Karakterisasi konstanta dielektrik film tipis BST Karakterisasi arus-tegangan Karakterisasi konduktivitas listrik Karakterisasi sifat struktur XRD, SEM, dan EDAX

3.5.2 Karakterisasi konstanta dielektrik film tipis BST

Penentuan konstanta dielektrik ε dilakukan dengan penyusunan rangkaian elektronik dan film tipis. Perhitungan konstanta dielektrik dapat dilakukan dengan menggunakan persamaan : I = I o e -tRC 3.1 Nilai maksimun dapat dihitung pada persamaan I = , = I o e 3.2 dan dapat dihubungkan dengan; t = RC, atau C = 3.3 dari hubungan C = ε 3.4

3.5.3. Karakterisasi arus-tegangan

Karakterisasi arus tegangan dilakukan untuk melihat sifat dominan dari film tipis BST. Pengukuran arus-tegangan film tipis Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 menggunakan Keithley’s Source Meter family model 2400. Pengukuran ini dilakukan pada kondisi gelap dan terang. Intensitas cahaya yang jatuh di permukaan film pada kondisi terang adalah sebesar 578 lux. Tegangan pencatu yang diberikan film tipis Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 adalah dari -12 V sampai +12 V dengan kenaikan 0,5 V. Film tipis BST memiliki spektrum serapan panjang gelombang yang lebar mulai dari Ultra violet sampai infra merah Syahfutra 2009 dan Irzaman 2008 dengan demikian film tipis akan memiliki respon pada panjang gelombang di luar daerah cahaya tampak.

3.5.4. Karakterisasi konduktivitas listrik

Nilai konduktansi G diukur dengan LCR meter. Data konduktansi film tipis yang didapatkan dapat digunakan untuk menghitung nilai konduktivitas listrik menggunakan persamaan 2.1, kemudian dibandingkan dengan data literatur apakah film tipis yang terbentuk termasuk bahan konduktor, semikonduktor atau bahan isolator sesuai gambar 2.4. 19

3.5.5. Karakterisasi sifat struktur XRD, SEM, dan EDAX

Karakterisasi sifat struktur meliputi : Karakterisasi XRD untuk menentukan model struktur kristal film tipis yang telah dibuat dan dari hasil pengujian dapat digunakan untuk mencari indeks miller dan parameter kisi struktur kristal film tipis BST. Karakterisasi Scanning Electron Microscopy SEM dan EDAX untuk mengetahui pencitraan permukaan serta susunan bahan film tipis yang terbentuk. 20

BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN

4.1. Karakteriasi Sifat Optik Film Tipis BST

Film Tipis Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 yang diannealing dengan temperatur 850 o C dapat terbentuk oleh serapan maksimum yakni: serapan terjadi pada panjang gelombang cahaya tampak warna hijau 500 nm pada silikon tanpa pendadah seperti sedangkan silikon dengan pendadah ferium 2,5 terabsorbansi pada panjang gelombang 600 nm sampai 800 nm. Kemudian menurun pada suhu yang tinggi, untuk BST dengan pendadah ferium 5 ternyata mengalami penyerapan pada panjang gelombang 410 nm lalu menurun pada suhu tinggi. Si film tipis dengan pendadah Fe 7,5 dan 10 hampir mengalami penyerapan yang sama, walaupun film tipis dengan pendadah 7,5 mengalami dua kali puncak pada panjang gelombang 410 nm dan 430 nm seperti pada gambar 4.1.a. Hasil spektrum reflektansi mempengaruhi bentuk spektrum serapan film tipis BST Chaidir 2008. Dapat pula diketahui daerah serapan efektif dari spektrum reflektansi yang ditunjukkan pada gambar 4.1. b, yang mana nilai reflektansi ini merupakan kebalikan dari absorbansi. Nilai absorbansi maksimum terjadi pada saat reflektansi minimum. Artinya pada saat terjadi sedikit pemantulan, terjadi penyerapan yang optimal pada rentang panjang gelombang tertentu. Gambar 4.1. a.