Prooseding SNF MKS 2013
:
ffiwaru&ffi
lsBN 978-602 -14842-0-3
rueffiffiffiroe6_ ffiflffif,
ffi
ffi
{Gffi
[email protected]
Kamis, 14 November 2013
Hotel Singgasana Maka$sar
itian dan Pendidikan Frsika
ndifian Bangsa
"
-
-:"tt''*"t'to'
;ffi
|;/E:tt6.
rsBN
97 8-602-
L
4842-0-3
Prosiding
Seminar Nasional Fisika Makassar 2013
(sNr-MKS)
"Pemberdayaan Penelitian dan Pendidikan Fisika
untuk Kemandirian Bangsa"
Hotel Singgasana M'akassar
14 november20lS
Editor
Prof. Dr. H. Halmar Halide, M-Sc.
Dr. Bualkar Abdullah, M.Eng-Sc.
Dr. Nurtaela Rauf, M.Sc.
Dr. Tasrief Surungan, M.Sc.
Dr. Dahlang Tahir, M.Sc.
.
Layout
Muhammad Arbiamyah, S.Si
Hamdan Heruryanto
Cover
Muhammad Yusuf Usman, S.Si
.-:
O 2014 Physics Study Prograrn, Department of PhySics, Hasanuddin UniversitY
.. :
{.-*.
DAFTAR ISI
Corer
I
Kata Pengantar Ketua Panitia
ii
Kata Sambutan Kefua Jurusan Fisika
llt
Daftar Isi
iv
HI3-NP0l
.
Fotoproduksi Kaon Pada Nukleon Serta Bdberapa Proses Terkait
l-6
Terry Mart
Ht3-M02 Alternatif Penyelesaian
Masalah-Masalah
teori Medan
Interaksi
7-20
HI3-NA03 Dynamics of Annihilation a vortex-Antivortex Pair in Josephson
Junction Based on The Modified Time Dependent Ginzburg
8-24
Fundamental Dan Strukhr Akhir Materi
Abdullah Renreng
Landau Equations
Anf Hidayat, Hari Wisodo, Peki|'Nurwantoro, Agung Bambang
Setio Utoma, dan Eny Latifah .
,|
l
t
I
\.
HI3-NA04 Pengukuran dan Analisis Kualitas Sinyal Satelit Untuk Aplikasi
Land Mobile Salellite (LMS) Terhadap Ketinggian dan Sudut
Elevasi Penerima Glob-al Positioiring,system (GPS).
Merna Baharaddin
HI3-NA06 Analisa Nilai spektrat dan Indeks vegetasi untuk pendugaan
3
l-35
Variasi Umur Tanaman Karet
Nurlina, Ichsan Ridwan. dan Syam'ani
t
J
K
25-30
Hl3-NAll
Pernodelan Lintasan Gerak. Sel' surya Satu Sumbu Daram
3640
Pelacakan Posisi Matahari Berbasis Algoritma Meeus
Ade Agung Harnawan, Suharto, Eka Suarso,' dan
Rachmadiansyah
Hl3-NAl4
Solusi Eksak Persamaan Emst Dengan Parameter Deformasi Riil
Oleh Sumber Medan Gravitasi Simet-ri Aksial Statik
Bansawang BJ, Tasrief Suntngan, dan Wira Bahari Nurdin
4148
Hl3-NAl5 Studi Numerik Efek
Resonansi pada Surnur Kuantum (QWs)
IrxGal -xAs/InP Tensile Strained
Jumiarti Andi Lolo, Paulus Lobo Gareso, dan'Eko Juarlin
49-s4
Hl3-NAl7
Pengenalan Singkat Rasi Bintang Masyarakat tsugis
Nur Hasanah, dan Dadang Ahmad Suriamihardja
s5-57
Hl3-NAl8 Kriptografi
Kuanhrm'dalam sistem pendistribusian Kunci
(Suatu Kajian pendahuluan)
Bualkar Abdullah
lv
58-62
Hr3-NAl9 Uji
Kesesuaian Pengukuran Nilai HVL (Half Valrrc laer) terhadap
Variasi Tegangan (Kv) Dari Pesawat Sinar X pada Unit Radiologi
Syamsir Dewang
63-66
I{13-NBl4
An
De
Bu.
Hl3-N802
Penganrh Komposisi Bahan Terhadap Kekerasan Gigi Tiruan
Berbasis Keramik
67-69
Nurlaela Rauf, Sri Suryani, Suarni, Hendi, don Sidik Saputra
lr-*"0.
J
Htll\lBl5 Ka
Pa,
Struktur danFotoluminisensi Filrn Tipis Ka6om Amorf
Terhidrogenerasi (a-c:H) yang Ditumbuhkan Dengan Reaktor
Ah
Plasma CVD
Hl3-NBl8
Putut Marwoto, Suriani A- 8., dan Samsudi Sakrani
Hl3-NB04
Hl3-N805
Pengaruh Doping Cu Terhadap Performasi Film Tipis CdTe Yang
Ditumbuhkan Dengan Metode Dc Mognetron Sputtering
Ngurah Made D.P, Sugianto dan Putut Marwoto
75-80
Pengembangan Reaktor PECVD Tabgng Tunggal Untuk
Penumbuhan Lapisan Tipis di Program Studi Fisika Universitas
8l-83
Negeri Makassar
Jasruddin Daud Malo go,
dan
Hl3-NB06
Hl3-NB08
lda Usman
Hl3-NBll
Wa
Sur
HI3.NGH
Hl3-NBl3
Mr
di!
