Latar Belakang Masalah HASIL PENELITIAN DAN PEMBAHASAN

2 oleh metode penyiapan sampel uji yang kurang baik yang dapat merusak lapisan tipis. Maka dari itu, pentingnya mendapatkan metode penyiapan sampel uji yang baik dan melakukan pengukuran sebaran ketebalan lapisan tipis hasil spin coating . Pengukuran ketebalan lapisan tipis yang sering digunakan sekarang ini adalah metode Ellipsometri, Gravimetri dan Scanning Electron Microscopy SEM Farid, 1994. Pengukuran ketebalan lapisan tipis dengan metode Ellipsometri didasarkan pada penghitungan perubahan keadaan polarisasi cahaya yang dipantulkan dari lapisan atau substrat. Gravimetri didasarkan pada perubahan massa atau berat terhadap dimensi geometrinya. Metode Ellipsometri dan Gravimetri cukup sulit dilakukan. Sedangkan Prinsip kerja Scanning Electron Microscopy SEM adalah menembak permukaan benda dengan berkas elektron berenergi tinggi. Berkas elektron berenergi tinggi yang mengenai permukaan sampel dapat merusak sampel tersebut. Selain itu, pengukuran ketebalan lapisan tipis dengan metode SEM ini memerlukan biaya yang paling mahal diantara metode yang lainnya Abdullah, 2009. Maka, pengukuran ketebalan lapisan tipis dengan menggunakan metode interferometri yang diusulkan dalam penelitian ini dilakukan untuk mengatasi masalah tersebut. Studi penelitian awal tentang pengukuran ketebalan lapisan tipis dengan metode interferometri mempergunakan Interferometer Michelson telah dilakukan oleh Dodi Rasanjani. Dalam penelitiannya dapat diukur ketebalan lapisan tipis polystyrene pada substrat kaca yang diperoleh dari teknik spin coating Rasanjani, 2009. Dalam penelitian pengukuran sebaran ketebalan lapisan tipis hasil spin coating dengan metode interferometrik ini, selain mengkaji pengukuran sebaran lapisan tipis polystyrene pada substrat kaca dengan variasi konsentrasi larutan dan kecepatan putar spin coating juga akan mengkaji metode penyiapan sampel uji lapisan. Dalam metode interferometri digunakan perangkat interferometer yang dapat digunakan untuk mengukur panjang atau perubahan panjang berdasarkan penentuan garis-garis interferensi Halliday, 1978. Alat ini menggunakan sebuah sumber radiasi laser dengan panjang gelombang λ tertentu, serta terdiri dari berbagai elemen optik sehingga memerlukan pengaturan yang tepat dalam pengoperasiannya. Penggunaan suatu interferometer memungkinkan untuk 3 mengukur sebaran ketebalan film tipis. Metode ini menggunakan suatu sumber radiasi, sehingga memiliki skala ukur dengan limit orde panjang gelombang sinar laser yang digunakan Hernández et. al., 1999. Penelitian ini juga dilakukan untuk meningkatkan daya guna dari interferometer Michelson yang terdapat di Sub Lab. Fisika Laboratorium Pusat MIPA UNS.

I.2. Perumusan Masalah

Penelitian ini akan mengkaji tentang bagaimana mendapatkan metode sampel uji yang baik dengan berbagai proses dari penyiapan substrat, pembuatan larutan, proses spin coating menggunakan proses pemanasan dan pengukuran ketebalan lapisan tipis dimana untuk membuat batas sampel lapisan tipis yang terlihat menggunakan silet sehingga pada akhirnya diharapkan hasil pola-pola pergeseran interferensi terlihat jelas. Dalam pembuatan sampel lapisan tipis dengan metode spin coating hasil sebaran larutan lapisan tipis sebagian besar tidak merata pada semua bagian pada substrat sehingga tiap bagian pada substrat berbeda-beda ketebalannya. Penelitian ini juga akan mengkaji bagaimana mengukur sebaran ketebalan lapisan tipis hasil spin coating dengan metode interferometrik.

I.3. Batasan Masalah

1. Lapisan tipis yang digunakan dalam penelitian ini adalah polystyrene PS dengan substrat kaca. 2. Pembuatan lapisan tipis dengan metode spin coating. 3. Pengukuran sebaran ketebalan lapisan tipis dengan metode interferometrik menggunakan interferometer Michelson. 4. Pembuatan lapisan tipis dengan kelarutan 10 dan 15 , dan kecepatan putar spin coating 1500 rpm, 2500 rpm dan 3000 rpm dengan 1 kali lapisan. 4

I.4. Tujuan Penelitian

Tujuan dari penelitian ini adalah : 1. Mengukur sebaran ketebalan lapisan tipis menggunakan interferometer Michelson. 2. Menyiapkan sampel uji lapisan tipis dengan preparasi sampel untuk diuji ketebalannya. 3. Mendiskripsikan ketebalan lapisan tipis dengan difabrikasi dengan spin coating.

1.5. Manfaat Penelitian

Manfaat dari penelitian ini adalah: 1. Diperoleh informasi mengenai pengukuran sebaran ketebalan suatu lapisan tipis hasil spin coating dengan metode interferometri menggunakan interferometer Michelson. 2. Penelitian ini dapat digunakan sebagai acuan dan dasar bagi pengembangan penelitian lebih lanjut.

1.6. Sistematika Penulisan

Laporan skripsi ini disusun dengan sistematika sebagai berikut: BAB I Pendahuluan. BAB II Tinjauan Pustaka BAB III Metode Penelitian BAB IV Hasil Penelitian dan Pembahasan BAB V Kesimpulan dan Saran Pada Bab I dijelaskan mengenai latar belakang penelitian, perumusan masalah, batasan masalah, tujuan penelitian, manfaat penelitian, serta sistematika penulisan skripsi. Bab II berisi teori dasar dari penelitian yang dilakukan. Bab III berisi metode penelitian yang meliputi waktu, tempat dan pelaksanaan penelitian, alat dan bahan yang diperlukan, serta langkah-langkah dalam penelitian. Bab IV berisi tentang hasil penelitian dan analisa pembahasan yang dibahas dengan acuan dasar teori yang berkaitan dengan penelitian. Bab V berisi simpulan dari pembahasan di bab sebelumnya dan saran-saran untuk pengembangan lebih lanjut dari skripsi ini.