memiliki beberapa kelebihan dibandingkan detektor TGS, yaitu memberikan respon yang lebih baik pada frekuensi modulasi tinggi, lebih sensitif, lebih cepat,
tidak dipengaruhi oleh temperatur, sangat selektif terhadap energi vibrasi yang diterima dari radiasi inframerah Giwangkara, 2006.
2.8 Scanning Electron Microscopy SEM
SEM merupakan alat yang dapat digunakan untuk membantu mengatasi permasalahan analisis stuktur mikro dan morfologi, antara lain pada bidang sains,
kedokteran dan biologi yang kemampuan resolusinya melebihi mikroskop optik. Keunggulan sari SEM dibandingkan dengan mikroskop optik adalah mempunyai
daya pisah yang sangat tinggi, dimana jarak terkecil antara dua titik dari suatu objek yang masih sama dapat diamati secara terpisah dalam orde 100 Å. Daya
pisah atau resolusi yang jauh lebih baik dari mikroskop optik ini berkat penggunaan berkas elektron yang mempunyai panjang gelombang yang sangat
pendek. Selain daya pisah yang baik pada mikroskop elektron, juga lebarnya depth of field
, sehingga tampilan gambar tampak tiga dimensi. Efek tiga dimensi ini tergantung dari besar kecilnya perbesaran.
Untuk pengamatan topografi permukaan yang kasar seperti retakan maka depth of field
harus maksimum, yaitu dengan cara menggunakan bukaan diafragma sekecil mungkin dan dengan jarak kerja sejauh mungkin. Bila diinginkan gambar dengan
data pisah dan perbesaran yang tinggi, maka jarak kerja harus dibuat sedekat mungkin dan bukaan diafragma disesuaikan dengan cara kerja Goldstein, 1981.
Instrumen SEM lihat Gambar 5 terdiri dari penembak electron electron gun, tiga lensa elektrostatik, dan kumparan scan elektromagnetik yang terletak antara
lensa kedua dan ketiga, serta tabung amplifier untuk mendeteksi cahaya pada layar. SEM menggunakan elektron sebagai pengganti cahaya untuk menhasilkan
bayangan.
Gambar 5. Bagian dan prinsip kerja Scanning Electron Microscopy Smallman dan Bishop, 1995.
SEM juga menggunakan hamburan balik elektron-elektron sekunder yang dipantulkan oleh sampel. Elektron-elektron sekunder mempunyai energi yang
rendah maka elektron-elektron tersebut dapat dibelokkan membentuk sudut dan menimbulkan bayangan topografi. Elektron-elektron yang dihamburkan balik
amat peka terhadap jumlah atom, sehingga itu penting untuk menunjukkan
perbedaan pada perubahan komposisi kimia pada sampel. Efek ini mengakibatkan perbedaan orientasi antara butir satu dengan yang lainya. Yang dapat memberikan
informasi kristallografi Smallman dan Bishop, 1995.
2.9 X-ray Diffraction XRD
