KA R A KTER I STI K OP TI K D A N STR U KTU R KR I STA L F I LM TIPIS T i O : A u D I TU M BU HKA N D EN GA N M ETOD E SP I N CO AT I N G
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
ht
ht
id/
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
KARAKTERISTIK OPTIK DAN STRUKTUR KRISTAL
FILM TIPIS TiO2:Au DITUMBUHKAN DENGAN
METODE SPIN COATING
.id/
.id/
ac
nej.
u
u
.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
tp
SKRIPSI
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Oleh
Oryza Ardhiarisca
NIM 081810201020
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
/
/
c.id
c.id
a
a
.
.
j
j
JURUSAN FISIKA
.une
.une
.u
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
ig
ILMU PENGETAHUANttALAM
MATEMATIKA DAN
FAKULTAS
://di
://d
://di
h p
http
http
.id/
ac
nej.
ht
UNIVERSITAS JEMBER
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
.id/
.id/
2013
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
d/
.un
ilib
//dig
tp:
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
KARAKTERISTIK.idOPTIK
DAN STRUKTUR
/
/
id/ KRISTAL
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
FILM TIPIS
DENGAN
.une
.une
.une TiO2:Au DITUMBUHKAN
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
METODE SPIN
://di
://di COATING
://di
http
http
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
il
SKRIPSI
//dig
ac
nej.
.u
ib.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
:
tp
http
http
htdiajukan
guna melengkapi tugas akhir dan memenuhi salah satu syarat
tp
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
a
nej.
gilib
i
d
/
/
:
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
ht
i
/dig
/
:
p
t
t
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
d/
ac.i
ht
h
2013
.u
nej.
ac
nej.
id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
http
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
i
/dig
/
:
p
t
t
/
.id/JURUSAN FISIKA .ac.id/
c.id
a
.
j
j
une
u
.une
.PENGETAHUAN
.MATEMATIKA
b
b
b
i
i
i
l
l
l
FAKULTAS
DAN
ILMU
ALAM
i
i
i
g
ig
ig
://di
p://d
p://d
t
t
t
t
h
h
http
UNIVERSITAS JEMBER
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
lib.u
lib.u
h
d/
ac.i
tp
ac
nej.
ac
nej.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
u
ilib.
dig
tp://
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
digi
tp://
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
oleh: ilib.u
g
Oryza Ardhiarisca
://di
p
t
t
NIMh081810201020
u
ilib.
dig
tp://
.u
http
id/
id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
ac.
nej.
.id/
a
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
untuk menyelesaikan Program Studi Fisika (S1)
d/
dan
gelar Sarjana Sains c.id/
c.imencapai
d/
ac.i
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
ilib.
dig
tp://
c.i
ej.a
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERSEMBAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
/
.id/
.id/
.iduntuk
.idSkripsi
c
c
c
c
ini
saya
persembahkan
:
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
dig
//dig
1. Orangtuaku
dan Ir. Iskandar
:Hadiyanto,
://di
://di tercinta, Ir. Chonaini tAgustiningwati
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
h
h
h
ht
M.M., terima kasih atas kasih sayang, dukungan, nasihat dan doa yang senantiasa
/
/
id/ keberhasilanku;
.id/ mengiringi setiap langkah
c.id
c.id
c.bagi
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne kanak-kanak sampai dengan
.une
.une perguruan tinggi;
.utaman
2. guru-guruku sejak
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
3. Almamater
http
httpJember.
http Fakutas MIPA Universitas
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpii
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
ttp
hMOTO
ht
d/
d/
d/
.i
.i
Demi masa.
manusia berada dalam
ac.i
ackerugian,
acSungguh,
.
.
.
j
j
j
e
e
e
n kebajikan serta saling b.un
n yang beriman dan mengerjakan
kecuali orang-orang
lib.u
lib.u
i
i
g
g
igili
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
menasihati
untuk
kebenaran
dan
saling
menasihati
untuk
kesabaran
:
:
:
http
http 1-3)*)
http
(Al-‘Asr
ht
/
/
/
Sesungguhnya
c.id
c.id
c.id bersama kesulitan ada kemudahan.
a
a
a
.
.
.
j
j
j
Maka apabila engkau
une tetaplah bekerja keraslib.une
.urusan),
.une telah selesai (dari sesuatu
b
b
i
i
l
l
i
i
i
(untuk durusan
yang
lain),
dan
hanya
kepada
Tuhanmulah
engkau berharap
g
g
/dig
/di
/ i
/
/
/
*)
:
:
:
p
p
p
t
t
t
(Al-Insyirah
6-8)
ht
ht
ht
ht
/
/
/
.id
.id di bumi dan
.id kamu sebagai khalifah-khalifah
Dan Dialah yang menjadikan
j.ac
j.ac
j.ac
e
e
e
n
n
n
Dia mengangkat
sebagian kamu di atas
.u lain, untuk mengujimu atas
.u
lib.u
libyang
lib(derajat)
i
i
i
g
g
g
i
i
i
(karunia)
/dSesungguhnya Tuhanmu sangat
/dyang diberikan-Nya kepadamu.