Idr
Sintesis N-doped TiO2/Ti nanopartikel untuk Degradasi Direct
Yellow pada Sinar Tampak
88-92
I{13-}.ICA6
Me
HI}NCO7
Mirzan, dan Nurdin
Analisis Kandungan Kimia dan Sifarserat Tanaman purun Tikus
(Eleocharisdulcis) Asal Kalirnantan Selatan
Totok Wianto dan Sunardi
93-97
Hl3-NC08
Destilasi' Sederhana- Untuk Menghasilk an Rubbet Compound
Ol/ (RCO) dari Ban Bekas Sebagai-sumber Energi Alternatif
Dahlang Tahir, Bidayatut Armyrah, dan Bangsawang B.J
An
Bo
De
Per
Ru:
Pengaruh Waktu Reduksi dalam Rotary Kiln terhadapo/o
Metalisasi Sponge lron
Suharto, Yayat Iman Supriyatna, Amin M-, Oedivani 5., dan
Willyandhika K
Analisis Rietveld Nanokristalin Bari um M-Heksaferrite yan g
Disintesis Dengan Metode Kopresipitasi
Irwan Ramli, Aghesti Wira Sudati, dan Mochamad Zainuri
An
Bu,
Iwc
dar
98-r0!
HI3-NC@
Per
Gel
Bia
-i
Hl3-NBr2
Per
Kh
tqrani'Afini Tiwow, Moman g Yusuf,
84-87
.Mohamad
Ka
HI}NCOI
Penumbuhan Lapisan TipisCu2O denganTeknik [mersi Kimia
untuk Aplikasi Set Surya
Ida Usman dan Aminddin
Ruslan,
Hl3-NBl0
Yis
Mc
Mc
:
102-105
Hr3-NCl0
ot(
U4
tmi
I
Nui
06-r 08
Ht3-NCll
l
Per
K"i
-"1
i
it
t
l
5
t__-.
Ht3-NBl4
Analisis Pemahaman Konsep Fisika Kuantum calon Guru Fisika
Dengan Memanfaatkan Simulasi Program PhET
Bunga Dara Amin, dan Yistaroni Arini Tiwow
t09-l l2
Hl3-NBl5
Karakteristik film n-.ZnOdengan melode Sol4el Spin Coating
Paulus.L. Gareso, NurlaelaRauf, EkoJuarlip, Sugianto, dan
Akhiruddin Maddu
I 13-t
Hl 3-NB I 8 ModelPerubahanGarisPantaidenganM etodeOne- Line
Mo d et(studiKasus : PantaiMangarabombang - Galesong Selatan,
l6
tr7-123
KabupatenTakalar)
Wa Ode Awatiah, Sakkn dan M. Alimuddin Hamzah
80
HI3-NC01
Perancangan Maximum Power Point Tracker (MPPT) pada Panel
Surya MenggunakanAlgoritma Perturb dan Observe
124-t3l
Khaeriah Dahlan
Hl3-NC04 Monitoring Mamalia Bawlh Air Dengan Sistem Sonar SSBL Pasif
132-135
di Stngai Mahakam
Idris Mandang dan DonnY F-ahrochi
87
HI3-NC06 Antena Mikrostrip Stot Model Kupu-Kupu
Ganda Larik
Tunggal
136-139
Menggunakan CPW Untuk Kodrunikasi Tanpa Kabel
Bualkar Abdullah, Eddy Yahya dan Yono Hadi Pramono
Hl3-NC07
Anal isis Frekuensi Gelombang Bioakustik Lumba-Lumba Hidun g
140-145'
Botol (Turs-iopsTruncatus) padaTerapiAutis
Devina Rayry P.S.P' dan ldris Mandang
Hr3-NC08
Pengembangan Sistem Ssnsor Kelembaban dan Temperatur Pada
Rumah Kaca Berbasis Mikrokontroller ATMEGA 8535
146-t5r
Iwan Sugriwan, Arfan Eko Fahrudin.Dindin Hidayatul Mursvidin
dan Amar Yijai Nasrulloh
t52-ts7
Hr3-NC09
Pemanfaatan Karaera Digital Untuk Menggambar Panjang
Gelombang Spektrum berbagai Jenis Larnpu
Bidayatul Armynah, Paulus Lobo Gareso, Hardiyanti Syanfuddin
Hl3-NCl0
Otomasi Citra Optik Kamera Digital Yang Tepasang Pada Pesawat 158-160
UAV LSU-2
Imam Ghoss.an, Ika Dedy Setiyadi, Ai &tgeng Budiyanta dan
Nuryani
Hl3-NCl I
Perancangan Antena Mikrostrip Pada Radar Pengukur Kecepatan 16l-163
Kendaraan Bermotor
Nurma Sari, Amar Yiiai Nasrulloh, Arfan Eko Fahntdin
H13-NDl,
Hl3-NCl4
Penerapan
H13-NDI:
r esson studydan Guided Inquiry Learning,ntuk
164-t'ta
Meningkatkan pemahaman Konsep pemaniuran dan pembizrsan
Cahaya pada Mata Kuliah Optika
Eko Nursulistiyo Ishafit, Dian Artha Kusumaninggtas,
Okimustava
dan Fajar
Fitri
Ht3-NDl(
HI3-NCI5
Pengaruh Perubahan cradding Terhadap Loss powerserat
Singlemode SMF-28
Sujito dan Arif Hidaya
Hr3-NCl6
Pergeseran spektrum Gerombang pada Filamen Beberapa
Jenis
Lampu Pijar
Bidayatul Armynah, Dahling Tahir, Lilia Afriana
