Pengukuran Konduktivitas Listrik Pengukuran ketebalan film dan konstanta dielektrik

4.2.2. Pengukuran Konduktivitas Listrik

Pada perhitungan nilai konduktivitas listrik yang didapat dari pengukuran konduktansi, dapat dilihat bahwa yang paling tinggi adalah film tipis BST yang didadah ferium 7,5, dengan kisaran nilai kondukivitas listrik 429x10 -6 Scm. Tertinggi kedua adalah film tipis BST dengan didadah Fe 2 O 3 10 pada rentang 372x10 -6 Scm. konduktivitas tertinggi ketiga adalah film tipis BST dengan didadah ferium 5, yaitu pada rentang 339x10 -6 Scm. Selanjutnya BST yang didadah Fe 2 O 3 2,5 pada rentang nilai konduktivitas listrik 150x10 -6 Scm dan urutan terakhir adalah pada rentang 92x10 -6 Scm pada film tipis BST murni tanpa pendadah. Dari nilai konduktivitas listrik hasil perhitungan dari konduktansi, diperoleh selang nilai konduktivitas pada orde 10 -6 Scm. hal ini menunjukkan bahwa film tipis BST dan film tipis BST yang didadah Fe 2 O 3 BSFT termasuk golongan semikonduktor dengan orde konduktivitas pada rentang semikonduktor. Gambar 4.3. Hubungan antara konduktivitas listrik film tipis BST terhadap variasi konsentrasi pendadah Fe 2 O 3

4.2.3. Pengukuran ketebalan film dan konstanta dielektrik

Gambar ketebalan film tipis di bawah ini menunjukkan semakin besar doping yang diberi makan akan meningkatkan ketebalan, sedangkan untuk gambar kurva dielektrik adalah untuk menunjukkan perbedaan antara doping pada lempengan tipis. Disini dapat di lihat bahwa pemberian doping Fe 2 O 3 5 dapat memberikan pengaruh ketebaan pada film tipis. Gambar 4.4 a menunjukkan hubungan ketebalan terhadap variasi doping ferium. Dapat terlihat bahwa ketebalan pada rentang 10 -6 m �m yang berati film BST ini termasuk kedalam golongan film tipis. Gambar 4.4. a. Gambar 4.4.b. Gambar 4.4. Hubungan a ketebalan, dan b konstanta dielektrik, pada film tipis BST terhadap variasi konsentrasi pendadah Fe 2 O 3. Konstanta dielektrik ε yang diperoleh ketika diberi tegangan berbeda menghasilkan nilai ε yang berbeda pula. Analisis data dielektrik dalam gambar 4.4.b terlampir dalam lampiran 2. Pada gambar 4.4.a dan 4.4.b dapat terlihat bahwa ketebalan film tipis BST berbanding lurus terhadap nilai konstanta dielektrik. Nilai konstanta dielektrik merupakan gambaran material karena dapat menyimpan muatan listrik seiring dengan salah satu fungsi kapasitor sebagai penyimpan muatan. Sifat kapasitor pada film tipis muncul akibat persambungan p-n antara silikon dan film tipis. Film tipis yang bertipe –n memiliki muatan negatif bebas yaitu elektron dan substrat silikon memiliki muatan positif bebas yaitu hole. Tepat pada daerah sambungan dan sekitarnya terjadi difusi yang mengakibatkan adanya rekombinasi, yaitu penggabungan elektron dan hole lalu hilang. Dengan rekombinasi ini, di sekitar daerah sambungan tidak ada lagi muatan-muatan bebas dan yang tertinggal hanyalah ion-ion statik; yaitu ion-ion dari atom donor dan akseptor. Daerah sambungan seperti ini disebut dengan lapisan deplesi. Karena daerah deplesi mengandung muatan positif statik pada salah satu sisi dan muatan negatif pada sisi lain, maka timbul medan listrik pada daerah deplesi. 4.3. Analisis Sifat Struktur 4.3.1. Hasil X-Ray diffraction XRD