SINTESIS DAN KARAKTERISASI SIFAT LISTRIK LAPISAN TIPIS GRAFIT HASIL IRADIASI.
SINTESTS DAN KARAKMRISASI SIFAT IJSTRIK LA?TSAN TIPIS
CRAFIT
IIISIL IRADIASI
SLriFi
unt* n@albi
st
si& F6rr6tm lrfuFld.5 gelr 8&i@ SaiB
0613J009
t
padr
JI'RI'SAN
FAI('LTAS MATT.MATIKA DtN ''SIKA
ILMU PENGETAEUAN ALAM
I'NIWRSITAS ANDAI,AS
PADING
2010
&
SINTESIS DAN KAXAKTEFISASI STFAT LISTRIK LAIISAN TTPiS
CRAFIT EASIL TRADIASI
INTISARI
Telah dilakrkm sinlesk dd kdalldissi sifal lhd! hpim tipis sFit htsil
iradi6i. I"apism tipis grafil dideposhi di alas subsrdl sili(on (100) 'l€n#n
m€nssntutd retnik 4ztel,,g. Serbuk gnnl dibual ddd benn& lclcl denso
nenseunatd rlal p6 hidmulik dengd nssa beb pcneko ?,5 lon PeleL
gEnt yms lerb.i$l sleiu[lya dieual sebagai irScl dalu deposjsi lapisan
ribisdenM nflqs ars \iner ..kn' D.-t r^olon.?d vaFQtoh sDurz449
*b.ld_d i*di;. dens- mmggundltr .im srtu d ldtllm idertifk6i
morfologi p@uk@ dm kelebale loPism tipis vdg letbentuk denge
S-*ns Eh.to
Mi.Toeope (SEN, dm
kddll€tsi
sihr
^*gs@6r^
lisrriknya denge n€ngguale alal ulu LcR-meie! H$il iddtinkdi dengd
nenecualm sL M menLiiult bahqd.ap'b rrpF gmnr JUsd rnbdnlr
me;'ia pemuka yrs h.l r dd \omose0 *tu nmriiri kcrcbalu 12 03 @
Lapisd lipis k€nudi& diindisi denea ne.ssuatd sinr gam dc4r
dosis loo kcy. 200 *Gy. 300 kcy, od 400 kcy Un$l dengeirnu perubabo
tEka dilalutd
sifat lisGt ddi lapis tipis sDfit oleh iadiasi sinu
kenbali !.he!kum sifat lislit lapis tipis 8!tnl ini Easil P€ngulom sifal
listrik ini n€nujulr@ peningi{atan sifal lisuik lapis 1ipi3 sEfit taltu bmpa
nilai ko.duktivila de knpsiosi, seinq dmgd peningkalan dosis radiai
kaPasilmi
Peninglalan dlai kondukivi&s nenmpai nilai 111,682%
Dencalt 142,403% setelrn dimdisi @pai dosis 400IGy pada fretumi 100
sdot
dd
Kara
keci: Lapis Tipis GEfii Dc-Unbaldced
Sind Cmna. kondDkivilas listiik, kap$i&nsi
Masnetron Spunetitg,
lqdiNj
BAA
I
PEI\'DAET'LUAN
wsu teg
Ktrbon seboeal elah sdu
ke6k bmi dapat dii@ukfl
saa
strultu bqbeda-b€da tee dit€n&l
aloEop kebon
yag
2OOO)
da nenpur€i
do[op krbor
s€besai
tdF
boyat dlieEule di
b€bd dalm b€nhrk kisLn dog@
dapal digolongkm ke
pa@ ks€m kekutafr'€ pada
palins
Sa]ah
stu ddi
ddm kelonlok keImil rola
aru
koodukivitas lisEil
dnggir
(snauns dm
Bisnop.
do tmduktivites temtl
vmg
hail d.tld du dimesi (Lawn€, 2004) addah erait Kelebile lsnebut
nmbut s.6r
diDspEp sebagai
sla!
nemik utul dieunald d4l@ bides
?otensi
Fngglllr6
senjal
€'MDl
lebih dari 50
divals el€kironik
yas be$lsis
ini. S€irins dengd itu, Fnelide lenlmg efek Ediai
jusa lela!