Kajian Eksperiman sensor Serat optik struitur sMS dengan
otdr
untuk Pengukuran pergeseran Rentang Besar
AriJin, A.M. Haua, Sekartedjo, M.S. Muntini dan A.Rubiyanto
Hl3-NC17
Hl3-NDOl
optik
simulasi dan visualisasi Efek rotolistrik Untuk pengajaran Fisika
Modern di Program Studi pendidikan FKIp universitas patangka
17t-t77
t78-t84
Hl3-NDl9
l 85-l 89
l
90-l 93
Raya
Index
Komang Gde Suastika, Hadma yuliani dan Made Dirgantara
Hl3-ND03
Hl3-ND04
ltolel Sambungan Antar [,empeng Tektonik di Laut Utara papua
Berdasarkan Sebaran pusat Ge{npa bumi dan polasesar
Abdul Basid dan Imoratut Multtiah
Model Simulasi Makrofag pida Infeksi Mycobacterium
Tuberculosis
19+199
200-2a7
Usman Pagqlay dan Siti Mutmainah
Hl3-ND05
Hl3-ND08
Hr3-ND09
Hl3-NDu
KajianAwal Koreksi Clipped Waveforms pada Rekaman
GempaYogya 27 Mei2006 Dengan tUCSfaf
Aryono Adhi, ll/ahyudi, Wwit Suryanto
Batuan Ultra Basa Karimantan seiatan sebagai perangkap
Karbon
Dioksida
Sudarningsih, Ibrahim dan Eka Sudrso
lreti{1aV StudyApirlication of Sanitary Landfiil Using
Resistivity Method in TpA Kaburu, parak Village,
Distriit Selayar
- - -)
Makhrani, Sabrianto Aswad dan Hasanuddin -''
Perubahan Muka
(cAM)
Air Tanah Daerah Cekungan Air Makassar
208-210
2n-2t3
214-220
221-230
Muh. Hamzah Syahruddin
Hl3-NDl3
Aplikasi Metode Geolistrik Konfi gurasi wenner-schrumberger
Dalam Menganalisis Alur Vein DiBawah permukaan
Bumi
Sabrianto Aswad, Syamsuddin, Lantu, dan yudhi prawira
vI
231-236
H13-ND14
Pengaruh Kompres Air Hangat Pada Penurunan Demam
237-239
Sri Suryani Sumah
Hl3-NDl5
na
Hl3-NDl6
177
Identifikasi Zona Mineralisasi Sulfida Menggunakan Metode
Induksi Polarisasi (IP) dan Metode Controlled Source AudioFrequency Magnetotelluric (CS AMT)
Studi Kasus : Arinem - Papandayan
Lantu, St. Mutmainnah, Syamsuddin dan Muh. Altin Masinai
Inversi seismic Berbasisikan Model Untuk Identifikasi Reservoir
Karbonat
Bambang Harimei dan lrnah Shlahuddin
240-246
247-252
H13-NDl7
Pemodelan Sebaran Air Asam Tambang Menggunakan Metode
Geolistrik Tahanan Jenis Konfigurasi Wenner Alpha
Syamsuddin, Sabrianto Aswad, Arya Pratama, dan Maria
253-358
H13-NDl9
Analisis Kecenderungan Perubahan Suhu Udara Permukaan Kota
259-262
r84
Makassar
:89
Muh. Altin Massinai, Nur Hasanah dan Nuryati
93
Index
263
99
07
l0
l3
r0
vfil
Putut Morv,oto, dkt / Prosiding SNF-MKS-I|L
j
Strttkturdan Fotoluminisensi Film Tipis Karbon Amorf Terhidrogenasi (A-C:H) yang
Ditumbuhkan Dengan Reaktor plasma Cvd
Putut Marwotor', Suriani A. B.2 dan Samsudi Sekrani3
7";
yang
dikemt
geome
konfig
Universitas Negeri Semarang Kamprs Sel(arao, Gunungpati, Semarang 50229
-, rn)Nslcs
-.--,lly-attgjtfllA
DePartment' Faculty of Science and Technolory, Universiti Pendidikan S.rtt*
iaris, 35900 TLjungMalim,
Perak, Malaysia
t Physics
Departnren! Faculty of Science. Universitifeknologi Malaysi4 Johor Baluq Malaysia
Abstrak
film tipis karbon amorf terhidrog"rrrri 1r-C:H) telab ditumbuhkan di
atas substrat kaca korning
dlotan
menggunakan reaktor DC PECVD (iomemode). Karakterisasi film dilakukan
dengan analisis difraksi
sinar-I( {XRD}, spektrometer inframerah, SniU O"n spektrometer fotoluminisensi.
Film yane ditumbuhkan
mcmiliki struktur ikatan CIl, CH2 dan CH3 dengan ikaian hibrida karbon spt arr.spl
rrtiru#oir"nsi film aC:[f png
pengel
BAHI
untuk
reakto
Sebag
ditumbuhkan menuniukkan spektrum datam daerah uttraungu dengan puncak pada
357 nm (-3,4g
eV) dan 364 nm (-3,41 eV).
