RANCANGAN SISTEM GRID PADA SUMBER ELEKTRON KATODA PLASMA

Agus Purwadi

ISSN 0216 - 3128

RANCANGAN SISTEM GRID PADA SUMBER ELEKTRON KATODA PLASMA

Agus Purwadi PSTA- BATAN Jl. Babarsari Kotak Pos 6101 Ykbb Yogyakarta55281 Agus.p@batan.go.id

ABSTRAK RANCANGAN SISTEM GRID PADA SUMBER ELEKTRON KATODA PLASMA.

Telah dirancang

sistem grid pada Sumber Elektron Katoda Plasma (SEKP). Sistem grid dengan lubang emisi berkas elektron

₂ ₂

seluas (15 × 60) cm , ukuran lubang grid tunggal (0,5×0,5) mm dan diameter kawat grid 0,25 mm, akan

digunakan pada bejana generator plasma. Kalau jumlah lubang grid diketahui dan besar arus emisi elektron

yang melalui tiap lubang grid juga diketahui, maka besar arus emisi elektron total yang keluar dari bejana

generator plasma dapat ditentukan. Telah dihitung besar arus emisi elektron I e fungsi jejari grid r e = (0,28,

0,40, 0,49, 0,56, 0,63, 0,69) mm pada suhu elektron T e = 5 eV untuk berbagai harga kerapatan elektron

₁₅ ₁₆ ₁₇ _{18 -3}

plasma n = (10 , 10 , 10 , 10 ) m . Demikian pula untuk besar arus emisi elektron fungsi jejari grid r =

_e _{17 -3} _e

(0,28, 0,40, 0,49, 0,56, 0,63, 0,69) mm pada kerapatan elektron n = 10 m untuk berbagai suhu elektron

plasma T e = (1, 2, 3, 4, 5) eV. Arus emisi elektron akan bertambah besar dengan bertambahnya baik jejari

grid, suhu elektron maupun kerapatan elektron plasmanya.

Kata kunci : grid, katoda plasma, sheath, kerapatan plasma,temperatur plasma.

ABSTRACT GRID SYSTEM DESAIN ON THE PLASMA CATHODE ELECTRON SOURCE

. It has been designed

the grid system on the Plasma Cathode Electron Source (PCES). Grid system with the electron emission hole

₂ ₂

of (15 × 60) cm , the single aperture grid size of (0,5×0,5) mm and the grid wire diameter of 0,25 mm, will

be used on the plasma generator chamber. If the sum of grid holes known and the value of electron emission

current through every the grid hole known too then the total value of electron emission current which emits

from the plasma generator chamber can be determined. It has been calculated the value of elektron emission

current I as function of the grid radius r =(0.28, 0.40, 0.49, 0.56, 0.63, 0.69) mm on the elektron

_{e e} ₁₅ ₁₆ ₁₇ _{18 -3}

temperature of T e = 5 eV for varying of the value plasma electron densities n e = (10 , 10 , 10 , 10 ) m .

Also for the value of electron emission current I e as function of the grid radius r e = (0.28, 0.40, 0.49, 0.56,

_{17 -3}

0.63, 0.69) mm on the electron density n = 10 m for varying of the value of plasma electron temperatures

T e = (1, 2, 3, 4, 5) eV. electron emission current will be increase by increasing grid radius, electron

temperature as well as plasma electron density.

Keywords : grid, plasma cathode, sheath, plasma density, plasma temperature.

digunakan dalam teknologi-teknologi radiasi seperti

PENDAHULUAN

modifikasi struktur permukaan bahan, pemompaan media aktif laser-laser gas, pengelasan keramik, ada perkakas Sumber Elektron Katoda Plasma pembangkit radiasi elektromagnetik, teknologi (SEKP), berkas elektron terbentuk oleh adanya

radiasi dan kimia plasma serta dalam bidang-bidang emisi atau ekstraksi elektron dari permukaan plasma

[1-2] lainnya .

