1. Home
  2. Lainnya

Katoda dudukan benda kerja

3.8. Pembuatan Power Supply

Proses pembuatan power supply terdapat beberapa langkah diantaranya adalah sebagai berikut :

3.8.1. Rangkaian power supply

Rangkaian power supplay terdiri dari transformator, kapasitor high voltage, dan dioda high voltage sebagai inti dari rangkaian power supplay yang digunakan dalam mesin DC magnetron sputtering. Transformator yang digunakan dalam rangkaian ini adalah transformator jenis step up, transformator tipe ini dipilih karena memiliki spesifikasi daya 900 watt dan tegangan output sebesar 2000 V. Penggunaan fuse 1 ampere pada rangkaian power supply ditujukan agar tidak terjadi loncatan bunga api. Sedangkan rangkaian jadi power supply pada Gambar 3.11. Gambar 3.9. Sekema rangkaian power supply. Gambar 3.11. Rangkaian jadi power supply. Dioda Kapasitor Transformator step up Fan 12” 1 2 3

3.9. Vacum pump

Pompa vakum yang digunakan pada mesin DC magnetron sputtering ini adalah pompa vakum merk ROTHENBERGER seri ROAIRVAC 1.5 Gambar 3.12 yang mampu bekerja hingga tekanan udara maksimal . Gambar 3.12. Vacum pump dan spesifikasi

3.10. Pengujian Mesin DC Magnetron Sputtering

Pengujian mesin DC magnetron sputtering dilakukan dua kali yaitu : pengujian tekanan vakum dan pengujian sistem power supply.

3.10.1. Pengujian Tekanan Vakum

Setelah mesin DC magnetron sputtering selesai dibuat langkah selanjutnya adalah melakukan proses pengujian pada vakum chamber untuk melihat apakah dapat berfungsi sesuai dengan tujuan awal pembuatan. Karena proses pelapisan menggunakan mesin DC magnetron sputtering merupakan proses pelapisan dengan menggunakan tekanan rendah maka perlu diuji seberapa rendah tekanan udara pada vakum chamber yang dapat dicapai. Pengujian tekanan vacuum chamber ini dilakukan dengan langkah pertama tabung vakum chamber dipasangkan selang pompa vakum pada bagian tutup tabung, kemudian langkah selanjutnya pompa vakum dinyalakan dan tekanan udara didalam vakum chamber diturunkan sekecil mungkin yang ditunjukan dengan naiknya indikator tekanan pada pompa vakum secara maksimal. Langkah terakhir adalah mencatat tekanan yang tertera pada indikator pompa vakum. Ditunjukan pada gambar 3.13.

Dokumen yang terkait

PENGARUH LAPISAN PENYANGGA AlN DAN DAYA PLASMA PADA SIFAT OPTIK FILM TIPIS GaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING

0 8 79

STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdS DOPING Zn YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING

1 16 72

DEPOSISI DAN KARAKTERISASI FILM TIPIS CdS CdTe Cu YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING

0 8 75

Performansi Kelistrikan Heterojunction CdTe CdS yang Ditumbuhkan dengan Metode DC Magnetron Sputtering

0 12 93

Pengaruh Doping Cu Terhadap Struktur Dan Sifat Optik Film Tipis CdTe Yang Ditumbuhkan Dengan Metode DC Magnetron Sputtering

0 15 91

Struktur dan Sifat Listrik Film Tipis CdTe Cu yang Ditumbuhkan dengan Metode DC Magnetron Sputtering

1 5 83

Deposition of Micro Contact Based Probe Cell for IC Testing by Dc Magnetron Sputtering Technique.

0 3 4

Thickness Dependence of The Surface Roughness of Micro Contact Deposited By Dc Magnetron Sputtering Technique.

0 4 5

Pengaruh Tekanan Gas Argon pada Penumbuhan Film Tipis Ga2O3:Mn dengan Menggunakan Metode dc Magnetron Sputtering.

1 6 71

PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF TRANSPARENT CONDUCTIVE ZnO THIN FILMS BY DC MAGNETRON SPUTTERING - e-Repository BATAN

0 0 5