://dcepat
ttp:/Maha Pengampun, Maha penyayang
ttp:/ hukuman dan sungguh,hDia
http
h
memberi
(Al-An’am 165) *)
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
Engkau menyinarihbumi
ttp
ttp
httpYa Allah, sinarilah hati kamihsebagaimana
tp
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
dengan cahaya matahari untuk selama-lamanya.
Ya Allah, tambahkanah cahaya kepadaku, berikanlah cahaya kepadaku dan
/
.id/
.idcahaya.
.id/ bagiku dan jadikanlah diriku
jadikanlah cahaya
c
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
-Amien- b.une
.une
.une
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
Departemen
Agama Republik Indonesia.
http
http 2002. Al-Qur’an dan Terjemahannya.
http
Surabaya: PT Mekar Surabaya.
*)
tp
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpiii
http
tp
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ht
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
.id/
.id/
.id/
lib.u
ac
nej.
:/
http
:/
http
.id/
ac
nej.
digi
tp://
/di
/di
/di
:/
http
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERNYATAAN
http
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
jurusan : Fisika //S-1
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
menyatakan dengan usesungguhnya
bahwa skripsi yang
.une
.uneberjudul: Karakteristik Optik
. ne
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
i
i
dan Struktur
Film Tipis TiO2:AutpDitumbuhkan
dengan Metode tSpin
://dCoating
://di
://dKristal
ht p
ht
http
ht
/
/ mana pun, serta
/ pernah diajukan pada institusi
/
sumbernya, dan belum
.iddisebutkan
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e bertanggung jawab atas.ukeabsahan
ne
bukan karya jiplakan.
dan kebenaran isinya
.une
.unSaya
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
/dig tinggi.
/dig
://di
sesuaihdengan
ttp:/
ttp:/ sikap ilmiah yang harushdijunjung
http
ht
id/
.ac.
nej
lib.u
ac
nej.
.u
.u
/
id/ ini:
.id/
.bawah
.idSaya
c
c
c
yang
bertanda
tangan
di
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
nama : Oryza Ardhiarisca /dig
dig
:/
://di
p
t
tp://
t
http
h
NIM
: 081810201020
digi
tp://
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
adalah benar-benar hasil karya sendiri, kecuali jika dalam pengutipan substansi
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
Demikian pernyataan ini saya buat dengan sebenarnya, tanpa adanya tekanan
/
/
/
/
c.id sanksi akademik jika j.ac.id
c.idpun serta bersedia mendapatkan
c.iddan paksaan dari pihak mana
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne
.une
.une
.uhari
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
ternyata
di
kemudian
pernyataan
ini
tidak
benar.
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpiv
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
lib.u
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
Oryza Ardhiarisca
p
t
ht
NIM 081810201020
h
h
ht
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
lib.u
.id/
.id/
lib.u
ac.
nej.
igi
Jember, Februari :2013
d
/
/
http
Yang menyatakan,
ht
.id/
ac
nej.
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
id/
id/
id/
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
ilib.
dig
tp://
.id/
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
ht
id/
id/
ac.
nej.
ac.
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/
/
/
:/
:/
OPTIK
ttp:/
http
httpDAN STRUKTUR KRISTAL
hKARAKTERISTIK
FILM TIPIS TiO2:Au DITUMBUHKAN DENGAN
METODE
SPIN COATING /
/
/
d
i
.
c.id
c.id
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
http
http
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
ht
.u
.u
.u
.u
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
tp
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
SKRIPSI
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Oleh
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
/
.id/ Oryza Ardhiarisca
c.id
a
.
j
NIM 081810201020
.une
b
i
l
i
g
://di
p
t
t
h
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
/
.id II
Dosen Pembimbing
j.ac
.une
.u
ilib
//dig
ilib
//dig
http
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpv
ac.
nej.
ac
nej.
http
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
.id/
.u
.u
.u
ht
.id/
ac
nej.
.u
ac
nej.
lib.u
h
.id/
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
http
.id/
gilib
i
d
/
/
:
.une
ilib
//dig
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
/
.u
tp
ht
.id
: Endhah Purwandari,
j.ac S. Si., M.Si
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
u
ht
.id/
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
: Dr. Edy Supriyanto, S. Si., M. Si
http
.id/
ac
nej.
id/
ilib.
