Scanning Electron Microscopy SEM

21

2.7. Scanning Electron Microscopy SEM

Scanning Electron Microscope SEM digunakan untuk mengetahui morfologi dari senyawa hasil sintesis, distribusi pertumbuhan kristal, perubahan fisika yang terjadi pada kondisi preparasi. Hasil karakterisasi SEM berupa pencitraan material dengan menggunakan prinsip mikroskopi, namun menggunakan elektron sebagai sumber pencitraan dan medan elektromagnetik. SEM adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang menggunakan berkas elektron untuk menggambar profil permukaan benda. Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron berenergi tinggi. Permukaan benda yang dikenai berkas elektron akan memantulkan kembali berkas tersebut atau menghasilkan elektron sekunder ke segala arah. Detektor didalam SEM mendeteksi elektron yang dipantulkan dan menentukan lokasi berkas yang dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Arah tersebut memberi informasi profil permukaan benda seperti seberapa landai dan kemana arah kemiringan. Pada saat dilakukan pengematan, lokasi permukaan benda yang ditembak dengan berkas elektron di-scan ke seluruh area pengamatan. Kita dapat membatasi lokasi pengamatan dengan melakukan zoom-in atau zoom-out. Berdasarkan arah pantulan berkas pada berbagai titik pengamatan maka profil permukaan benda dapat dibangun menggunakan program pengolahan citra yang ada dalam komputer. Syarat agar SEM dapat menghasilkan citra permukaan yang tajam adalah permukaan benda harus bersifat sebagai pemantul elektron atau dapat melepaskan elaktron sekunder ketika ditembak dengan berkas elektron. Material yang 22 memiliki sifat demikian adalah logam. Jika permukaan logam diamati di bawah SEM maka profil permukaan akan tampak dengan jelas. Jika permukaan bukan logam dapat diamati dengan jelas menggunakan SEM tetapi permukaan material tersebut harus dilapisi dengan logam. Filim tipis logam dibuat pada permukaan material tersebut sehingga dapat memantulkan berkas elektron, seperti lapis tipis emas-paladium Au: 80 dan Pd:20. Teknik pelapisan dilakukan dengan metode evaporasi dan seputtering Abdullah,2010.

2.8. Spektrofotometer UV-Vis Dalam bidang material, sepektrometer UV-Vis sering digunakan