Gambar 3.1. Diagram Alir Penelitian Morfologi dan
komposisi Sifat optik
Struktur kristal XRD
SEM-EDAX Uv-vis-nir
YA TIDAK
Pembuatan target CdTe dan
CdTe:Cu Mulai
Preparasi substrat
Deposisi film tipis CdTe dan CdTe:Cu
Karakterisasi film tipis
Analisis hasil dan pembahasan
Penulisan hasil penelitian
Selesai Apakah hasil optimal?
37
BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN
Film tipis CdTe sebagai bahan pembuat sel surya telah berhasil ditumbuhkan dengan metode dc magnetron sputtering di atas substrat ITO.
Penumbuhan tersebut dilakukan dengan menambahkan doping Cu dan membandingkan hasil deposisi film tipis antara CdTe tanpa doping dengan
CdTe:Cu. Hal ini dilakukan karena dengan menambahkan Cu pada penumbuhan film tipis CdTe diharapkan akan memperbaiki sifat fisis film tipis CdTe. Deposisi
pertama dilakukan dengan menumbuhkan CdTe dan CdTe:Cu15 pada suhu 250
ᴼ
C selama 2,5 jam dengan daya plasma 14 watt. Deposisi selanjutnya dilakukan dengan menggunakan target CdTe dan CdTe:Cu2 pada suhu 325
ᴼ
C selama 2,5 jam dengan menggunakan daya plasma 43 watt.
Parameter yang digunakan untuk menumbuhkan film tipis CdTe dan CdTe:Cu adalah sama. Hal ini dilakukan agar terlihat perbedaan sifat fisis antara
film tipis CdTe yang ditumbuhkan tanpa doping dengan film tipis CdTe yang ditumbuhkan dengan doping Cu.
4.1 Hasil Penelitian
4.1.1 Film Tipis CdTe dan CdTe:Cu15 yang Ditumbuhkan pada Suhu
250
ᴼ
C dan Daya Plasma 14 watt 4.1.1.1
Karakterisasi SEM
Struktur mikro film tipis dapat dikaji dari karakterisasi SEM. Citra morfologi SEM film tipis CdTe dan CdTe:Cu15 yang ditumbuhkan pada suhu
250
ᴼ
C dan daya plasma 14 watt ditunjukkan pada Gambar 4.1.
Gambar 4.1 Citra morfologi SEM dengan perbesaran 20.000 kali film tipis yang ditumbuhkan pada suhu 250
ᴼ
C dan daya plasma 14 watt
a CdTe b CdTe:Cu15
Citra morfologi SEM pada Gambar 4.1 a memperlihatkan bahwa bulir yang dihasilkan film tipis CdTe yang ditumbuhkan pada suhu 250
ᴼ
C dan daya plasma 14 watt tidak rata. Penambahan doping Cu15 Gambar 4.1 b
menyebabkan bulir yang dihasilkan menjadi lebih rata. Dari karakterisasi SEM juga dapat diperoleh informasi mengenai ketebalan film yang diamati dari
penampang melintang. Penampang melintang film tipis CdTe ditunjukkan pada Gambar 4.2.
a b