Kata Kunci:;totoluminisensi; karbon amorf rerhidrogeni*i (a_C:10; realaor pECVD;
speHrum inframerah;
(CH4)
Absract' Hydrogenated amorphous carbon (a{:H) thin lilms werc deposited
on corning gtass substrate using
DC PECVD retctor (homemade). The films-were characterized by usiig
X-Rays DitrractLn (xRD), Infrared
s?uctro!"-etl' Scanning
Microscopy (SEM), and Photoiuminescence spectrometer. The fitms have
-Electron
strsctural binding of CH,
CH2, and CH3 as well as hybrid carbon binding or rp'unJ .p{ ii"-"-crrr thin
films
showed plotoluminescencc spectra in the,range of uitraviolet
region with tuminescence peak on 357 nm (3.4g
eY) and 364 rm (3.4t eV).
KeSrwords: ttydrogenoted amorphous carbon; infrared spectrometer;
photoluminescence: pECVD
di':gn
PENDAHULUAN
Film karbon amorf terhidrogenasi (a_C:H)
telah menarik perhatian karena .J*punyui sif"t
dan dapat diterapkan dalam berbagai
flS ryitc
indushi.
Film a-C:H dapat digunakan antara
!id""g
lain sebagai bahan isolator, coatini, anti refleksi,
dan sebagai bahan mikroelektronik.
Filrn a-C:H mempuny-ai struktur yang
melibatkan ikatan hi&ida
Sp3, Sp2, spt,
ikatan C-H [l]. Menurut
Tgr*
diusutkan oleh Robertson
dan berbagai
model yang
(1996), karbon amorf
terdiri atas kluster sp' yang terbenam dalam
matriks ikataril sp3 L2l. Karbon amorf pada
umumnya mengandung ikatan hibrida sp, dan sp,
yang mempunyai sifat antara intan dan
erafit. Filrn
1{:H dengan konsentrasi ikatan sp3 tlnggi dapat
bersifat seqe$ intan [3]. Film tersebut mJ,ipunyai
ketahanan kimia dan kekerasan mikro yang tinggi,
koefisien friksi yang rendah dan kansiari, *iifi
sinar inframerah[4].
Film a-C:H dapat ditumbuhkan
dengan
menggunakan reaktor plasma-enhanced chemical
varyur deposition (PECVD)
[4,5]. Teknik PECVD
rnerupakan rnetoda yang populer untuk pembuatan
film tipis dan biasa digunakan di dalam industri
mikroelektronik. Dalam teknik ini, film a{:H
biasanya ditumbuhkan dengan menguraikan eas
CH4. Sifat film yang dihasilkan berhubungan
dengan struktur film, sedangkan stnrktur filrn
bergantung kepada kondisi dan proses
penumbuhan [6].
Selain struktur, film a-C:H telah menarik
perhatian karena sifat emisinya. Beberapa peneliti
telah melaporkan gejala fotoluminisensi yurrg
dipancarkan oleh film a-C:H. Laporan-laporan
tentang gejala fotoluminisensi film a-C:H pada
suhu kamar telah didiskusikan untuk membahas
fenomena tersebut. Namun mekanisme
fotoluminisensi film a-C:H masih belum dapat
dijelaskan dengan memuaskan dan masih
peng€
kaca
I
substt
berhl
menil
menS
kemu
sebel
deng
gas
,
menj
bervr
Seb€
reakl
plasr
telat
Para
yanl
cam
(tu)
ditu
Ctt
sela
diperdebatkan. Meskipun demikian, telah diyakini
bahwa sifat fotoluminisensi a-C:H berhubungan
Satof
dengan stiukturnya.
Dalam shrdi
ini
akan dilaporkan kajian
struktur dan sifat fotoluminisensi a-C:H yang telah
ditumbuhkan dengan teknik direct curreni
fOCl
PECVD. Reaktor DC PECVD digunakan dalam
penelitiarq sebab sistem reaktor tersi:but memiliki
beberapa kelebihan, yaitu: tidak memerlukan
sl
52
Sar
dik
ani
inl
Penulis koresponden.
se(
Alamat E-meil: pmaruoto@yahoo. com
70
Putut Marwo'to, dklc
3:H) yang
/ PTosWngSNF
tidak rumi! mudah
ffi" 3J"irt*" d* skala
yang besal dan
ftttntoluminescerce)'
dalam
reaktor dapat dibangun de.lean
sehingga bnya
loongurati yang sederhana [7]
murah
relatif
p"rg"*U*gr*Ya
;;;",rt
t0229
HASIL DAN DISKUSI
Analisis dengan metode qD .letah
Afun*--pua" tu.p"i Sl dan 52" Pola q$'k"i
fung lvlalim,
P"ql qqb" l' Kedua
"i"tt*
;;G;"qiutkan pota diaaksi LTs,,flutif
ffi;;;;iait
BAHAN DAN METODA
iia
difraksi'
r"rr'" Om tiiak r'rempunyai lunca\berstruktur
."frinnn" frlm yang ditumbuhkan
Dalam penelitiarL reaktor yang digunakan
raca koraing
rlisis difraksi
litumbubkan
isensi lilm ai7 nm (-3,48
menunjuklcan
;;ffP*"rk yang ti'nut' -20 -30o
ini
(kaca)'-T{*il
difraksi substrat
;;il;
carbon
fikn
XRD
analisis
il-Jt* d;rc"" hasil
(1999) t9l &q
;;;i.k ttrbt.