pada bejana generator plasma. Permukaan plasma Perkakas SEKP yang beroperasi dalam bentuk dalam bejana generator plasma hanya elektron pulsa adalah lebih sederhana apabila dibandingkan plasmanya yang ditarik keluar oleh anoda ekstraktor dengan mesin berkas elektron yang beroperasi secara

(arus berkas elekton plasma menuju anoda emitor) kontinyu, karena SEKP tidak menggunakan sistem yang selanjutnya arus berkas elektron tersebut pemfokus dan juga magnet pembelok. Demikian dipercepat menggunakan tegangan tinggi pemercepat pula untuk produk-produk berkas yang semacam, menuju elektroda kolektor untuk dikeluarkan (dari

SEKP mempunyai keuntungan lebih terhadap sistem ruang vakum) melalui jendela/window bejana plasma katoda panas, dan jauh lebih mudah untuk mem- menuju target (bertekanan atmosferik). SEKP dengan bentuk kehomoginan luasan daerah emisi plasma. keluaran berkas elektron berpenampang luas dan

SEKP selain beroperasi dalam bentuk pulsa (orde berarus besar akan sangat bermanfaat untuk aplikasi pada permukaan bahan datar yang luas. SEKP dapat

Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah – Penelitian Dasar Ilmu Pengetahuan dan Teknologi Nuklir 2014 Pusat Sains dan Teknologi Akselerator - BATAN Yogyakarta, 10-11 Juni 2014

Seperti diketahui pada uraian di atas bahwa selain bergantung pada tegangan penarik U a , emisi elektron dari plasma juga sangat ditentukan oleh bentuk dan ukuran lubang emitor.

C, n

⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜

⎝ ⎛− = e p e ec

T k e j j

ϕ exp

(1) dengan

m T k n e j _{e e}

1 = (2)

j e0 adalah kerapatan arus elektron termal plasma, e =

muatan elektron = 1,602 ×

φ c

= kerapatan plasma, k = tetapan Boltzmann = 1,381 ×

23 J/K, T

= suhu plasma, m

= massa elektron = 9,109 ×

Emisi elektron dari plasma dengan U

a > φ p

ditunjukkan pada Gambar 3. Pada keadaan U

a > φ p

, rapat arus emisi elektron j ec = j e0 mencapai harga maksimum yang harganya sama dengan rapat arus elektron termalnya seperti ditunjukkan pada Pers. (2). Pada emisi tingkat ini berkas elektron terbentuk dan tenaganya bergantung pada tegangan terpakai U

a .

) rapat arus elektron ke kolektor sama dengan rapat arus elektron ke anoda (j e = j ec = j e0 ). Ketika U a = 0, kolektor adalah bagian dari anoda bejana discas dan sheath/selubung muatan (ruangan) positip yang memperlambat elektron- elektron dan mempercepat ion-ion. Untuk lolos dari plasma elektron harus dapat mengatasi penghalang potensial, oleh karenanya kerapatan arus elektron ke kolektor j ec diberikan oleh Pers. (1) sebagai berikut :

TEORI

ISSN 0216 - 3128 Agus Purwadi

Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah – Penelitian Dasar Ilmu Pengetahuan dan Teknologi Nuklir 2014

Pusat Sains dan Teknologi Akselerator ‐ BATAN

{3] .

Karena diharapkan tampang lintang berkas elektron pulsa nantinya dapat besar/luas maka sistem lucutan yang mampu menghasilkan elektron yang efisien, ekstraksinya stabil serta distribusi kerapatan elektron pada berkas bisa optimum, adalah hanya dengan metode penggunaan grid/kassa sebagai anoda emitor pada bejana generator plasma. Untuk merancang anoda emitor harus disesuaikan dengan ukuran dan bentuk bejana generator plasmanya, khususnya yang berhubungan dengan luasan total lubang keluaran berkas elektron (jumlah total lubang grid) dengan luasan total anoda (dinding bejana generator plasma) yang dapat tertuju elektron. Karena kedua luasan tersebut ada hubungannya dengan salah satu syarat untuk elektron dapat atau tidaknya diekstrak atau diemisikan dari bejana generator plasma. Elektron yang telah diekstrak selanjutnya akan dipercepat dengan tegangan tinggi pemercepat (antara 150 kV hingga 200 kV), untuk mendaapatkan berkas elektron dengan energi tinggi (orde ratusan joule), kecepatan repititif pulsa sekitar

