201
teruatama jika diperlukan pemasangan sensor kecepatan yang berada dilingkungan fluida.
Gambar 3.50 Sensor Kecepatan Cara Kapasitansi.
2.3 Sensor Tekanan Presure Sensor
• Transduser tekanan dan gaya load cell – terdiri dari bahan elastis dan sensor perpindahan displacement
– besaran ukur i strain atau ii displacement – pengelompokan: tipe absolute gauge dan diferensial
Gambar 3.51 Sensor tekanan diafragma: diafragma tipe datar, b diafragma bergelombang, c media kapasistansi
Isolator
Sumbu rotor
202
• sensor tekanan dengan diafragma reliable, sukar dibuat, reproducible – besaran ukur strain dengan strain gauge atau displacement dengan
kapasitansi – pengukuran dengan kapasitansi dalam rangkaian jembatan sangat
sensitif dan mahal – Penempatan dan rangkaian sensor
• rangkaian jembatan untuk kompensasi temperatur • resistor sensitif temperatur baik dalam jembatan maupun pada
regulator tegangan
Gambar 3.52 Rangkaian uji sensor tekanan strain gauge: a rangakaian jembatan tanpa kompensator, b rangakaian jembatan dengan kompensator
203
a. Transduser Tekanan silikon
– memanfaatkan silikon sebagai bahan strain ukur dan diafragmanya, rangkaian bisa terintegrasi
– lebih sensistif dari metal karena strain displacement dan sifat piezoresistif muncul bersamaan
– selalu menggunakan 4 gauge dalam jembatan, masalah yang dihadapi • gauge tidak identik
• sangat sensitif terhadap temperatur – alternatif solusi:
• eksitasi arus • kompensasi tegangan jembatan
• kompensasi penguatan amplifier
Gambar 3.53 Straingage piezoresistif: a phisik peizoresistif straingage,
b karakteristik peizoresistif sg, c respon temperatur pada konfigurasi jembatan
c
204
– konstruksi sensor tekanan silikon • diafragma dengan proses etsa
• strain gauge dengan difusi dopan
Gambar 3.54 Sensor tekanan jenis diafragma silicon: a diafragma datar, b diafragma melingkar lebih sensitif
– konstruksi paket sensor tekanan silikon dengan rangkaian kompensasi dan penguat
205
Gambar 3.55 Sensor tekanan semikonduktor: a konstruksi sensor, bblok diagram rangkaian sensor
b. Sensor Tekanan Tipe Bourdon dan Bellow
– besaran ukur perpindahan displacement memanfaatkan LVDT, sensor reluktansi-variabel, potensiometer
– konversi tekanan ke perpindahan menggunakan tabung Bourdon atau Bellows
Gambar 3.56 Sensor tekanan tipe lain: a dan b tipe Bourdon,c dan d tipe bellow
c. Load cell