Hasir eksperimen lnoue. et'al
menunjuki
ffiwaru&ffi
lsBN 978-602 -14842-0-3
rueffiffiffiroe6_ ffiflffif,
ffi
ffi
{Gffi
[email protected]
Kamis, 14 November 2013
Hotel Singgasana Maka$sar
itian dan Pendidikan Frsika
ndifian Bangsa
"
-
-:"tt''*"t'to'
;ffi
|;/E:tt6.
rsBN
97 8-602-
L
4842-0-3
Prosiding
Seminar Nasional Fisika Makassar 2013
(sNr-MKS)
"Pemberdayaan Penelitian dan Pendidikan Fisika
untuk Kemandirian Bangsa"
Hotel Singgasana M'akassar
14 november20lS
Editor
Prof. Dr. H. Halmar Halide, M-Sc.
Dr. Bualkar Abdullah, M.Eng-Sc.
Dr. Nurtaela Rauf, M.Sc.
Dr. Tasrief Surungan, M.Sc.
Dr. Dahlang Tahir, M.Sc.
.
Layout
Muhammad Arbiamyah, S.Si
Hamdan Heruryanto
Cover
Muhammad Yusuf Usman, S.Si
.-:
O 2014 Physics Study Prograrn, Department of PhySics, Hasanuddin UniversitY
.. :
{.-*.
DAFTAR ISI
Corer
I
Kata Pengantar Ketua Panitia
ii
Kata Sambutan Kefua Jurusan Fisika
llt
Daftar Isi
iv
HI3-NP0l
.
Fotoproduksi Kaon Pada Nukleon Serta Bdberapa Proses Terkait
l-6
Terry Mart
Ht3-M02 Alternatif Penyelesaian
Masalah-Masalah
teori Medan
Interaksi
7-20
HI3-NA03 Dynamics of Annihilation a vortex-Antivortex Pair in Josephson
Junction Based on The Modified Time Dependent Ginzburg
8-24
Fundamental Dan Strukhr Akhir Materi
Abdullah Renreng
Landau Equations
Anf Hidayat, Hari Wisodo, Peki|'Nurwantoro, Agung Bambang
Setio Utoma, dan Eny Latifah .
,|
l
t
I
\.
HI3-NA04 Pengukuran dan Analisis Kualitas Sinyal Satelit Untuk Aplikasi
Land Mobile Salellite (LMS) Terhadap Ketinggian dan Sudut
Elevasi Penerima Glob-al Positioiring,system (GPS).
Merna Baharaddin
HI3-NA06 Analisa Nilai spektrat dan Indeks vegetasi untuk pendugaan
3
l-35
Variasi Umur Tanaman Karet
Nurlina, Ichsan Ridwan. dan Syam'ani
t
J
K
25-30
Hl3-NAll
Pernodelan Lintasan Gerak. Sel' surya Satu Sumbu Daram
3640
Pelacakan Posisi Matahari Berbasis Algoritma Meeus
Ade Agung Harnawan, Suharto, Eka Suarso,' dan
Rachmadiansyah
Hl3-NAl4
Solusi Eksak Persamaan Emst Dengan Parameter Deformasi Riil
Oleh Sumber Medan Gravitasi Simet-ri Aksial Statik
Bansawang BJ, Tasrief Suntngan, dan Wira Bahari Nurdin
4148
Hl3-NAl5 Studi Numerik Efek
Resonansi pada Surnur Kuantum (QWs)
IrxGal -xAs/InP Tensile Strained
Jumiarti Andi Lolo, Paulus Lobo Gareso, dan'Eko Juarlin
49-s4
Hl3-NAl7
Pengenalan Singkat Rasi Bintang Masyarakat tsugis
Nur Hasanah, dan Dadang Ahmad Suriamihardja
s5-57
Hl3-NAl8 Kriptografi
Kuanhrm'dalam sistem pendistribusian Kunci
(Suatu Kajian pendahuluan)
Bualkar Abdullah
lv
58-62
Hr3-NAl9 Uji
Kesesuaian Pengukuran Nilai HVL (Half Valrrc laer) terhadap
Variasi Tegangan (Kv) Dari Pesawat Sinar X pada Unit Radiologi
Syamsir Dewang
63-66
I{13-NBl4
An
De
Bu.
Hl3-N802
Penganrh Komposisi Bahan Terhadap Kekerasan Gigi Tiruan
Berbasis Keramik
67-69
Nurlaela Rauf, Sri Suryani, Suarni, Hendi, don Sidik Saputra
lr-*"0.
J
Htll\lBl5 Ka
Pa,
Struktur danFotoluminisensi Filrn Tipis Ka6om Amorf
Terhidrogenerasi (a-c:H) yang Ditumbuhkan Dengan Reaktor
Ah
Plasma CVD
Hl3-NBl8
Putut Marwoto, Suriani A- 8., dan Samsudi Sakrani
Hl3-NB04
Hl3-N805
Pengaruh Doping Cu Terhadap Performasi Film Tipis CdTe Yang
Ditumbuhkan Dengan Metode Dc Mognetron Sputtering
Ngurah Made D.P, Sugianto dan Putut Marwoto
75-80
Pengembangan Reaktor PECVD Tabgng Tunggal Untuk
Penumbuhan Lapisan Tipis di Program Studi Fisika Universitas
8l-83
Negeri Makassar
Jasruddin Daud Malo go,
dan
Hl3-NB06
Hl3-NB08
lda Usman
Hl3-NBll
Wa
Sur
HI3.NGH
Hl3-NBl3
Mr
di!