:
:
tp:
ht
dig
tp://
ht
Dosen Pembimbing I
.id/
http
ac.
nej.
dig
tp://
ht
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
Pembimbing:ilib.u
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
id/
id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PENGESAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
.id/Film Tipis TiO2:Au .ac.id/
.id/ Optik dan Struktur Kristal
.idSkripsi
c
c
c
berjudul
Karakteristik
a
a
a
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g diuji dan disahkan oleh//dFakultas
g
Ditumbuhkan
dengan
Metode Spin Coating/dtelah
dig
: i
:/ i
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h Universitas Jember pada: h
h
Matematika
dan Ilmu Pengetahuan Alam
Hari
nej
.u
ilib
//dig
:
id/
.ac.
tanggal :
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
httSupriyanto, S. Si., M. Si
Dr. Edy
NIP. 19671215 199802 1 001
.id/
c
a
.
Anggota I,
nej
u
ilib.
dig
tp://
nej.
u
.
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
id/
ac.
nej.
Dekan,
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
ht
.id/
une
.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpvi
id/
ht
.id/
ac
nej.
Prof. Drs. Kusno, DEA, Ph. D.
NIP
.id/ 19610108 198602 1 001 .ac.id/
j
j.ac
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
h
.u
http
tp
ht
ht
lib.u
ttp:
h
Mengesahkan
gilib
i
d
/
/
:
une
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
i
/dig
/
:
p
t
t
http
.
gilib
i
d
/
/
:
id/
.un
ilib
//dig
.u
http
ht
Puguh Hiskiawan,
id/ S. Si., M. Si.
.
c
a
NIP. 19741215
200212 1 001
ej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
tp
p
.id/
c
a
.
Anggota
j II,
.une
b
i
l
i
ig
ht
.id/
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
d
tp://
.id/
ac
nej.
tt Si., M.Si
Endhah Purwandari,hS.
NIP. 19811111 200501 2 001
u
ilib.
Priyantari, S. Si., M. Si. d/
/
idNurul
.
c
ac.i
a
NIP. 19700327 199702 e2j.001
j.
e
n
n
u
u
ilib.
ilib.
g
g
i
i
d
d
://
tp://
http
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
ht
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
dig
tp://
.id/
ac
nej.
.u
p
tp
ht
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
Sekretaris (Dosen Pembimbing
II),
http
http
.u
.u
ac
nej.
.u
.u
.id/
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
Ketuah(Dosen
ttp Pembimbing I),
tp
ht
.id/
Tim Penguji:
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ac
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
tempat tp: :Fakultas
Matematika dan IlmutpPengetahuan
Alam UniversitastpJember
//
://
://
ht
ht
ht
tp:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
gilib
i
d
/
/
:
http
ht
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
tp
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
RINGKASAN
http
gilib
i
d
/
/
:
http
Karakteristik Optik dan Struktur Kristal Film Tipis TiO2:Au Ditumbuhkan
dengan Metode Spin Coating; Oryza Ardhiarisca, 081810201020; 2013: 59
halaman; Jurusan Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam
Universitas Jember.
Emisi kendaraan bermotor dan industri memicu meningkatnya polusi udara.
Oleh karena itu, diperlukan upaya untuk mengontrol polusi udara yang dapat
dilakukan dengan menggunakan sensor gas. Salah satu bahan yang dapat digunakan
sebagai lapisan sensitif pada sensor adalah TiO2:Au. Tujuan penelitian ini adalah
untuk menumbuhkan film tipis TiO2:Au dengan metode spin coating dan
mengarakterisasi sifat optik dan struktur kristal film dengan memberikan variasi
konsentrasi doping Au.
Penumbuhan film tipis TiO2:Au diawali dengan preparasi substrat dan
preparasi prekursor. Dalam preparasi prekursor, bahan Au2O3 dilarutkan dalam
pelarut tetrahydrofuran (THF, C4H8O) dan diberikan variasi konsentrasi Au yaitu 0,1
M; 0,2 M; 0,4 M; dan 0,5 M. Larutan yang diperoleh kemudian dicampur dengan
Titanium (IV) Isoproxide atau [Ti{OCH(CH3)2}4] (97%) dengan perbandingan 1:4.
Hasil akhirnya berupa gel. Setelah preparasi substrat, substrat diletakkan di atas
spinner dan dilapisi dengan wetting layer TTIP. Langkah selanjutnya adalah
penumbuhan film tipis di atas substrat dengan laju spinner 1500 rpm selama satu
menit.
Tahap berikutnya dilakukan penguapan pelarut dengan memanaskan lapisan
tipis pada temperatur 100oC dengan menggunakan furnace. Selanjutnya dilakukan
deposisi film tipis dengan memanaskan lapisan tipis pada temperatur 500oC di dalam
furnace. Hasil akhir dari proses ini adalah film tipis TiO2:Au yang siap untuk
vii
ac
nej.
ht
dikarakterisasi menggunakan High Resolution X-Ray Diffraction (HR-XRD), Optical
Reflectance Spectroscopy dan Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS).
