70 Berdasarkan Tabel 6, hasil perhitungan nilai parameter kisi
untuk sampel 1,2 dan 3 secara analitik terdapat perbedaan dengan data JCPDS. Pada hasil penelitian terlihat, terjadi penurunan nilai
parameter kisi terhadap data JCPDS. Hal tersebut disebabkan adanya perbedaan intensitas puncak difraktogram pada ketiga sampel
SnSe
0,4
Te
0,6
yang mempengaruhi susunan atom-atomnya. Intensitas yang semakin tinggi mengakibatkan keteraturan atom-atom kristalnya
semakin baik. Oleh karena itu dapat dikatakan bahwa variasi suhu substrat tidak berdampak pada nilai parameter kisi dan juga struktur
kristalnya.
2. Karakterisasi Morfologi Permukaan Lapisan Tipis SnSe
0,4
Te
0,6
dengan SEM Scanning Electron Microscopy
SEM Scanning Electron Microscopy digunakan untuk mengetahui morfologi permukaan suatu material. Hasil karakterisasi
SEM berupa foto permukaan dari kristal yang terbentuk. Berdasarkan hasil foto yang diperoleh dapat diketahui tingkat homogenitas kristal
yang terbentuk. Pada penelitian ini peneliti menggunakan lapisan tipis SnSe
0,4
Te
0,6
sampel 1 dengan temparatur substrat 250ºC. Berikut ini ditunjukkan hasil karakterisasi SEM lapisan tipis SnSe
0,4
Te
0,6
dengan perbesaran 15.000 kali dan 30.000 kali.
71 a
b Gambar 26. Foto Morfologi Permukaan Lapisan Tipis SnSe
0,4
Te
0,6
Sampel 1 Hasil Karakterisasi SEM dengan perbesaran a 15.000 kali dan b 30.000 kali
Berdasarkan Gambar 26 terlihat pada perbesaran 30.000 kali sudah nampak butiran-butiran grain yang terbentuk. Penentuan
homogenitas kristal dapat dilihat dari bentuk, struktur, dan warna kristal yang hampir seragam. Dari gambar diketahui butiran partikel
memiliki variasi ukuran yang berbeda ada yang sangat kecil hingga besar dengan diameter yang beragam. Pengukuran partikeldapat
dilakukanmenggunakan aplikasi seperti Paint, Excel, dan Origin Lab. Tahap awal yang dilakukan untuk mengetahui ukuran partikel yakni
dengan membuka aplikasi paint, setelah itu buka foto SEM yang mengandung partikel-partikel. Kemudian gunakan item penghapus
pada paint untuk memberi tanda tepi partikel. Lihat koordinat yang terbaca pada tepi kiri dan tepi kanan partikel, lalu cari selisihnya.
Koordinat tersebut dinyatakan dalam arah horizontal sumbu x dan vertikal sumbu y. Pilih koordinat dengan arah sumbu x saja. Proses
tersebut berulang hingga didapat sejumlah data tertentu.
72 Gambar 27. Morfologi Permukaan Lapisan Tipis SnSe
0,4
Te
0,6
yang telah Diberi Tanda menggunakan Program Paint
Setelah diameter setiap partikel diperoleh, lalu mencari diameter rata-rata partikel dengan cara memplot data yang diperoleh dalam
bentuk grafik dengan fitting Log normal menggunakan aplikasi Origin Lab.
Gambar 28. Grafik Hubungan antar JumlahPartikel dan Ukuran Partikel
Dari data grafik tersebut bisa diperoleh diameter rata-rata partikel dengan persamaan sebagai berikut:
√
{ }
26
73 ̅=
{ }
27 Dimana
= ,
̅= { }
̅= { }
̅= ̅=
̅= m
Dari analisis di atas diperoleh diameter rata-rata partikel sebesar 0,1005
m.
3. Karakterisasi Komposisi Kimia Lapisan Tipis SnSe