50 Hz dan lebar pulsa sekitar 40 µs. Anoda emitor dirancang bentuk kassa/grid dari bahan stainless steel mesh-40 berukuran lubang (0,5×0,5) mm

, seluas (15×60) cm

dengan jarak antar lubang grid 0,25 mm yang hendak diklemkan pada bejana generator plasma. Bejana generator plasma (didalam bejana SEKP) yang diperlengkapi anoda emitor elektron dengan ukuran dan bentuk geometri tertentu tersebut diharapkan dapat menghasilkan arus berkas elektron dalam arti elektron dapat diekstrak dari bejana generator plasma dan arus berkas elektron dapat terdeteksi sampai dengan daerah percepatan. Arus berkas elektron sementara baru terekstraksi akibat adanya tegangan anoda (sekitar 1 kV) dan belum dipercepat dengan tegangan tinggi ekstraksi U

sehingga berkas elektron tersebut belum sampai di kolektor (target).

φ a

nano hingga milli sekon) juga mampu menghasilkan kerapatan arus tinggi (hingga 100 A/cm

Skematik sederhana dari sumber elektron katoda plasma, yang terdiri dari komponen-komponen generator plasma, lubang emitor, kolektor ion atau elekron, permukaan emisi, tegangan ekstraksi dan berkas elektron seperti ditunjukkan pada Gambar 1. Elektron bersama dengan ion diasumsikan meninggalkan plasma (dari permukaan plasma di dekat anoda discas) yang akhirnya sampai di kolektor elektron/ion

{4] .

Emisi elektron dari plasma dengan tanpa adanya perbedaan potensial antara anoda emitor dengan kolektor (U

a = 0) ditunjukkan pada Gambar

2. Terlihat pada Gambar 2 bahwa kalau

φ a

adalah potensial anoda (dinding generator plasma) dan

φ c

adalah potensial kolektor maka dengan tanpa adanya perbedaan potensial antara anoda emitor dengan kolektor (U

= 0,

)

Untuk penyederhanaan dalam rancangan sistem grid, plasma dalam bejana generator plasma secara keseluruhan dianggap homogen dan distribusi energi elektron adalah Maxwellian. Sedang keadaan yang paling khusus, plasma mempunyai potensial positip terhadap elektroda discas. Ini berarti bahwa ions diemisikan dari permukaan plasma (terbuka), sedang elektrons harus mengatasi halangan potensial untuk lolos dari permukaan plasma sampai dengan mencapai elektroda kolektor. Dalam proses pembentukan berkas plasma, penambahan tegangan ekstraksi atau tegangan pemercepat U

31 kg.

harus menyebabkan penambahan besar kecepatan dan energi dari ion dan elektron. Kalau dalam hal ekstraksi ion dari plasma, kondisi ini secara otomatis dipenuhi karena ion selanjutnya hanya dipercepat oleh medan listrik eksternal, tetapi keadaan berbeda nyata kalau dalam hal ekstraksi elektron dari plasma. Sehingga feno- mena ekstraksi atau emisi elektron plasma dari permukaan plasma adalah lebih tidak sederhana kalau dibandingkan dengan ekstraksi ion dari plasma.