Kandungan atom Au pada film tipis TiO2:Au dengan konsentrasi Au 0,1 M;
0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M secara berturut-turut adalah 0,01%, 0,02%, 0,04% dan
0,05%. Adapun struktur kristal dari film yang dihasilkan menunjukkan bahwa pada
konsentrasi Au sebesar 0,1 M dan 0,2 M dihasilkan bidang kristal tunggal rutile (002)
(R(002)). Sedangkan pada konsentrasi Au sebesar 0,4 M dan 0,5 M dihasilkan bidang
polikristal. Hal ini menunjukkan bahwa pemberian dopan Au dengan variasi 0,4 M
dan 0,5 M mengindikasikan kehadiran doping Au yang cukup untuk menghasilkan
puncak baru. Berkaitan dengan sifat optik dari film tipis TiO2:Au, spektrum
reflektansi bahan menunjukkan adanya keteraturan pola puncak osilasi film tipis pada
variasi konsentrasi Au sebesar 0,1 M; 0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M. Hal ini
mengindikasikan homogenitas dari film yang dihasilkan. Semakin banyak doping Au
yang diberikan pada film dapat menghasilkan film yang semakin tebal. Hal ini
ditunjukkan dari semakin banyaknya puncak osilasi film. Disamping itu, berdasarkan
spektrum reflektansi dari film tipis TiO2:Au, diperoleh lebar celah pita energi film
tipis TiO2:Au dengan konsentrasi Au sebesar 0,1 M; 0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M
berturut-turut adalah 3,50 eV; 3,41 eV; 3,39 eV dan 3,37 eV. Sedangkan film tipis
TiO2:Au murni tanpa doping memiliki lebar celah pita energi 3,78 eV.
Hasil penelitian ini diperoleh sebagai berikut: peningkatan persentase
kandungan atom Au dalam film tipis TiO2:Au, penurunan lebar celah pita energi film
perubahan stuktur kristal
tipis, dan
film tipis disebabkan oleh peningkatan
konsentrasi Au. Film tipis TiO2:Au dengan konsentrasi 0,1 M dan 0,2 M dapat
diaplikasikan sebagai divais sensor, karena mempunyai butiran film yang homogen
dan struktur kristal tunggal.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpviii
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PRAKATA
http
ht
id/
id/
id/
.
.
.
Alhamdulillahhirobilalamin,
segala syukur kehadirat
j.ac ALLAH SWT atas nej.ac
j.ac
e
e
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
rahmat dan hidayah-Nya,
sehingga penulis dapat
/dig judul
/dig menyelesaikan skripsi dengan
/dig
ac.
nej.
u
ilib.
ac
nej.
.u
.u
id/
dig
tp://
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ttp:/
ttp:/
ttp:/
ht
h
“Karakteristik
Optik dan Strukturh Kristal Film Tipis TiO2:AuhDitumbuhkan
dengan Metode Spin Coating”./ Karya ilmiah ini disusun sebagai
/ salah satu syarat
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
untuk memperoleh gelar
dan
.une
.unedi Fakultas Matematikailib
.une Sarjana Sains JurusaniliFisika
b
b
i
l
i
g
g
g
Ilmu Pengetahuan
://di
://di
://di Alam Universitas Jember.
http
http
http
ht
/
/
/
dorongan, nasehat, saran
Oleh karena
id/
.idberupa
c.id
c.membantu.
c.id maupun kritik yang sangat
a
a
a
.
.
.
j
j
j
nepenulis ingin mengucapkanb.terima
une kasih kepada :
itu pada kesempatan
.une
.uini
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
ig
ig
://di
p://dselaku Ketua Jurusan Fisika
p://d Supriyanto, S. Si., M.httSi.,
1. Dr.
http Fakultas
httEdy
ht
id/
.ac.
nej
lib.u
digi
tp://
Dalam penulisan skripsi ini tidak lepas dari bantuan semua pihak, baik itu
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam
d/
ac.i
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
Pembimbing I;
Universitas Jember dan Dosen
ac
nej.
nej.
u
.id/
.id/
d/
ac.i
u
u
.
.
ib.
2. Endhah Purwandari,
S. Si., M. Si., selaku
igiltelah
igilibDosen Pembimbing II yang
igilib
p://d
p://d
p://d
tp
ac
nej.
httini;
htt dalam menyelesaikan skripsi
htt
memberikan
bimbingan dan arahannya
ht
3. Nurul Priyantari, S. Si., M. Si. selaku Dosen Penguji I dan Puguh Hiskiawan,
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
S. Si., M. Si. selaku
arahannya dalam nej
j
jDosen Penguji II yang telahnmemberikan
u
.u e
.une
b
b
i
i
l
l
ilib.
i
i
g
g
g
i
i
i
menyelesaikan
skripsi
ini;
d
d
d
/
/
/
:/
:/
:/
http
http
http
4. Drs. Yuda C. Hariadi, M. Sc. Phd., selaku Dosen Pembimbing Akademik yang
d/
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
telah bersedia meluangkand/waktu untuk memberikan bimbingan
dengan penuh
/
id/
i
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
kesabaran;
.une
.une
.une
igilib
igilib
igilib
/d
/d
/d
5. seluruh
ttp:/ Fakultas
ttp:/ Staf Karyawan di lingkungan
ttp:/ Bapak dan Ibu dosen beserta
tp:
ht
ht
h
h
h
Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Jember;
/
/
/ kedua orang tua, Ayahanda
id/ M. dan Ibunda Ir.