Idr
Sintesis N-doped TiO2/Ti nanopartikel untuk Degradasi Direct
Yellow pada Sinar Tampak
88-92
I{13-}.ICA6
Me
HI}NCO7
Mirzan, dan Nurdin
Analisis Kandungan Kimia dan Sifarserat Tanaman purun Tikus
(Eleocharisdulcis) Asal Kalirnantan Selatan
Totok Wianto dan Sunardi
93-97
Hl3-NC08
Destilasi' Sederhana- Untuk Menghasilk an Rubbet Compound
Ol/ (RCO) dari Ban Bekas Sebagai-sumber Energi Alternatif
Dahlang Tahir, Bidayatut Armyrah, dan Bangsawang B.J
An
Bo
De
Per
Ru:
Pengaruh Waktu Reduksi dalam Rotary Kiln terhadapo/o
Metalisasi Sponge lron
Suharto, Yayat Iman Supriyatna, Amin M-, Oedivani 5., dan
Willyandhika K
Analisis Rietveld Nanokristalin Bari um M-Heksaferrite yan g
Disintesis Dengan Metode Kopresipitasi
Irwan Ramli, Aghesti Wira Sudati, dan Mochamad Zainuri
An
Bu,
Iwc
dar
98-r0!
HI3-NC@
Per
Gel
Bia
-i
Hl3-NBr2
Per
Kh
tqrani'Afini Tiwow, Moman g Yusuf,
84-87
.Mohamad
Ka
HI}NCOI
Penumbuhan Lapisan TipisCu2O denganTeknik [mersi Kimia
untuk Aplikasi Set Surya
Ida Usman dan Aminddin
Ruslan,
Hl3-NBl0
Yis
Mc
Mc
:
102-105
Hr3-NCl0
ot(
U4
tmi
I
Nui
06-r 08
Ht3-NCll
l
Per
K"i
-"1
i
it
t
l
5
t__-.
Ht3-NBl4
Analisis Pemahaman Konsep Fisika Kuantum calon Guru Fisika
Dengan Memanfaatkan Simulasi Program PhET
Bunga Dara Amin, dan Yistaroni Arini Tiwow
t09-l l2
Hl3-NBl5
Karakteristik film n-.ZnOdengan melode Sol4el Spin Coating
Paulus.L. Gareso, NurlaelaRauf, EkoJuarlip, Sugianto, dan
Akhiruddin Maddu
I 13-t
Hl 3-NB I 8 ModelPerubahanGarisPantaidenganM etodeOne- Line
Mo d et(studiKasus : PantaiMangarabombang - Galesong Selatan,
l6
tr7-123
KabupatenTakalar)
Wa Ode Awatiah, Sakkn dan M. Alimuddin Hamzah
80
HI3-NC01
Perancangan Maximum Power Point Tracker (MPPT) pada Panel
Surya MenggunakanAlgoritma Perturb dan Observe
124-t3l
Khaeriah Dahlan
Hl3-NC04 Monitoring Mamalia Bawlh Air Dengan Sistem Sonar SSBL Pasif
132-135
di Stngai Mahakam
Idris Mandang dan DonnY F-ahrochi
87
HI3-NC06 Antena Mikrostrip Stot Model Kupu-Kupu
Ganda Larik
Tunggal
136-139
Menggunakan CPW Untuk Kodrunikasi Tanpa Kabel
Bualkar Abdullah, Eddy Yahya dan Yono Hadi Pramono
Hl3-NC07
Anal isis Frekuensi Gelombang Bioakustik Lumba-Lumba Hidun g
140-145'
Botol (Turs-iopsTruncatus) padaTerapiAutis
Devina Rayry P.S.P' dan ldris Mandang
Hr3-NC08
Pengembangan Sistem Ssnsor Kelembaban dan Temperatur Pada
Rumah Kaca Berbasis Mikrokontroller ATMEGA 8535
146-t5r
Iwan Sugriwan, Arfan Eko Fahrudin.Dindin Hidayatul Mursvidin
dan Amar Yijai Nasrulloh
t52-ts7
Hr3-NC09
Pemanfaatan Karaera Digital Untuk Menggambar Panjang
Gelombang Spektrum berbagai Jenis Larnpu
Bidayatul Armynah, Paulus Lobo Gareso, Hardiyanti Syanfuddin
Hl3-NCl0
Otomasi Citra Optik Kamera Digital Yang Tepasang Pada Pesawat 158-160
UAV LSU-2
Imam Ghoss.an, Ika Dedy Setiyadi, Ai &tgeng Budiyanta dan
Nuryani
Hl3-NCl I
Perancangan Antena Mikrostrip Pada Radar Pengukur Kecepatan 16l-163
Kendaraan Bermotor
Nurma Sari, Amar Yiiai Nasrulloh, Arfan Eko Fahntdin
H13-NDl,
Hl3-NCl4
Penerapan
H13-NDI:
r esson studydan Guided Inquiry Learning,ntuk
164-t'ta
Meningkatkan pemahaman Konsep pemaniuran dan pembizrsan
Cahaya pada Mata Kuliah Optika
Eko Nursulistiyo Ishafit, Dian Artha Kusumaninggtas,
Okimustava
dan Fajar
Fitri
Ht3-NDl(
HI3-NCI5
Pengaruh Perubahan cradding Terhadap Loss powerserat
Singlemode SMF-28
Sujito dan Arif Hidaya
Hr3-NCl6
Pergeseran spektrum Gerombang pada Filamen Beberapa
Jenis
Lampu Pijar
Bidayatul Armynah, Dahling Tahir, Lilia Afriana