…(5) atuan). plasma mana berkas dengan upakan ektron uanya, halang luasan keluar ngkan

arga yang optim meninggalkan ermukaan emi otensial. Bagi lasma terbuka ari plasma ad

discas) tertent on, yakni oleh misi plasma S e ktroda lain dar _{a e} _e

α (perba

g emisi dan e halang potensi ktron

ath (r e << l s ),

ik prinsip stabi emisi jauh leb

φ p

elektron dari p

uan dan Teknol N

e ≈

) ( [ _{a e}

Keadaan antar mengambil r

Tetapi tingka erganggu lagi ni akan memp lektron dengan

α mend

Yakni

( _e S / α =

lektron adalah:

e >> l s . Dala

Ukuran kecil fisiensi ekstra ersen. Keadaan tertent

S S S

S e S exp

α = 0,5 meru

]

: (4) zinkan berapa dengan straksi

pada limuti misikan isiensi emisi halnya n luas s total s S

4 U a

keadaan ini ele melalui kedu melalui pengh elektron dari l elektron yang k inggi dibandin

b) yakni d a

≈ l s

mum (satu sa parameter p p besar yang memperoleh b rameter stabil.

( ) ] _{e a pl} / kT ϕ ϕ −

ri sistem discas i tak mengiz melebihi beb apat diangap d ni efisiensi eks

e terhadap luas

elektron diem ial. Disini efi andingan arus tukan seperti h h perbandingan

sheath menye

lasma dengan lisasi grid. bih kecil dari

logi Nuklir 201

, yang mana mum. Dalam plasma m si terbuka dan an arus berkas fraksi berkas e dalah lebih ti

mbar 3. Emisi e bar 4. Skemati Jika lubang e ketebalan shea semua lobang melalui pengh ekstraksi elek terhadap arus untuk emisi i permukaan em anoda dan elek

Agus P Pro

ik sederhana Plasma ktron dari plasm

2 s e ex

( )

yang lewa itentukan oleh an dalam Pers.

Dengan tidak patan arus em patan arus unt ng dan oleh n I

eath, akan me

ketebalan ord dari elektroda n permukaan ktron dipancar iran melalui pe sajikan pada n skematik p 4 ditunjukkan

h yang berarti

s [5] . uan dan Presen Pu

dari lubang em umum, tiga n plasma akan n lubang em

alam keadaan emisi elektron dingan ukuran an sheath l

e I = j r e adalah jejari an sheath .

Pada Gambar ketebalan she lasma terbuka. otensial, kerap dari pada kerap tasi penghalan emisi elektron emisi utama di bisa dinyataka

r 1. Skemati katoda P ar 2. Emisi elek tabilisasi mesh emisi pada ahkan plasma d n dari bagian plasma), elek an pada pinggi al seperti dis akan gambaran

Purwadi osiding Pertemu

Da nisme e perband ketebala

St lubang memisa elektron (batas pusat d potensia merupa grid. P bahnya kaan pl lang po besar d mengat berkas lubang plasma disini r ketebala

Gambar Gamba

− l r j π

IS ntasi Ilmiah – Pe usat Sains dan T

8 Ilmu Pengetah erator ‐ BATAN

rier

c. K m ha m pe po pl da

el Y T te in el

r e

b. K

U ef pe

Gam Gamb a.

(3) alah eka- pada adap

ang sasi am- mu- gha- ebih yang arus sing an

uran ang misi uka gian

sumber elekt ma dengan U

= 0

tron

SSN 0216 - 3128

enelitian Dasar

Teknologi Aksel

terha

3: misi dan l s ada perbedaan me bergantung p misi r

Gambar 4, y prinsip stabili n bahwa berta engurangi perm k adanya peng misi adalah le tuk elektron y karena itu a at masing-mas luas permukaa

pemilihan uku de sheath (y keluaran). Em plasma terbu rkan dari bag enghalang/barr

a =

= lubang emisi aksi elektron m tu yang lain da am keadaan in :
dekati maksim at dimana menjadi cukup persulit untuk n parameter-par ra a) dan

mpang emisi el total) yang di cm

× Lubang grid (0 dari kawat k mm (1 lubang media). ah lubang grid ron yang mela maka besar aru bejana plasma d

A n Teknologi Nuk

ggir (melalui elektron yan h diabaikan kar

A KERJA

n bejana SEK tem elektroda kapi dengan eperti ditunjuk akan dipasang jana generato