.id6.
c.id
c.M.
c.id Ir. Iskandar Hadiyanto,
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
.une
.undoa
.une
Chonaini Agustiningwati,
yang selalu memberikan
dan dukungan;
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
7. adikku
http dan Naufal Ardhisabillahhttpyang selalu
http Ardhizea Maysmugaffillah
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
memberikan dukungan;
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpix
http
tp
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
tp Gaffur,
8. seluruh
httpmenemaniku, Djaminah, M.htAbdul
http keluarga besarku yang selalu
tp
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
Badria Elok Purnawati, S. Sos., Aini purnaningwati, E.A. Zaenal Marzuki, S. H.,
id/
id/
id/
.
M. H., Farida Kurniawati,
.ac. H, S. Pd., M. Pd., Reni nej.ac.
jYudi
j.ac S. H., Aswaji, S. H., Soni
e
e
n
n
u
.u
lib.u
ilib.
Mauren /dMargareth,
Aulia Yudhawati /Arini,
Faiqoh
igilib
digi Akbarian Aryudhiansyah,
/dig
ttp:/
ttp:/
ttp:/
ht
h
h
Rusdianawati
Lestari, Hisyam Fadlullah,
atas segala dukungan danh doanya;
9. Nur Faizin yang selalu memberikan
motivasi dan menemaniku
/ setiap waktu;
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
10. rekan kerjaku Dewi
ne S. Si. yang telah banyak
.une
.uZahroh,
.uneRia Agustin dan Fatimatuz
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
membantu
://di
://di
://di dan memotivasi;
http
http
http
id/
.ac.
nej
lib.u
digi
tp://
11. kawan seperjuangan sejak masuk kuliah: Yuliatin, Wira Dian, Hery Indria, Dewi
.id/
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
.id/
ac
nej.
Marzuki, Jalal
S., A. Syaiful Lutfi, Heri
.u
lib.u
lib.uKurniawan, terima kasihiguntuk
libRosyidi
i
i
i
g
g
i
i
://d
://d
://d
segala
httptelah kalian
httphidup dan kekeluargaan yang
http kebersamaan, pembelajaran
.u
gilib
i
d
/
/
:
Yuliana, Retno Wulandari,
.id/Sudarmono, Khoirul
.id/ Iva Kurniawati, Alfa Rianto,
tp
ht
ht
berikan;
/
/
.id/ Dani Fitri, Ivo Ayu .ac.id/
Amalia
cTiara
c.id Pratiwi, Siti Aisyah, Nisa
c.id12. sahabat terbaik, Rizkij.a
a
a
.
.
j
j
nej
ne
ne
ne
u
u
u
u
.
.
.
.
b
b
b
b
li
li
li
li
Permatasari,
digiUwi,
digi Kaltsum, Shanti, Dera,pTiara,
digi Ratih Ika Maharani, Yulip:Yuliani
digi
/
/
/
/
/
/
/
/
:
:
:
p
p
t
htt
htt
htt
terimakasih
atas segala doa dan dukungan
yang diberikan;
ht
13. Universitas Jember atas bantuannya melalui Hibah Bersaing 2011 (dana DIPA
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
Universitas Jember
Nomor:
271/H25.3.1/PL.6/2011);
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
14. semua:/pihak
penyelesaian
/dig yang telah membantu tdengan
://di
://di tulus dan ikhlas dalamttp
p
p
t
t
t
h
h
h
d/
ac.i
skripsi.
Penulis menyadari bahwa
skripsi ini masih jauh dari
sempurna, untuk itu
.id/
.id/
d/
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
ht
/
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne tangan terbuka penulisbmenerima
dengan senang hati.udan
saran dan kritik yang
.une
.une
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://dimenyempurnakan skripsittini.
bergunattuntuk
http
h p
h p
ht
Akhir kata, semoga skripsi ini dapat bermanfaat dan memberikan tambahan
/
/
/
bagi yang membacanya.
.idpengetahuan
c.id
c.id
a
a
.
.
j
j
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
://di
://di
http
http
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
Jember,
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
Februari 2013
d/
ac.i
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
http
ht
Penulis
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpx
http
tp
.u
gilib
i
d
/
/
:
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
b.u
b.
