1. Home
  2. Lainnya

Metode Penelitian Lokasi Penelitian Alat dan Bahan Alur Pembuatan Pemandu Gelombang Optik berstruk Planar menggunakan

23 Anggraeni, 2014 PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu | perpustakaan.upi.edu

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

A. Metode Penelitian

Metodepenelitianmengenai “Perancangan dan fabrikasi prototype pemandu gelombang optik berstruktur planar menggunakan polimer”yang digunakan adalahstudiliteraturdaneksperimen, dengan skema penelitian seperti pada Gambar 3.1. MULAI Identifikasi dan Perumusan Masalah Litografi Wafer cleaning dengan RCA-1 dan RCA-2 Spin Coating Photo exposure,Wet etching,Resist strip,dan curing Karakterisasi fisikkarakterisasi SEM dan jarum ukur SELESAI Data Sekunder Persiapan alat dan bahan Pemograman Wolfram Mathematica Marcatili’sMethodedanpers amaan Maxwell Anggraeni, 2014 PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu | perpustakaan.upi.edu Gambar 3.1. Bagan Alur Penelitian Gambar 3.2. Bagan Alur Fabrikasi HD MicroSystems

B. Lokasi Penelitian

Tempat : LaboratoriumBahandanKomponenMikroelektronikaPusatPeneliti an Elektronika dan Telekomunikasi –Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia PPET –LIPI Waktu : April 2014-Juli 2014 Alamat : Komplek LIPI Jl. Sangkuriang Gd. 20 – Bandung 40135 telp. 022-2505660, 2504661 Fax. 022-2504659. Si Wafer Cleaning Si oksidasi SiO2 Spin Coating Polimer SiO2 Polimer SiO2 Photoresist Polimer SiO2 Photoresist SiO2 SiO2 Photo Exposure Wet Etching spin coating Resist strip dan Curing Anggraeni, 2014 PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu | perpustakaan.upi.edu

C. Alat dan Bahan

1. Alat a. Spin coater+vacum b. Hot Plate c. Lampu XenonExposure Unit d. Peralatan kimia e. Positive mask f. Gas N 2 g. Handphone stopwatch h. Gunting i. Tissue 2. Bahan a. Polimerpolyimide b. TetrametylamoniumhidroxideTMAH c. HFAsam Florida d. DI-water e. NH 4 OH f. H 2 O 2 g. HCl h. Photoresist i. VM-651promotor adhesive j. Acetone k. N-Butylacetat

D. Alur Pembuatan Pemandu Gelombang Optik berstruk Planar menggunakan

Polimer Anggraeni, 2014 PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu | perpustakaan.upi.edu 1. Litografi 2. Wafer Cleaning dengan RCA-1 dan RCA-2 Gambar 3.4. AlurWafer Cleaning Dengan RCA-1 dan RCA-2 Preparasi substrat Silika RCA-1 Pencampuran NH 4 OH + DI-Water + H 2 O 2 Pemanasan pada suhu 75 o C selama 15 menit Pencampuran HCl + DI- Water + H 2 O 2 RCA-2 Pemanasan pada suhu 75 o C selama 15 menit Perendaman wafer pada RCA-1 dan RCA-2 Pengeringan dengan gas N 2 Larutan HF:H 2 O 2 5:100 Pencucian dengan HF Gambar 3.3. Alur proses litografi Merancang pemandu gelombang optik planar Pencetakan pola masker pada orto film Aplikasi wolfram mathematica dengan menggunakan persamaan 19-23 dan persamaan 60 dan 62 Pembuatan masker : 1. Desain masker dengan Corel draw X5 2. Printing di POLAR Anggraeni, 2014 PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu | perpustakaan.upi.edu 3. Spin Coating Gambar 3.5. AlurSpin Coating 4. Photo exposure, Wet etching, resist strip,curing Pelapisan wafer dengan VM-651promotor adhesive Pelapisan Polyimide Photoresist Kecepatan 7600 rpm selama 60 detik Spin coating dengan kecepatan 3500 rpm Photo exposure dengan lampu xenon selama 60 detik curing Wet etching Perendaman pada TMAH selama 20 dan 40 detik kemudian Spin dry dengan kecepatan 5000rpm selama 15 detik Resist strip Karakterisasi fisik Perendaman pada N-butilacetate selama 10 detik kemudian Spin dry dengan kecepatan 5000rpm selama 15 detik Pemanasan pada hotplate 200 ℃ 30menit dan 350℃ 1jam Anggraeni, 2014 PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu | perpustakaan.upi.edu Gambar 3.6.AlurPhotoExposure, Wet Etching, Resist Strip danCuring

E. Prosedur Pembuatan pemandu gelombang optik planar

Dokumen yang terkait

FABRIKASI SERAT NANO BERBASIS POLIMER MENGGUNAKAN TEKNOLOGI ELECTROSPINNING

0 10 4

Prototype Material Penyerap Gelombang Radar dari Komposit Polimer Chitosan-Polivinil Alkohol

3 28 105

Fabrikasi Dan Karakterisasi Pandu Gelombang Planar Polimer Terkonjugasi.

0 1 51

Efek Jenis Pelarut Terhadap Sifat Optik, Morfologi Permukaan dan Koefisien Waveguide Loss dari Pandu Gelombang Planar Polimer Terkonjugasi MEH-PPV.

1 1 14

Fabrikasi Film Hibrid Anorganik-organik Untuk Optik Pemandu Gelombang.

0 1 16

Pengaruh Orientasi dari Rantai Polimer Terkonjugasi pada Morfologi Permukaan dan Koefisien Waveguide Loss Pandu Gelombang Planar.

0 0 19

PERANCANGAN DAN FABRIKASI PROTOTYPE PEMANDU GELOMBANG OPTIK BERSTRUKTUR PLANAR MENGGUNAKAN POLIMER - repository UPI S FIS 1001106 Title

0 0 3

Berbagai jaringan serat optik dengan Ana

0 0 5

Perancangan Sensor Pergeseran Rentang Panjang Menggunakan Serat Optik Berstruktur Singlemode-Multimode-Singlemode ( SMS )

0 0 10

Fabrikasi dan Karakterisasi Pandu Gelombang Berbentuk Planar pada Kaca Soda-lime dengan Metode Pertukaran Ion - UNS Institutional Repository

0 0 20