Identifikasi Masalah Batasan Masalah

8 - Sputtering. -Vacuum Evaporation. - Close Space Vapor Deposition CSVD. b. Metode Chemical Vapor Deposition CVD Merupakan deposisi uap dengan reaksi kimia meliputi: - Metal Organic Chemical Vapor Deposition MOCVD. - Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD. - Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD. 2. Pembentukan Lapisan Tipis Pembentukan lapisan tipis melewati tiga tahap utama yaitu: a. Pembentukan jenis atom, molekul atau ion. b. Transport jenis atom, molekul atau ion. c. Kondensasi pada permukaan substrat secara langsung atau melalui reaksi kimia atau elektrokimia untuk membentuk suatu deposisi padatan Setianingrum, 2016: 25. 3. Karakteristik Lapisan Tipis a. Sifat Optik Absorbansi, transmitansi, reflektansi merupakan sifat optik dari suatu material yang ada kaitannya dengan interaksi antara material dengan gelombang elektromagnetik seperti cahaya, khususnya cahaya tampak. Jika cahaya dilewatkan pada suatu bahan, maka sebagian lagi akan diserap absorbed, sebagian akan diteruskan transmitted, dan sebagian akan dipantulkan 9 reflected. Hal ini menunjukan bahwa intensitas cahaya yang datang I sama dengan intensitas cahaya yang diserap I A , diteruskan I T , dipantulkan I R dan disebarkan. Secara matematis dapat dituliskan sebagai berikut: A+T+R+S=100 1 dengan A adalah cahaya yang diserap, T adalah cahaya yang diteruskan, R adalah cahaya yang dipantulkan dan S adalah cahaya yang disebarkan. Pengukuran sifat optik menggunakan gelombang elektromagnetik dari ultraviolet sampai inframerah. Hubungan antara panjang gelombang dengan band gap dirumuskan secara matematis pada persamaan berikut Muhammad, 2016: 25: Eg =hc 2 dengan E g adalah energi band gap eV, h adalah konstanta planck 6,626×10 -34 Js, c adalah kecepatan cahaya 3×10 8 ms -1 , adalah panjang gelombang cahaya m. Absorbansi menyatakan besarnya cahaya yang diserap oleh suatu bahan lapisan tipis dari cahaya total yang dipancarkan. Pengukuran absorbsi cahaya merupakan salah satu teknik yang penting untuk menentukan sifat optik suatu bahan lapisan tipis. Dalam pengukuran absorbsi, intensitas cahaya setelah melewati sampel I 1 dengan ketebalan l sebanding dengan intensitas cahaya yang datang I Gambar 1.