HALAMAN MOTO ....................................................................................
/
/
iii
HALAMAN PENGESAHAN .....................................................................
vi
id/
.ac.
lib.u
Halaman ej.ac.
un
HALAMAN/dJUDUL
igili
igili
igili ...................................................................................
d
d
/
/
/
/
/
:
:
:
http
http
http PERSEMBAHAN .................................................................
HALAMAN
ii
id
.ac.
id
.ac.
ht
.id/
c
ej
ej
HALAMAN PERNYATAAN
.....................................................................
iv unej.a
n
n
u
u
.
.
.
igvilib
igilib
igilib
d
d
d
/
/
/
HALAMAN
PEMBIMBINGAN
................................................................
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ht
/
/
/
/
..............................................................................................
vii
.idRINGKASAN
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
PRAKATA ...................................................................................................
ixlib.un
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
i
g
g
g
://di xi
://di
://di
DAFTAR
http
http
http ISI ................................................................................................
ht
nej
digi
tp://
ht
id/
id/
b.u
u
ilib.
dig
tp://
.u
ac.
nej.
ac.
nej.
ac
nej.
http
id/
id/
ac.
nej.
.id/
gilib
i
d
/
/
:
DAFTAR
http ISI
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
DAFTAR GAMBAR ...................................................................................
xiii
/
/
/
/
xiv
c.id
c.id
c.id
c.idDAFTAR LAMPIRAN ...............................................................................
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une .........................................................................
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
BAB
1.
PENDAHULUAN
1
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h 1.1 Latar Belakang Masalahh........................................................
1
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
1.2 Rumusan Masalah ..................................................................
3
d/
ac.i
d/
ac.i
id/
.
1.3 Batasan Masalah
.....................................................................
3
j.ac
j.
j.
e
e
e
n
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib. Penelitian ....................................................................
g
g
g
i
i
i
1.4
Tujuan
4
d
d
d
/
/
/
:/
:/
:/
http
http
http
1.5 Manfaat Penelitian ..................................................................
ht
ht
4
2. TINJAUAN PUSTAKA
5
/
/
dBAB
id/
id/ .................................................................
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
2.1 Film Tipis
5 .une
.une
.uneTiO2 .......................................................................
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
g
i ilib
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
2.2
TiO
sebagai
Sensor
Gas
.........................................................
7
2
http
http
http
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
.id/
ac
nej.
/
2.4 Prekursor Titanium
.id/
c.id (IV) Isopropoxide (TTIP)c.....................
9
g
://di
tp
d/
ac.i
ej.
n
lib.u
i
g
i
d
8
a
nej.
a
nej.
u
u
2.5 Prekursor
ilib.
ilib. Au2O3 .....................................................................
.u
gilib
i
d
/
/
:
2.3 TiO2:Au ....................................................................................
tp://
id/
ac.
nej.
g
://di
.id/
ac
nej.
10 .u
gilib
i
d
/
/
:
p Pelarut Tetrahydrofuranh(THF)
ttp .............................................
http
htt2.6
11
2.7 Substrat Silikon (Si) ................................................................
12
ht
/
/
/
c.id
c.id
c.id
2.8 Wetting Layer
...........................................................................
13
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
xi
h
h
h
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
BAB 3. METODELOGI PENELITIAN ..................................................
20
3.1 Waktu dan Tempat
/
/ Penelitian ...............................................
20
BAB 4. HASIL DAN PEMBAHASAN ....................................................
23
/
4.1 Komposisi Kimia
Tipis TiO2:Au ..................................
.id/
.idFilm
23
id/
.ac.
nej
lib.u
.id/
ac
nej.
id
.ac.
id
.ac.
ac
nej.
ac
nej.
gi
://di
ht
.id/
c
ej
ej ........................................................................
3.2 Alat dan
Bahan
20 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig21
igilib
igilib Penelitian .................................................................
d
d
d
/
/
/
3.3
Prosedur
/
/
/
:
:
:
http
http
http
gi
://di
ht
.id/
ac
nej.
24 .u
gilib
i
d
/
/
:
http
http2:Au ............................................
http4.3 Sifat Optik Film Tipis TiO
27
BAB 5. KESIMPULAN DAN SARAN ......................................................
31
tp
ht
.id/
.id/
.id/ Spectroscopy ..........................................
c
c
c
2.11 Optical Reflectance
17
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g(EDS) ................................ //dig18
g
2.12/dEnergy
Dispersive Spectrometer
:
://di
:/ i
p
p
t
t
t
t
http
h
h
u
4.2 Struktur
lib....................................
lib.u Kristal Film Tipis TiO2:Au
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
15
dig
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
2.10 X-Ray Diffraction (XRD) ......................................................
j.
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
14
d/
ac.i
une
ilib.
