Pembuatan Sensor FET Karakteristik I-V pada Sensor FET

Gambar 11 Citra SEM permukaan polianilin Morfologi dari permukaan polianilin dapat diamati dengan menggunakan SEM Scanning Elelctron Microscope. Morfologi permukaan polianilin didapat dengan perbesaran 40000 kali, ditunjukan pada Gambar 11. Hasil citra SEM memperlihatkan struktur nano polianilin berbentuk serat. Dimana ukuran dari diameter serat sekitar 50 nm sedangkan panjang 200 nm. Nanoserat-nanoserat ini saling bersilangan membentuk pori. Struktur pori tersebut memungkinkan molekul-molekul gas dapat menembus lebih dalam dan berinteraksi dengan hampir seluruh serat-serat polianilin.

4.3. Pembuatan Sensor FET

Nanoserat polianilin yang sudah disintesis dilapiskan ke atas lapisan SiO 2 hingga membentuk lapisan polianilin dengan metode casting. Pada lapisan ini juga dilakukan metalisasi karena untuk melakukan karakterisasi sensor FET diperlukan sifat ohmik. 15 Metal yang digunakan adalah logam emas sebagai elektroda drain dan source termasuk elektroda gate pada substrat silikon. Sensor FET yang dibuat dapat dilihat pada Gambar 12. Lapisan polianilin dapat berinteraksi dengan gas amonia. Interaksi tersebut akan menimbulkan respon arus listrik yang dapat diukur dengan I-V meter. Untuk menghubungkan antara perangkat pengukuran seperti I-V meter dengan sensor FET maka diperlukan pemasangan kabel. Pemasangan kabel di atas kontak emas menggunakan pasta perak. Gambar 12 Sensor FET

4.4 Karakteristik I-V pada Sensor FET

Karakteristik I-V sensor FET dapat dilihat dari kurva I D-S arus drain-source terhadap V D-S tegangan drain-source dengan variasi V g tegangan gate yakni 0 V, -5 V, -10V. Tegangan drain-source mulai dari 0 V sampai -30 V. Kurva I-V sensor FET diperlihatkan pada Gambar 13. Berdasarkan kurva I-V sensor FET terlihat bahwa tegangan gate yang diberikan akan mempengaruhi arus drain- source. Perubahan arus yang terjadi pada sensor FET ini tidak terlalu besar terhadap variasi tegangan gate dengan rentang 5 V. Hal ini dikarenakan lapisan polianilin yang terbentuk terlalu tebal sehingga tegangan gate tidak terlalu mempengaruhi arus drain-source. Jika diberikan tegangan gate terlalu besar maka sensor FET kemungkinan akan mengalami kebocoran pada lapisan SiO 2 sehingga kurva I-V yang terbaca akan seperti kurva dari struktur dioda. Tegangan gate yang diberikan negatif karena lapisan aktif nanoserat polianilin merupakan semikonduktor tipe-p. Pengaruh tegangan gate terhadap polianilin dapat mempolarisasi muatan pada nanoserat polianilin sehingga akan menambah jumlah pembawa muatan hole yang aktif bergerak. Semakin negatif tegangan gate diberikan maka semakin besar arus drain-source dihasilkan. Jika tegangan gate tetap dan tegangan drain-source terus dinaikan maka arus drain-source mengalami saturasi. Kondisi seperti ini menunjukan bahwa sensor yang dibuat beroperasi sebagai FET. Gambar 13 Karakteristik I-V sensor FET

4.5 Respon Sensor FET terhadap I-V