dilaLul
di nee@-negm maju
eBfit
sffi
pada
pada
ddd
tlhb ,eg
mju t€l.I nq€liti balm-balm kdbot ini
de kmudid 6emqs
fitu yag
elekrronik
alohoFalolrop kdbon
bideg elektroni! rela! dip€lajdi
Nesda-neg@
satu matdial doCrn
ldlu
inltui4
bsne-bahd
be,he'btnd ini
*jal t!!M l95Ge, kluNtrva
s3fit. CEtrl yee diiEdisi denee Edi6i P€4ion (6disi dengm
enerSi
tinggi) netry€babt@ ldjadinya cacat pada stml\tEya. C&at
dilEillm ddi
persesetu aro6 atibal ddi intentsi mdisi tengion denge
b.b4 €6eb!t
(YU6i
ale
d*1. 2007). Cacal alau kerustm pada naterial berb&5is kabon ini
mfrD€ngamhi sifal eleldoDiknF (Cepenta
Tuj@ ddi perclitie ini
d6gd nflssurald
dd Flip$.
adalan tenmbunm
2007).
bPiw lipis lrdfit
neiode Dc-Unbalare.l Magretrc, Spt eting
elejuhya diiEdidi deiga nersgulaks
siE
yeg
sMma utuL delihol
peruba!& sifat listril yaitu kondlkivir4 dm kapNiia.silya seteltl diiradiosi
sndgslmadengM nereeunalm tlar ul u rCq_r.rer
Ma.fal dai pdelilim ini
adalah
untut
nfrberiks intoftasi
m€ngeMi
p.rgaruh iradisi sind ga]ma dengm dosis b€rbed! lerhadtp sifdl lishik
lapiw lrpis glafit yaitu nilal
dinEbubte de.g6 n
kondnkiviras
da! kspsitansinya, yung
tode Dc-Unbalance.l Magnettu4 Sprnetile,
de
infomi baei penelilim
utuk dapal nqmbunke hpis nph (lltntlr) hdil iadidi
penelidd ini dihdpks dapal menbenka
Flejumya
gom4
Fhinsga dapat
n€nghsilte
divais elekl$nit
Ballse naiala! pada penelitid ini
adalah
nogelalui pogduh iEdisi siffi galma de.8e
sifar listrit
lapis liph sEfit ydnl
yeg lebil bait.
kmkdsi utuk
dosis b.!b.da shadap
nilaj kondukivil4
de kapsndsiny!"
PENUTUP
Ddj h6i1 pedind
L
Pombune
hris
yang telah dilalakm dapat
dimbit tesiDputs
tipis sanl yme di$nbuhka diatas s$srar Siliton
(100) dagm n€nggualan tetode Dc-Unbalne'i Masneton
Sprrle4ng,
ldju 3,li@
A,
dogo sulu
s6 araor
I
00
slbst st 3(lO'C,
sm, t€eeam plMa
dd ylku pombule
Fmulm
leke& tabug 5, x lO'1To!,
180
600
v, oru FIssa
n6it ndghsilkd Iapis
yag halu dd hobogetr daSd k tebald
2, Hail tengul.Uru sifat listrik d.ne6 ndgsumttu
mdujul&e
12,08
rlat
0,025
ripis densm
pd.
uhr
LcR-meler
nilai kondukiviras lapitu tipis gEnl m€ningkli
einry
ddgm meringtatnya lilai Aeh€si dm nilai kapsitdtsi lapim tipis
grefit
nmlro sirins de.se nminelalrtr dhi n
3. H6il p€nsulm
di&patt
n dlai
netuoela'
sei
sifat lisrrit dengd
dd
slat
trtu rcR neler
kapaitsci lapitu tipis sntr
naingr,mya do(i. mdj$i qitr e'mr.
kondlkivilas
dns densu
ndgsuatm
hEhsi,
DAFIAR PUSTAKA
AA1ani.M'2At0. Dalor
Dao
P.orel6i nad;6r;
lT.
