2.2.1.2 Elektrostatik
Karena medan elektrik memiliki kerapatan energi yang lebih kecil maka, aplikasi yang dapat menggunakan prinsip ini hanya terbatas pada alat ukur dan
mempercepat muatan partikel. Belakangan ini, dengan perkembangan teknologi pembuatan mikro, kita dapat mengaplikasikan gaya elektrostatik yang rendah pada
aktuator mikroelektromekanik, seperti aktuator tipe comb gambar 2.16. Keuntungan dari aktuator elektrostatik adalah tingkat perubahan yang lebih cepat dan kecilnya
energi yang hilang dibandingkan dengan aktuator elektromagnetik. Tetapi kekurangannya berupa keterbatasan gaya, jarak lintas dan besarnya tegangan kerja.
Aktuator elektrostatik adalah pengendali utama dari partikel toner pada proses elektropotograpik seperti pada printer laser.
Gambar 2.16 Aktuator tipe comb
Ref. 2 hal 21-11
2.2.1.3 Piezoelektrik
Piezoelektrik adalah sifat dari kristal tertentu yang menghasilkan tegangan saat dilakukan deformasi mekanik atau mengalami deformasi mekanik saat diberikan
tegangan. Ketika material piezoelektrik diberikan tegangan mekanik, dia dapat membentuk perubahan asimetrik pada struktur kristal dan terjadi pada pusat dari ion
kristal yang berpengaruh. Hasilnya adalah separasi paksa. Sebuah potensial listrik yang dihasilkan sebanding dengan besarnya regangan mekanik dapat dihitung, dan ini
dinamakan efek piezoelektrik langsung. Sebaliknya, material dapat mengalami
perubahan tanpa adanya perubahan volume saat potensial listrik terpakai. Efek piezoelektrik yang bertentangan ini dapat digunakan sebagai aktuator mekanik.
Terdapat dua kategori dalam material piezoelektrik yaitu, keramik sintering seperti timah-zirkonat-titinate PZT, dan polimer seperti polyvinylidence fluoride PVDF.
Piezokeramic mempunyai keluaran gaya yang lebih besar dan digunakan lebih banyak sebagai aktuator. PVDF menghasilkan lebih banyak perubahan dan digunakan pada
aplikasi sensor.
2.2.2 Motor Listrik