KP, pada Gam merupakan s angkat SEKP y kuran lubang lektron yang t generator plas meter plasma ya. Menurut t dengan tanp ratusan kilo v uncul walaupu emakin menuru ngan anoda em bentuk kassa/g

0,5) mm

(iden an jejari 0,28 m mkan pada beja rid 0,25 mm (m d). Kalau ja engan yang la ntuk media/lua an ada 1 lubang luasan media

ISSN 02 miah – Penelitian ns dan Teknolog

,50 mm×0,50 m kassa SS berd grid setiap 1 d diketahui da alui tiap luban us emisi elektro dapat ditentuka

halangan ng melalui rena besar- KP model penghasil komponen kkan pada gkan pada r elektron mbar 5 tidak salah satu yang mana emitornya erekstraksi sma) serta

(suhu dan teori, pada pa adanya volt) besar un semakin un (bentuk mitor akan grid (mesh- ntik dengan mm) seluas ana anoda, merupakan arak antara ain adalah asan anoda g grid (satu a 1 mm

, maka pad 0.000 mm

216 - 3128 n Dasar Ilmu Pe gi Akselerator

Luas penam (luas media (15 × 60) c sebanyak 90 lubang grid.

Gambar 6. L d m m

Kalau jumla emisi elektr diketahui, m keluar dari b

lektron pada b irencanakan ad da bejana plasm 1 lubang/ mm

Agus Purwadi klir 2014

D p a G d ( t k a t d p k G t a l e d 4 g ( d u l e l d

66 Prosiding

dengan y potensial). halangan p nya halang

METODA D

Hasil ra DUET (terdiri plasma) yang anoda emitor/ Gambar 5. A dinding bagia (terletak di dal tampak). A komponen uta akan dibahas terhadap besar dari permuka pengaruhnya t kerapatan elek Gambar 2 d tegangan pena arus emisi elek lama besar aru eksponensial). digunakan bah 40) berukuran grid bentuk lin (15×600) mm

luasan an besar arus ng grid juga on total yang an. us emisi elek- n bergantung elektron T e , pada ukuran meter plasma dalah untuk

= 90.000 mm) terbuat iameter 0,25 mm

ejana plasma dalah sebesar ma akan ada m

ang di ping Jadi arus potensial boleh an potensial.

DAN TATA

ncang bangun i dari dua sis akan dilengk

/grid adalah s Anoda emitor an bawah bej lam bejana SEK

Anoda emitor ama dalam pera pengaruh uk r arus emisi el an plasma (g terhadap param ktron plasmany diatas walau arik U

(orde ktron telah mu us tersebut se

Pada rancan han SS-304 b lubang (0,5×0 ngkaran denga

HASIL D

DAN PEMBA

J/K dan m

1,00) mm

) m

. Sed an konstanta y uk e = muatan an Boltzmann = ron = 9,11 × 10 bujur sangka adalah identik ngan grid bent

m), oleh k gai standar/pat uk lingkaran d an luasan 1 mm an kelipatannya

, 4mm

dan media grid ng grid dalam a yang ukur media masing grid dan banya ang emisi ele

yang diklem antar lubang gr ter kawat grid yang satu de mm maka un

Pertemuan dan

Gambar

dengan jarak a ukuran dianet lubang grid y sebesar 0,25 m emitor (1,00 × lubang grid u ditunjukkan pa

(1 - 10) eV patan elektron dang besaran- ang besarnya n elektron =

= 1,37 × 10

ar berukuran (besar harga tuk lingkaran karenanya hal tokan bahwa dengan jejari m

, dan akan a yakni untuk n seterusnya. d ini akan luasan enoda rannya telah g-masing grid aknya jumlah ektron bejana

sekitar an untuk kerap

(14) besar aru bang grid akan seperti suhu ta bergantung arameter-param r plasma ad ma T

AHASAN

Grid d (0,50 mm × luasnya rela berjejari 0,2 ini dapat d setiap luban 0,28 mm ak berlaku untu luasan 2 m Masing-mas menentukan emitor gen tertentu, V untuk menen grid dalam

engetahuan dan ‐ BATAN

Menur tron yang m pada param kerapatan el jejari grid dalam beja temperatur dimana 1 eV plasma n e ad besaran lain telah tertent 1,602 × 10

, UET.