tuncka Ciprz, lalana
Cevol4 J dd llipse. C, F, J..2007. The Roh of Delectt on the Elecxonic
Sttuctwe of a Craphite Sudace, Joumal of Physics. IOt lublishjns,
A'1986 Efect ofcanna Radiatioh on the Electical Prcperties of
Blact-Loaded UMlcmized Sr/,ere sutadietu Rubtu lat
Applietid to Aadiation Dosinetry. Atabld Joaral for Science dd
FaAel,M.
wbon
Ensinering,
Udmity
Petrolem md Mineftls. Saldi Aftbia
HMiq Ags
Sdd, 2003, ,/et FDlotorait do Piro.l.Itrit Aoa,rstrTrafior
(BSI) rary .lida.l,1h Niobi n (BSNI) Meaggunokan Maode Chenicol
Salution Dewsition, Skipsi Fatalt s MIPA, lftti
Peiai& Bosor,
Infdw,
Y.l, M,A, 2000, Sj,rdth dda Kqoldetis$i Bah@ Polietilen4 (LPDE)
(ABS) ebetun dan setetah diindia\i.
Skripsi Fatuhas MIPA, Institlt
'tiftheSepuluh Nov€mbd, Sdsllya
,lktilohntil Butadietu
Konma"
Ms*I,
1991. Filn DerDsilion Br Pl6na Iechriqt*,
Vnlas Berlin Eeidelb€rs, New York.
latnd
editio'! Sprin8.r
L. l. md 6lmg, R., 1970. Edndboot ofThin Filn fechn Lel, M! CEw
of ctbon, gaphite, dianond, and ju .pn5:
propetties, pracessi s and awlt arra Noyes Publiation, UDited Siaied.
Pi66 , H!*t o., 1993, Handlook
tieen ,
Husn o., 199s. Hatulbook of chenical vapot depostion:
technoloqy and application, Iloyes Publicadon. Uniled Slated.
pjrciples,
Rdd, 8., Appleydd, S.P. md Yardim, M. F,.2@1, D6isn and Co,liol of
Stru.twe Cdbon Mat ials lbr Ehhahced Pefomance, rJtwet Ac d6i.
Publishd, N.tn€neds.
Rozpl@h. F., tatyc, J-, ed St&lowski, l.,2CtO1. Gtupheka Bonding ik
Orapltle, Acla Phrsica Polonia ,4, Polonia,
CRAFIT
IIISIL IRADIASI
SLriFi
unt* n@albi
st
si& F6rr6tm lrfuFld.5 gelr 8&i@ SaiB
0613J009
t
padr
JI'RI'SAN
FAI('LTAS MATT.MATIKA DtN ''SIKA
ILMU PENGETAEUAN ALAM
I'NIWRSITAS ANDAI,AS
PADING
2010
&
SINTESIS DAN KAXAKTEFISASI STFAT LISTRIK LAIISAN TTPiS
CRAFIT EASIL TRADIASI
INTISARI
Telah dilakrkm sinlesk dd kdalldissi sifal lhd! hpim tipis sFit htsil
iradi6i. I"apism tipis grafil dideposhi di alas subsrdl sili(on (100) 'l€n#n
m€nssntutd retnik 4ztel,,g. Serbuk gnnl dibual ddd benn& lclcl denso
nenseunatd rlal p6 hidmulik dengd nssa beb pcneko ?,5 lon PeleL
gEnt yms lerb.i$l sleiu[lya dieual sebagai irScl dalu deposjsi lapisan
ribisdenM nflqs ars \iner ..kn' D.-t r^olon.?d vaFQtoh sDurz449
*b.ld_d i*di;. dens- mmggundltr .im srtu d ldtllm idertifk6i
morfologi p@uk@ dm kelebale loPism tipis vdg letbentuk denge
S-*ns Eh.to
Mi.Toeope (SEN, dm
kddll€tsi
sihr
^*gs@6r^
lisrriknya denge n€ngguale alal ulu LcR-meie! H$il iddtinkdi dengd
nenecualm sL M menLiiult bahqd.ap'b rrpF gmnr JUsd rnbdnlr
me;'ia pemuka yrs h.l r dd \omose0 *tu nmriiri kcrcbalu 12 03 @
Lapisd lipis k€nudi& diindisi denea ne.ssuatd sinr gam dc4r
dosis loo kcy. 200 *Gy. 300 kcy, od 400 kcy Un$l dengeirnu perubabo
tEka dilalutd