.id/
p Spin Coating .............................................................................
http
http
htt2.9
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
tp://
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
/
/
5.1 Kesimpulan...............................................................................
31
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
5.2 Saran
.........................................................................................
31
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h
h PUSTAKA .................................................................................
DAFTAR
33
d/
ac.i
ej.
n
lib.u
i
g
i
d
tp://
ht
LAMPIRAN-LAMPIRAN
ht
......................................
50
/
/
/ ANALISA SPEKTRUM.idREFLEKTANSI
dD.
id/
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
E. KEGIATAN PENELITIAN
..............................................................
55 .une
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
g
i ilib
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ht
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
A. DATA EDS .........................................................................................
38
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
B. DATA://HR-XRD
.................................................................................
dig
://di 41
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h
h
d/
ac.i
C. DATA OPTIK ....................................................................................
45
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpxii
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
2.1
lib.u
.u
http
ht
id/
id/
id/
Halaman ej.ac.
n
b.u anatase ..................................................................
lib.u
lib.u
libentuk
i
i
i
g
g
g
TiO2 dalam
6
i
i
i
/d
/d
/d
ac.
nej.
ac.
nej.
ttp:/
ttp:/
ttp:/
2.2
h
h
h 2 dalam bentuk rutile......................................................................
TiO
6
2.3
Peristiwa pada permukaan /semikonduktor ..........................................
/
7
2.6
Struktur molekul THF ..........................................................................
11
id/
.ac.
id
.ac.
id
.ac.
ht
.id/
c
ej
ej .........................................................................
2.4 Struktur molekul
TTIP
9 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig11
igilib
igilib Au2O3 ........................................................................
d
d
d
/
/
/
2.5 Struktur
molekul
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ht
/
/
/
/
Struktur Si dalam dua dimensi
12
.id2.7
c.id
c.id
c.id .............................................................
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
e
2.8 Struktur Si ldalam
12lib.un
.un................................
.unetiga dimensi (kristal diamond)
b
b
i
i
l
i
i
i
g
g
g
://di 13
://di
://di
2.9 Bidang
http
http
http kisi 100 ....................................................................................
ht
nej
digi
tp://
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
DAFTAR
http GAMBAR
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
2.10 Peralatan spinner ..................................................................................
14
/
/
/
/
15
c.id
c.id
c.id
c.id2.11 Skema difraktometrij..............................................................................
a
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
e
.une
.undua
.xundari
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
2.12
Pantulan
sinar
suatu
perangkat
bidang
kisi
dimensi
...........
15
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
2.13 Sistem
High Resolution X-Ray Diffraction
(HR-XRD) .......................
16
2.14 Diagram sistem peralatan SEM dan EDS ............................................
id/
.
2.15 Sistem Energy Dispersive
X-Ray Spectrometer (EDS)
19
j.ac
j. ........................
j.
e
e
e
n
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
3.1 Alat :yang
digunakan
dalam
penelitian
.................................................
20
d
d
d
/
/
/
/
:/
:/
http
http
http
nej.
u
ilib.
dig
tp://
18
d/
ac.i
d/
ac.i
d/
ac.i
3.2
Bahan yang digunakan dalam penelitian..............................................
ht
ht
21
Diagram alir penelitian.........................................................................
21
/
/
d3.3
id/
id/
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne
4.1 Citra EDS dari.upermukaan
film tipis TiO2:Au dengan
.une
.une konsentrasi Au
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
i
di (d) 0,5 M .........................p://di 23
://dan
://d(a)
sebesar
0,1 M; (b) 0,2 M; (c) 0,4M
htt
http
http
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
4.2
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
4.2
o
Pola HR-XRD Film Tipis TiO2:Au pada Temperatur 500 C dengan
variasi konsentrasi Au
id/ (d) 0,5M
id/ 0,1 M; (b) 0,2 M; (c) 0,4 aMc.dan
c.(a)
a
.
.
j
j
ne Film Tipis a) TiO murni,
une
Spektrum iReflektansi
2 ilib. b) TiO2:Au (0,1 M),
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpxiii
http
tp
.u
28
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
.id/
25
gilib
i
d
/
/
:
g
://di
g
://di
ttp M), e) TiO2:Au (0,5 M) .........
http
hc)ttpTiO2:Au (0,2 M), d) TiO2:Auh(0,4
tp
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
lib.u
41
C. DATA OPTIK ....................................................................................
/
/
45
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpxiv
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
id
.ac.
ht
c
ej
ej
D. ANALISA SPEKTRUM
REFLEKTANSI ......................................
50 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig55
igilib
igilib ...............................................................................
d
d
d
/
/
/
E. DOKUMENTASI
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
.u
id
.ac.
ht
Halaman ej.ac.
n
lib.u
i
g
38
i
/d
ib
A. DATA /EDS
igilib
igil.........................................................................................
d
d
/
/
/
:/
:
:
http
http
http HR-XRD .................................................................................
