KANDUNGAN Halaman
PENGAKUAN ii
PENGHARGAAN iii
ABSTRAK iv
ABSTRACT v
KANDUNGAN vi
SENARAI RAJAH x
SENARAI JADUAL xvii
SENARAI SIMBOL xviii
SENARAI SINGKATAN xx
BAB I PENDAHULUAN
1.1 Pengenalan
1 1.2
Permasalahan kajian 4
1.3 Objektif Kajian
8 1.4
Skop Kajian dan Kaedah 9
1.5 Signifikan Kajian
11 1.6
Susunan Tesis 12
BAB II ULASAN KEPUSTAKAAN
2.1 Pengenalan
15 2.2
Evolusi dan Pembangunan Pam Mikro MEMS 16
2.3 Pam Mikro Terma Pneumatik
20 2.3.1
Pemanas mikro 27
2.3.2 Membran filem nipis
33 2.3.3
Saluran pengalir mikro atau injap mikro 35
2.4 Penggunaan Teknologi MEMS Dalam Fabrikasi Pam Mikro
40 Terma Pneumatik
2.4.1 Teknologi pemesinan mikro pukal
41 2.4.2
Teknologi pemesinan mikro permukaan 43
2.4.3 Litografi lembut
47
2.5 Penggunaan Bahan Dalam Fabrikasi Pam Mikro
49 Terma Pneumatik
2.5.1 Bahan berunsur silikon
50 2.5.2
Bahan berunsur polimer 52
2.6 Ringkasan Bab
57
BAB III KAJIAN TEORI PAM MIKRO AKTUATOR TERMA
3.1 Pengenalan
58 3.2
Penjanaan Tenaga Terma 59
3.2.1 Konsep pengembangan terma 60
3.2.2 Penjanaan tenaga terma oleh logam filem nipis
62 3.2.3
Pemindahan tenaga terma 63
3.2.4 Prinsip terma pneumatik dalam ruang vakum
65 3.3
Sifat Mekanik dan Struktur Membran Filem Nipis 68
3.3.1 Sifat kelengkungan dan pesongan plat
68 3.3.2
Kesan terikan dan tegasan terma terhadap 72
pesongan plat membran 3.3.3
Pengunaan kaedah Ritz dalam plat membran 74
3.4 Mikro Bendalir
78 3.4.1
Elemen satah peresapmuncung Planar DiffuserNozzle 83
3.4.2 Kecekapan pengaliran bendalir pada elemen
86 peresapmuncung
3.5 Ringkasan Bab
88
BAB IV REKABENTUK DAN ANALISIS TERHADAP PAM MIKRO
TERMA PNEUMATIK
4.1 Pengenalan
89 4.1.1
Rekabentuk 89
4.1.2 Kelebihan
92 4 .2
Perisian COMSOL Multiphysics Versi 4.2 93
4.3 Pertimbangan Rekabentuk Pemanas Mikro
96 4.3.1
Prinsip dan pertimbangan bentuk geometri 96
4.3.2 Kesan bahan terhadap penghasilan tenaga terma
97 4.3.3
Tebal logam dan voltan bekalan masukan 99
4.3.4 Analisis penyelesaian pemanas mikro
101
4.4 Pertimbangan Rekabentuk Membran Filem Nipis Mikro
101 4.4.1
Kesan bentuk geometri terhadap pesongan membran 102
filem nipis 4.4.2
Luas permukaan dan pesongan membran filem nipis 104
4.4.3 Pemilihan bahan dan peongan membran filem nipis 105
4.4.4 Tebal membran filem nipis dan pesongan
107 4.4.5
Kesan tekanan terma terhadap membran filem nipis 108
4.4.6 Analisis penyelesaian membran filem nipis
109 4.5
Ringkasan Bab 110
BAB V PROSES FABRIKASI DAN PENCIRIAN PAM MIKRO