sifat lisGt ddi lapis tipis sDfit oleh iadiasi sinu
kenbali !.he!kum sifat lislit lapis tipis 8!tnl ini Easil P€ngulom sifal
listrik ini n€nujulr@ peningi{atan sifal lisuik lapis 1ipi3 sEfit taltu bmpa
nilai ko.duktivila de knpsiosi, seinq dmgd peningkalan dosis radiai
kaPasilmi
Peninglalan dlai kondukivi&s nenmpai nilai 111,682%
Dencalt 142,403% setelrn dimdisi @pai dosis 400IGy pada fretumi 100
sdot
dd
Kara
keci: Lapis Tipis GEfii Dc-Unbaldced
Sind Cmna. kondDkivilas listiik, kap$i&nsi
Masnetron Spunetitg,
lqdiNj
BAA
I
PEI\'DAET'LUAN
wsu teg
Ktrbon seboeal elah sdu
ke6k bmi dapat dii@ukfl
saa
strultu bqbeda-b€da tee dit€n&l
aloEop kebon
yag
2OOO)
da nenpur€i
do[op krbor
s€besai
tdF
boyat dlieEule di
b€bd dalm b€nhrk kisLn dog@
dapal digolongkm ke
pa@ ks€m kekutafr'€ pada
palins
Sa]ah
stu ddi
ddm kelonlok keImil rola
aru
koodukivitas lisEil
dnggir
(snauns dm
Bisnop.
do tmduktivites temtl
vmg
hail d.tld du dimesi (Lawn€, 2004) addah erait Kelebile lsnebut
nmbut s.6r
diDspEp sebagai
sla!
nemik utul dieunald d4l@ bides
?otensi
Fngglllr6
senjal
€'MDl
lebih dari 50
divals el€kironik
yas be$lsis
ini. S€irins dengd itu, Fnelide lenlmg efek Ediai
jusa lela!
dilaLul
di nee@-negm maju
eBfit
sffi
pada
pada
ddd
tlhb ,eg
mju t€l.I nq€liti balm-balm kdbot ini
de kmudid 6emqs
fitu yag
elekrronik
alohoFalolrop kdbon
bideg elektroni! rela! dip€lajdi
Nesda-neg@
satu matdial doCrn
ldlu
inltui4
bsne-bahd
be,he'btnd ini
*jal t!!M l95Ge, kluNtrva
s3fit. CEtrl yee diiEdisi denee Edi6i P€4ion (6disi dengm
enerSi
tinggi) netry€babt@ ldjadinya cacat pada stml\tEya. C&at
dilEillm ddi
persesetu aro6 atibal ddi intentsi mdisi tengion denge
b.b4 €6eb!t
(YU6i
ale
d*1. 2007). Cacal alau kerustm pada naterial berb&5is kabon ini
mfrD€ngamhi sifal eleldoDiknF (Cepenta
Tuj@ ddi perclitie ini
d6gd nflssurald
dd Flip$.
adalan tenmbunm
2007).
bPiw lipis lrdfit
neiode Dc-Unbalare.l Magretrc, Spt eting
elejuhya diiEdidi deiga nersgulaks
siE
yeg
sMma utuL delihol
peruba!& sifat listril yaitu kondlkivir4 dm kapNiia.silya seteltl diiradiosi
sndgslmadengM nereeunalm tlar ul u rCq_r.rer
Ma.fal dai pdelilim ini
adalah
untut
nfrberiks intoftasi
m€ngeMi
p.rgaruh iradisi sind ga]ma dengm dosis b€rbed! lerhadtp sifdl lishik
lapiw lrpis glafit yaitu nilal
dinEbubte de.g6 n
kondnkiviras
da! kspsitansinya, yung
tode Dc-Unbalance.l Magnettu4 Sprnetile,
de
infomi baei penelilim
utuk dapal nqmbunke hpis nph (lltntlr) hdil iadidi
penelidd ini dihdpks dapal menbenka
Flejumya
gom4
Fhinsga dapat
n€nghsilte
divais elekl$nit
Ballse naiala! pada penelitid ini
adalah
nogelalui pogduh iEdisi siffi galma de.8e
sifar listrit
lapis liph sEfit ydnl
yeg lebil bait.
kmkdsi utuk
dosis b.!b.da shadap
nilaj kondukivil4
de kapsndsiny!"