Kajian Eksperiman sensor Serat optik struitur sMS dengan
otdr
untuk Pengukuran pergeseran Rentang Besar
AriJin, A.M. Haua, Sekartedjo, M.S. Muntini dan A.Rubiyanto
Hl3-NC17
Hl3-NDOl
optik
simulasi dan visualisasi Efek rotolistrik Untuk pengajaran Fisika
Modern di Program Studi pendidikan FKIp universitas patangka
17t-t77
t78-t84
Hl3-NDl9
l 85-l 89
l
90-l 93
Raya
Index
Komang Gde Suastika, Hadma yuliani dan Made Dirgantara
Hl3-ND03
Hl3-ND04
ltolel Sambungan Antar [,empeng Tektonik di Laut Utara papua
Berdasarkan Sebaran pusat Ge{npa bumi dan polasesar
Abdul Basid dan Imoratut Multtiah
Model Simulasi Makrofag pida Infeksi Mycobacterium
Tuberculosis
19+199
200-2a7
Usman Pagqlay dan Siti Mutmainah
Hl3-ND05
Hl3-ND08
Hr3-ND09
Hl3-NDu
KajianAwal Koreksi Clipped Waveforms pada Rekaman
GempaYogya 27 Mei2006 Dengan tUCSfaf
Aryono Adhi, ll/ahyudi, Wwit Suryanto
Batuan Ultra Basa Karimantan seiatan sebagai perangkap
Karbon
Dioksida
Sudarningsih, Ibrahim dan Eka Sudrso
lreti{1aV StudyApirlication of Sanitary Landfiil Using
Resistivity Method in TpA Kaburu, parak Village,
Distriit Selayar
- - -)
Makhrani, Sabrianto Aswad dan Hasanuddin -''
Perubahan Muka
(cAM)
Air Tanah Daerah Cekungan Air Makassar
208-210
2n-2t3
214-220
221-230
Muh. Hamzah Syahruddin
Hl3-NDl3
Aplikasi Metode Geolistrik Konfi gurasi wenner-schrumberger
Dalam Menganalisis Alur Vein DiBawah permukaan
Bumi
Sabrianto Aswad, Syamsuddin, Lantu, dan yudhi prawira
vI
231-236
H13-ND14
Pengaruh Kompres Air Hangat Pada Penurunan Demam
237-239
Sri Suryani Sumah
Hl3-NDl5
na
Hl3-NDl6
177
Identifikasi Zona Mineralisasi Sulfida Menggunakan Metode
Induksi Polarisasi (IP) dan Metode Controlled Source AudioFrequency Magnetotelluric (CS AMT)
Studi Kasus : Arinem - Papandayan
Lantu, St. Mutmainnah, Syamsuddin dan Muh. Altin Masinai
Inversi seismic Berbasisikan Model Untuk Identifikasi Reservoir
Karbonat
Bambang Harimei dan lrnah Shlahuddin
240-246
247-252
H13-NDl7
Pemodelan Sebaran Air Asam Tambang Menggunakan Metode
Geolistrik Tahanan Jenis Konfigurasi Wenner Alpha
Syamsuddin, Sabrianto Aswad, Arya Pratama, dan Maria
253-358
H13-NDl9
Analisis Kecenderungan Perubahan Suhu Udara Permukaan Kota
259-262
r84
Makassar
:89
Muh. Altin Massinai, Nur Hasanah dan Nuryati
93
Index
263
99
07
l0
l3
r0
vfil
Putut Morv,oto, dkt / Prosiding SNF-MKS-I|L
j
Strttkturdan Fotoluminisensi Film Tipis Karbon Amorf Terhidrogenasi (A-C:H) yang
Ditumbuhkan Dengan Reaktor plasma Cvd
Putut Marwotor', Suriani A. B.2 dan Samsudi Sekrani3
7";
yang
dikemt
geome
konfig
Universitas Negeri Semarang Kamprs Sel(arao, Gunungpati, Semarang 50229
-, rn)Nslcs
-.--,lly-attgjtfllA
DePartment' Faculty of Science and Technolory, Universiti Pendidikan S.rtt*
iaris, 35900 TLjungMalim,
Perak, Malaysia
t Physics
Departnren! Faculty of Science. Universitifeknologi Malaysi4 Johor Baluq Malaysia
Abstrak
film tipis karbon amorf terhidrog"rrrri 1r-C:H) telab ditumbuhkan di
atas substrat kaca korning
dlotan
menggunakan reaktor DC PECVD (iomemode). Karakterisasi film dilakukan
dengan analisis difraksi
sinar-I( {XRD}, spektrometer inframerah, SniU O"n spektrometer fotoluminisensi.
Film yane ditumbuhkan
mcmiliki struktur ikatan CIl, CH2 dan CH3 dengan ikaian hibrida karbon spt arr.spl
rrtiru#oir"nsi film aC:[f png
pengel
BAHI
untuk
reakto
Sebag
ditumbuhkan menuniukkan spektrum datam daerah uttraungu dengan puncak pada
357 nm (-3,4g
eV) dan 364 nm (-3,41 eV).
