INSTRUMENTASI DAN TEKNIK ELLIPSOMETRI.

INSTRUMJ:N'fASI DANT.EtrWlp ｆＮ

ｉｊｾｍｦｴｬｲ＠

Ptl\lllUI"III ＦｬｰＱＴＮｭｾｲ＠
dld•41rkan pada pt"'babact ｰ＼ｾ｢ｲｬｳ｡
Ｇ ｬ＠
cahaya dart bid. . 'po&al1eall pa4,a ptl'lllllbtlll ptmaallll Ptrubalun
polllrbatl YUI ._bud ｡､ｬｾ＠
Iliad- polubul krupa dll ...
Cahaya )'IDI ｵＱｾ＠
pacta -•Ptj)d blasanya cllbi!M terpolub all rlllpdk
daa loftdun polarl•atl berubl\l dari uadllll Jemlllll ｾ･ ｴｗｉ＠
llltftlAccatkan ta..,el, allla c.,_ ....e.al • • • ､ｮｾ｡＠
ktad..,
polllriml ｾｲ＠
daa teltlall mtA..IPlku aall\l)tl kadaao poluilulll)a
IM>Nbah, bi11Sa111t ｾｲｵｰＱ＠
dlipa ､ｴｾ｣｡＠
ｾｲ｡ｫ
Ｈ ｴｭｬｩＮｫ＠

te.rttoc.,
Ptrubllhan inlbh yana•iaud dtiiJao !lldoda EIUpsometri.
Cahaya ttrpobrillll dllplik adahth lluU tuptrpoml ､ｾ＠
koCDponta t aNya ltrpola. .sl yaa. nltlllpu•YIIl ampllllldo aaroa ltllpl
berbeda faJe, dnpJI ' 3 • ± 0,5 JIJ1I 1 (Ill • 0, I, 1, ....). Ktlldau
polarbttl ttlipdk dapar 11-,atakae ､ｴｰｾ＠
DICUijau pt!IJtlarn IMrlull
callaya Rrpolariull dlpd• dalaa arab ｮ｢ｾ＠
- If )'IDI dl&amblrbn
sebagal Mall dart dua gerak barmOliU stderbana yao1 dibutaepa.ojiiAil

-73-

AUibu· s da.a tu•bu-y dtnpa f'rllllttlltl , .... -pllhMio 11 d• a1o

sMut ,_.

61 ••n
poleril.ell . . .tlk.

dNto

a• & . a•.

&. lkrikat r.l
ｾＬＮ｟＠

perre=•a •tuk

l!t.f
·[!.r.J . I !:.Sl:. ......,
\ •· .. 1 ._•• r

I

..

-

(It )

D. Sltlrte Perele._
..,....0 leriCftiaAiet ( Ellpn •tkr Nol)

......•.·-,......
..
Gamb:tr 2. &gao 1..Hp1v.r u...- I ｾ

ａ＠

O.rus seWer tebe)e " -trk tal. ttrpolariaul (bluer.) a
ｬ｡ｲｩｳｴｾｯＡ＠
olrh polarisator.
cbri •umbtr 1.-.rr) dh•beh nwnjadi ｾｴｲｰｯ
Ｑ ｬ ｵｲ＠
• lllllah prbrliM G'lno•nJoon mJ
I ru•rmii\M JlllrO...t•H )•U•It ｲｬｾｵｮ
)'""' ｾｵ･＠
ktplnl: ｃ･ｬ｣ｾ＠
y•u: diftkatl..lla. liiJa rllheye 11111 ltrpoleriJad

ｴｬｪｾｃｉ＠
hi 1 ( _.,le ｊｬＨｾＬ｡ｴ＠
mi ke ｴｾＰｬＮ＠
lnltMIII IUIIII Ｆｫ ｡ｴｾ Ｂ＠
r.• t:) el bl..u hanu er1v dlptrlNkan :
,
• · \1odeR ) ang
l l mum tidal. ｾｲｬ｡
ｫｵ＠ untuk lnplsan )lUI& teba.ln)t htnyi bthtravo
aro m ik.
Mtttlab )'tng btrbtd a akan mwt(ltl unruk lapisan ytlll td•lll,
ｩ ｮｬ ｴｲｊｬｾ
ｬ｡ Ａ ｬｫｯｮ＠
m •n)Atli lthlh t ulit knrrn• panj,ang Jlruasan optb.

-76-

F.I. Manaukur Ttball.a.p iiM

:._.L

__"'__ ｾＱ＠
sz:....

r=·.
!

;:__ _
' -....
!/.;:,.,
•

-

o...ｾ ＮＬ

ｳ ｾ＠

Ｑ Ｎ＠

Plllb eambar dl atu. tt,rllbat dua tallaya refleksi krinttmrau:i

satu sama lalft, tDalal dart ..W. IUipal IN