plat

15 mJ

Silicon
Wafer
AL

12 mJ

AL

15 mJ

Alumina

Tekanan

Waktu

Diameter
Plasma

5 Pa

> 2,5 cm

6 Pa

< 2,5 cm

4,26 Pa

> 3cm
15
Menit

12 mJ

Silicon
Wafer

4,26 Pa

45 mJ

AL

4,20 Pa

3 cm

45 mJ

Silicon
Wafer

4,53 Pa

> 3cm

Alumina

> 3cm

Ada / Tidak Adanya
Lapisan
Kiri
Sangat
Jelas
jelas
sangat
jelas

Kanan
Sangat
Jelas
jelas
sangat
jelas

terlihat

terlihat

Sangat
Jelas
Sangat
Jelas

Sangat
Jelas
Sangat
Jelas

LAMPIRAN B

GAMBARAN PERCOBAAN

Gambar 1. Rangkaian Percobaan Pengamatan Spektrum Panjang
Gelombang Laser

Gambar 2. Rangkaian Percobaan Pengamatan Berkas Laser Sinar Laser
Pulsa Nd:YAG Q-Smart 850

Gambar 3. Rangkaian Pengukuran Energy Laser Nd-YAG

Gambar 4. Rangkaian Percobaan Pelapisan Film Tipis Teknik PLD