Kata Kunci:;totoluminisensi; karbon amorf rerhidrogeni*i (a_C:10; realaor pECVD;
speHrum inframerah;
(CH4)
Absract' Hydrogenated amorphous carbon (a{:H) thin lilms werc deposited
on corning gtass substrate using
DC PECVD retctor (homemade). The films-were characterized by usiig
X-Rays DitrractLn (xRD), Infrared
s?uctro!"-etl' Scanning
Microscopy (SEM), and Photoiuminescence spectrometer. The fitms have
-Electron
strsctural binding of CH,
CH2, and CH3 as well as hybrid carbon binding or rp'unJ .p{ ii"-"-crrr thin
films
showed plotoluminescencc spectra in the,range of uitraviolet
region with tuminescence peak on 357 nm (3.4g
eY) and 364 rm (3.4t eV).
KeSrwords: ttydrogenoted amorphous carbon; infrared spectrometer;
photoluminescence: pECVD
di':gn
PENDAHULUAN
Film karbon amorf terhidrogenasi (a_C:H)
telah menarik perhatian karena .J*punyui sif"t
dan dapat diterapkan dalam berbagai
flS ryitc
indushi.
Film a-C:H dapat digunakan antara
!id""g
lain sebagai bahan isolator, coatini, anti refleksi,
dan sebagai bahan mikroelektronik.
Filrn a-C:H mempuny-ai struktur yang
melibatkan ikatan hi&ida
Sp3, Sp2, spt,
ikatan C-H [l]. Menurut
Tgr*
diusutkan oleh Robertson
dan berbagai
model yang
(1996), karbon amorf
terdiri atas kluster sp' yang terbenam dalam
matriks ikataril sp3 L2l. Karbon amorf pada
umumnya mengandung ikatan hibrida sp, dan sp,
yang mempunyai sifat antara intan dan
erafit. Filrn
1{:H dengan konsentrasi ikatan sp3 tlnggi dapat
bersifat seqe$ intan [3]. Film tersebut mJ,ipunyai
ketahanan kimia dan kekerasan mikro yang tinggi,
koefisien friksi yang rendah dan kansiari, *iifi
sinar inframerah[4].
Film a-C:H dapat ditumbuhkan
dengan
menggunakan reaktor plasma-enhanced chemical
varyur deposition (PECVD)
[4,5]. Teknik PECVD
rnerupakan rnetoda yang populer untuk pembuatan
film tipis dan biasa digunakan di dalam industri
mikroelektronik. Dalam teknik ini, film a{:H
biasanya ditumbuhkan dengan menguraikan eas
CH4. Sifat film yang dihasilkan berhubungan
dengan struktur film, sedangkan stnrktur filrn
bergantung kepada kondisi dan proses
penumbuhan [6].
Selain struktur, film a-C:H telah menarik
perhatian karena sifat emisinya. Beberapa peneliti
telah melaporkan gejala fotoluminisensi yurrg
dipancarkan oleh film a-C:H. Laporan-laporan
tentang gejala fotoluminisensi film a-C:H pada
suhu kamar telah didiskusikan untuk membahas
fenomena tersebut. Namun mekanisme
fotoluminisensi film a-C:H masih belum dapat
dijelaskan dengan memuaskan dan masih
peng€
kaca
I
substt
berhl
menil
menS
kemu
sebel
deng
gas
,
menj
bervr
Seb€
reakl
plasr
telat
Para
yanl
cam
(tu)
ditu
Ctt
sela
diperdebatkan. Meskipun demikian, telah diyakini
bahwa sifat fotoluminisensi a-C:H berhubungan
Satof
dengan stiukturnya.
Dalam shrdi
ini
akan dilaporkan kajian
struktur dan sifat fotoluminisensi a-C:H yang telah
ditumbuhkan dengan teknik direct curreni
fOCl
PECVD. Reaktor DC PECVD digunakan dalam
penelitiarq sebab sistem reaktor tersi:but memiliki
beberapa kelebihan, yaitu: tidak memerlukan
sl
52
Sar
dik
ani
inl
Penulis koresponden.
se(
Alamat E-meil: pmaruoto@yahoo. com
70
Putut Marwo'to, dklc
3:H) yang
/ PTosWngSNF
tidak rumi! mudah
ffi" 3J"irt*" d* skala
yang besal dan
ftttntoluminescerce)'
dalam
reaktor dapat dibangun de.lean
sehingga bnya
loongurati yang sederhana [7]
murah
relatif
p"rg"*U*gr*Ya
;;;",rt
t0229
HASIL DAN DISKUSI
Analisis dengan metode qD .letah
Afun*--pua" tu.p"i Sl dan 52" Pola q$'k"i
fung lvlalim,
P"ql qqb" l' Kedua
"i"tt*
;;G;"qiutkan pota diaaksi LTs,,flutif
ffi;;;;iait
BAHAN DAN METODA
iia
difraksi'
r"rr'" Om tiiak r'rempunyai lunca\berstruktur
."frinnn" frlm yang ditumbuhkan
Dalam penelitiarL reaktor yang digunakan
raca koraing
rlisis difraksi
litumbubkan
isensi lilm ai7 nm (-3,48
menunjuklcan
;;ffP*"rk yang ti'nut' -20 -30o
ini
(kaca)'-T{*il
difraksi substrat
;;il;
carbon
fikn
XRD
analisis
il-Jt* d;rc"" hasil
(1999) t9l &q
;;;i.k ttrbt.
Hasir eksperimen lnoue. et'al
menunjuki