Sensor FET TINJAUAN PUSTAKA

merupakan bahan polimer konduktif yang dapat digunakan sebagai sensor gas dan biosensor. 7,8 Pada aplikasi sensor kimia, khususnya sensor gas, polianilin nanostruktur memiliki kelebihan dibandingkan polianilin bulk. Nanoserat polianilin, misalnya, sangat efektif sebagai sensor gas karena memiliki luas permukaan terekspose jauh lebih besar sehingga proses difusi molekul gas ke dalam struktur nanoserat polianilin berlangsung lebih cepat dan kedalaman penetrasi molekul gas ke dalam nanoserat jauh lebih besar yang akan meningkatkan sensitivitas dan waktu respon sensor. 4 Morfologi permukaan nanoserat polianilin ditunjukkan pada Gambar 2, gambar ini memperlihatkan struktur nano polianilin berbentuk serat dengan diamater beberapa puluh nanometer dan panjang beberapa ratus nanometer serta sangat berpori highly porous. Pada gambar ini juga dapat diamati dengan jelas nanoserat-nanoserat ini saling bersilangan membentuk struktur yang sangat berpori yang memungkinkan molekul-molekul gas dapat menembus lebih dalam dan berinteraksi dengan hampir seluruh serat-serat polianilin. Akibatnya, semua serat polianilin dapat berkontribusi terhadap proses sensing dengan sensitivitas yang lebih baik. 10 Gambar 2 Permukaan nanoserat polianilin. 10

2.3 Sensor FET

Sensor gas berbasis FET memiliki parameter yang lebih banyak dibandingkan dengan sensor chemiresistor. Sensor gas ini memiliki batasan deteksi serta sensitivitas yang lebih baik dibandingkan dengan chemiresistor. 11 Layaknya transistor, sensor FET memiliki tiga elektroda yaitu drian, source dan gate. Elektroda drian dan source terpasang pada lapisan aktif. Dimana lapisan aktif akan berinteraksi dengan analit yang dapat merubah sifat litrik dari lapisan ini. Pada lapisan aktif, bahan yang digunakan adalah semikonduktor tipe-p atau tipe-n. Sedangkan elektroda gate bisa terpasang pada semikonduktor atau langsung pada lapisan dielektrik. Hal ini dikarenakan elektroda gate hanya berperan sebagai pemberi medan listrik pada lapisan aktif. 12 Struktur dari sensor FET dapat dilihat pada Gambar 3. Tegangan yang diberikan pada elektroda gate akan mempengaruhi arus drian-source. Gambar 4 memperlihatkan bahwa semakin negatif tegangan gate diberikan semakin besar arus drian- source yang mengalir. Tegangan gate diberikan negatif karena pembawa muatan pada lapisan aktif merupakan polaron hole. Polaron-polaron pada lapisan aktif akan tertarik oleh tegangan gate yang negatif ke sisi lapisan aktif yang berbatasan dengan lapisan dielektrik. Kemudian polaron-polaron akan membentuk aliran antara elektroda drian- source atau arus drian-source. 13 Jika tegangan gate tetap dan tegangan drian- source terus dinaikan, maka arus drain- source I D-S dari sensor FET akan berada pada daerah saturasi sampai kondisi breakdown. Kondisi breakdown terjadi ketika tegangan drain-source V D-S terus diperbesar pada tegangan gate V g tetap sampai terjadi kebocoran. 14 Gambar 3 Struktur sensor FET Mobilitas dari sensor FET dapat dihitung dengan persamaan: Dimana V TH merupakan tegangan ambang dari sensor FET, W dan L sesuai dengan lebar dan panjang dari kanal lapisan aktif. Nilai ยต merupakan mobilitas hole dari polianilin dan C i adalah kapasitansi gate dielektrik per satuan luas. Gambar 4 a Kurva I D-S terhadap V D-S dengan variasi V g . 14 Gambar 4 b Kurva I D-S terhadap V g . 14

BAB III METODOLOGI