EKP model DU

rut persamaan melalui satu lub meter plasma lektron n e sert r

. Besar pa ana generator elekton plasm

V = 1160 K, da dalah (10

9 C, k = tetapa

= massa elektr dalam bentuk ×0,50 mm) a atif sama) den

28 mm (2,8 × 1 ijadikan sebag ng grid bentu kan memerluka uk media luasa mm

, 3 mm

sing luasan n jumlah luban nerator plasma

Variasi luasan m ntukan jejari g tampang linta

n Presentasi Ilm Pusat Sain

aka untuk setiap ada Gambar 6. r 5. Bejana SE

– nnya merupakan tu yakni untu

1
23
31 kg.

Agus Purwadi

ISSN 0216 - 3128

generator plasma seluas media 15 cm × 60 cm. parameter plasma (n dan T ) dalam bejana plasma

e e ditunjukkan pada Tabel 1. serta ukuran grid yang digunakan.

Untuk rancangan penentuan arus emisi elektron Tabel 1. Besar jejari grid untuk masing-masing yang melalui grid dapat dilakukan dengan mem- luasan media grid dan jumlah grid pada variasi harga parameter plasma dalam bejana plasma bejana plasma ertampang lintang emisi

; suhu elektron T , kerapatan elektron n , serta ukuran

2 e e ×

elektron (15 60) cm jejari gridnya r . Pada Tabel 2 ditunjukkan besar arus

emisi elektron (I e ) sebagai fungsi jejari grid pada Bejana plasma dengan luasan emisi

17 -3

kerapatan elektron plasma n e = 10 m untuk Luas

elektron (15 × 60) cm berbagai harga suhu elektron T . Pada Tabel 3

e media grid

ditunjukkan besar arus emisi elektron (I ) sebagai (mm )

Jejari grid r (m) Jumlah grid

fungsi jejari grid pada suhu elektron T = 5 eV untuk

1 90.000 berbagai kerapatan elektron plasma n . 2,80 ×

Grid diklemkan/dipasang pada dinding bejana 2 45.000 4,00 ×

10 plasma (plasma emitter/katoda plasma) bagian -4 3 30.000

4,90

10 bawah, berfungsi sebagai pengontrol arus emisi

4 22.500 5,60 ×

10 elektron plasma yang diekstrak/dikeluarkan dari

5 18.000

bejana plasma. Untuk mendapatkan besar arus emisi 6,30

elektron yang diharapkan, perlu ditetapkan harga 6 15.000 6,90 ×

17 -3

Tabel 2. Harga arus emisi elektron (I ) sebagai fungsi jejari lubang r (pada n =10 m ) untuk suhu elektron T

em e e e (1, 2, 3, 4, 5) eV. o

Suhu elektron Plasma T ( K )

Jejari r / Arus Emisi Elektron

No (m) 1×11600//I 2×11600/ I 3×11600/ I 4×11600/ I 5×11600/ I

em em em em

(A) (A) (A) (A) (A)

1 2,80×10 59,1 83,6 102,0 118,0 133,0

2 4,00×10 121 171,0 209,0 241,0 272,0

3 4,90×10 181,0 256,0 313,0 362,0 408,0

4 5,60×10 236,0 334,0 409,0 473,0 533,0

5 6,30×10 299,0 423,0 518,0 598,0 675,0

6 6,90×10 359,0 507,0 621,0 718,0 809,0 Tabel 3.

Harga arus emisi elektron (I em ) sebagai fungsi jejari lubang r e (pada T e = 5 eV) untuk kerapatan

17 18 -3 kerapatan elektron n e = (10 ,10 ,10 ,10 m .