PENUTUP
Ddj h6i1 pedind
L
Pombune
hris
yang telah dilalakm dapat
dimbit tesiDputs
tipis sanl yme di$nbuhka diatas s$srar Siliton
(100) dagm n€nggualan tetode Dc-Unbalne'i Masneton
Sprrle4ng,
ldju 3,li@
A,
dogo sulu
s6 araor
I
00
slbst st 3(lO'C,
sm, t€eeam plMa
dd ylku pombule
Fmulm
leke& tabug 5, x lO'1To!,
180
600
v, oru FIssa
n6it ndghsilkd Iapis
yag halu dd hobogetr daSd k tebald
2, Hail tengul.Uru sifat listrik d.ne6 ndgsumttu
mdujul&e
12,08
rlat
0,025
ripis densm
pd.
uhr
LcR-meler
nilai kondukiviras lapitu tipis gEnl m€ningkli
einry
ddgm meringtatnya lilai Aeh€si dm nilai kapsitdtsi lapim tipis
grefit
nmlro sirins de.se nminelalrtr dhi n
3. H6il p€nsulm
di&patt
n dlai
netuoela'
sei
sifat lisrrit dengd
dd
slat
trtu rcR neler
kapaitsci lapitu tipis sntr
naingr,mya do(i. mdj$i qitr e'mr.
kondlkivilas
dns densu
ndgsuatm
hEhsi,
DAFIAR PUSTAKA
AA1ani.M'2At0. Dalor
Dao
P.orel6i nad;6r;
lT.
tuncka Ciprz, lalana
Cevol4 J dd llipse. C, F, J..2007. The Roh of Delectt on the Elecxonic
Sttuctwe of a Craphite Sudace, Joumal of Physics. IOt lublishjns,
A'1986 Efect ofcanna Radiatioh on the Electical Prcperties of
Blact-Loaded UMlcmized Sr/,ere sutadietu Rubtu lat
Applietid to Aadiation Dosinetry. Atabld Joaral for Science dd
FaAel,M.
wbon
Ensinering,
Udmity
Petrolem md Mineftls. Saldi Aftbia
HMiq Ags
Sdd, 2003, ,/et FDlotorait do Piro.l.Itrit Aoa,rstrTrafior
(BSI) rary .lida.l,1h Niobi n (BSNI) Meaggunokan Maode Chenicol
Salution Dewsition, Skipsi Fatalt s MIPA, lftti
Peiai& Bosor,
Infdw,
Y.l, M,A, 2000, Sj,rdth dda Kqoldetis$i Bah@ Polietilen4 (LPDE)
(ABS) ebetun dan setetah diindia\i.
Skripsi Fatuhas MIPA, Institlt
'tiftheSepuluh Nov€mbd, Sdsllya
,lktilohntil Butadietu
Konma"
Ms*I,
1991. Filn DerDsilion Br Pl6na Iechriqt*,
Vnlas Berlin Eeidelb€rs, New York.
latnd
editio'! Sprin8.r
L. l. md 6lmg, R., 1970. Edndboot ofThin Filn fechn Lel, M! CEw
of ctbon, gaphite, dianond, and ju .pn5:
propetties, pracessi s and awlt arra Noyes Publiation, UDited Siaied.
Pi66 , H!*t o., 1993, Handlook
tieen ,
Husn o., 199s. Hatulbook of chenical vapot depostion:
technoloqy and application, Iloyes Publicadon. Uniled Slated.
pjrciples,
Rdd, 8., Appleydd, S.P. md Yardim, M. F,.2@1, D6isn and Co,liol of
Stru.twe Cdbon Mat ials lbr Ehhahced Pefomance, rJtwet Ac d6i.
Publishd, N.tn€neds.
Rozpl@h. F., tatyc, J-, ed St&lowski, l.,2CtO1. Gtupheka Bonding ik
Orapltle, Acla Phrsica Polonia ,4, Polonia,