Kerapaan elektron Plasma n (m ) /

Jejari r e No Arus Emisi elektron

(m)

10 / I (A) 10 / I (A) 10 / I (A) 10 / I (A)

e e e e

1 2,80 × 10 1,33 13,30 133,00 1330,0

2 4,00 × 10 2,72 27,20 272,00 2720,0

3 4,90 × 10 4,08 40,80 408,00 4080,0

4 5,60 × 10 5,33 53,30 533,00 5330,0

5 6,30 × 10 6,75 67,50 675,00 6750,0

6 6,90 × 10 8,09 80,90 809,00 8090,0

18 -3

pada kerapatan plasma n e = 10 m diperoleh

KESIMPULAN

besar arus berkas emisi elektron plasma I = 2,72

e kA.

1. Untuk jejari grid sebesar r = 0,40 mm, suhu

2. Arus emisi elektron akan bertambah besar elektron T e = 5 eV (1 eV = 11600 K) dan

17 -3

dengan bertambahnya baik jejari grid, suhu kerapatan plasma n e = 10 m diperoleh besar elektron maupun kerapatan elektron plasmanya. arus berkas emisi elektron plasma sebesar I =

3. Perubahan kerapatan elektron plasma akan 272 A. Sedang untuk jejari grid dan suhu sangat dominan pengaruhnya terhadap peru- elektron yang sama (r = 0,40 mm, T = 5 eV)

e e

Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah – Penelitian Dasar Ilmu Pengetahuan dan Teknologi Nuklir 2014

Pusat Sains dan Teknologi Akselerator ‐ BATAN

ISSN 0216 - 3128 Agus Purwadi

bahan besar arus emisi elektron bila dibandin-

5. Efim Oks, ”Plasma Cathode elektron Sources gkan dengan perubahan baik jejari grid maupun (Physic, Technology, Application)”, Institute of suhu elektronnya High Current elektronics (IHCE), Russian

4. Luasan grid tidak terbatas hanya dalam bentuk Academy of Sciences, 2/3 Akademichisky Ave, lingkaran namun bisa dalam bentuk luasan bujur 634055 Tomsk, Russia, May 2006. sangkar, asal diketahui besar arus emisi elektron tiap lubang grid dan jumlah grid persatuan luasnya.

Tjipto Sujitno DAFTAR PUSTAKA

− Apa fungsi utama grid

1. Purwadi R, (2006) Application of Plasma- − Apakah bisa dihitung arus yang hilang akibat Cathode elektron Beam for Large Area tumbukan elektron dengan grid Treatment of Natural Rubber, Nagata Seiki, Ltd.

Agus Purwadi 2. Y.E. Krasik, D. Yarmolich, J.Z. Gleizer, V.

Vekselman, Y. Hadas, V.T. Gurovich, and J. − Grid berfungsi untuk menentukan/mengontrol Felsteiner, Physics of Plasmas 16, 057103 besarnya arus ekstraksi berkas elektron yang (2009) 057103-1 – 057103-11

terekstraksi

− Ya ini berhubungan dengan efisiensi ekstraksi

3. DAN M. GOEBEL, ”Plasma Cathode elektron

elektron dari grid ( α). Besar α akan bergantung

Guns” , Work performed at HRL, HUGHES

Se (total luasan kolektor yang dikenai berkas

RESEARCH LABORATORIES, Jan. 1997

elektron) dan bergantung Sa (total luasan anoda

4. Efim Oks, Lecture 6 Introduction of Plasma

yang terkena berkas elektron). Sedang Se dan Sa

Cathode elektron Source, presented in BATAN bergantung pada pemilihan luasan lubang grid.

5th

Accelerator School, Yogyakarta, Indonesia, -

9th

December (2011)

Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah – Penelitian Dasar Ilmu Pengetahuan dan Teknologi Nuklir 2014

Pusat Sains dan Teknologi Akselerator ‐ BATAN

RANCANGAN SISTEM GRID PADA SUMBER ELEKTRON KATODA PLASMA