B. DATA
id/
.ac.
nej
digi
tp://
http
id/
.u
u
ilib.
dig
tp://
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
ttp
DAFTARhLAMPIRAN
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
ht
ht
id/
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
KARAKTERISTIK OPTIK DAN STRUKTUR KRISTAL
FILM TIPIS TiO2:Au DITUMBUHKAN DENGAN
METODE SPIN COATING
.id/
.id/
ac
nej.
u
u
.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
tp
SKRIPSI
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Oleh
Oryza Ardhiarisca
NIM 081810201020
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
/
/
c.id
c.id
a
a
.
.
j
j
JURUSAN FISIKA
.une
.une
.u
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
ig
ILMU PENGETAHUANttALAM
MATEMATIKA DAN
FAKULTAS
://di
://d
://di
h p
http
http
.id/
ac
nej.
ht
UNIVERSITAS JEMBER
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
.id/
.id/
2013
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
d/
.un
ilib
//dig
tp:
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
ht
KARAKTERISTIK.idOPTIK
DAN STRUKTUR
/
/
id/ KRISTAL
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
FILM TIPIS
DENGAN
.une
.une
.une TiO2:Au DITUMBUHKAN
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
METODE SPIN
://di
://di COATING
://di
http
http
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
il
SKRIPSI
//dig
ac
nej.
.u
ib.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
:
tp
http
http
htdiajukan
guna melengkapi tugas akhir dan memenuhi salah satu syarat
tp
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
a
nej.
gilib
i
d
/
/
:
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
ht
i
/dig
/
:
p
t
t
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
d/
ac.i
ht
h
2013
.u
nej.
ac
nej.
id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
http
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
i
/dig
/
:
p
t
t
/
.id/JURUSAN FISIKA .ac.id/
c.id
a
.
j
j
une
u
.une
.PENGETAHUAN
.MATEMATIKA
b
b
b
i
i
i
l
l
l
FAKULTAS
DAN
ILMU
ALAM
i
i
i
g
ig
ig
://di
p://d
p://d
t
t
t
t
h
h
http
UNIVERSITAS JEMBER
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
lib.u
lib.u
h
d/
ac.i
tp
ac
nej.
ac
nej.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
u
ilib.
dig
tp://
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
digi
tp://
id/
ac.
nej.
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
oleh: ilib.u
g
Oryza Ardhiarisca
://di
p
t
t
NIMh081810201020
u
ilib.
dig
tp://
.u
http
id/
id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
ac.
nej.
.id/
a
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ht
untuk menyelesaikan Program Studi Fisika (S1)
d/
dan
gelar Sarjana Sains c.id/
c.imencapai
d/
ac.i
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
ilib.
dig
tp://
c.i
ej.a
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERSEMBAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
/
.id/
.id/
.iduntuk
.idSkripsi
c
c
c
c
ini
saya
persembahkan
:
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g
dig
//dig
1. Orangtuaku
dan Ir. Iskandar
:Hadiyanto,
://di
://di tercinta, Ir. Chonaini tAgustiningwati
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
h
h
h
ht
M.M., terima kasih atas kasih sayang, dukungan, nasihat dan doa yang senantiasa
/
/
id/ keberhasilanku;
.id/ mengiringi setiap langkah
c.id
c.id
c.bagi
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne kanak-kanak sampai dengan
.une
.une perguruan tinggi;
.utaman
2. guru-guruku sejak
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
3. Almamater
http
httpJember.
http Fakutas MIPA Universitas
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpii
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
ttp
hMOTO
ht
d/
d/
d/
.i
.i
Demi masa.
manusia berada dalam
ac.i
ackerugian,
acSungguh,
.
.
.
j
j
j
e
e
e
n kebajikan serta saling b.un
n yang beriman dan mengerjakan
kecuali orang-orang
lib.u
lib.u
i
i
g
g
igili
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
menasihati
untuk
kebenaran
dan
saling
menasihati
untuk
kesabaran
:
:
:
http
http 1-3)*)
http
(Al-‘Asr
ht
/
/
/
Sesungguhnya
c.id
c.id
c.id bersama kesulitan ada kemudahan.
a
a
a
.
.
.
j
j
j
Maka apabila engkau
une tetaplah bekerja keraslib.une
.urusan),
.une telah selesai (dari sesuatu
b
b
i
i
l
l
i
i
i
(untuk durusan
yang
lain),
dan
hanya
kepada
Tuhanmulah
engkau berharap
g
g
/dig
/di
/ i
/
/
/
*)
:
:
:
p
p
p
t
t
t
(Al-Insyirah
6-8)
ht
ht
ht
ht
/
/
/
.id
.id di bumi dan
.id kamu sebagai khalifah-khalifah
Dan Dialah yang menjadikan
j.ac
j.ac
j.ac
e
e
e
n
n
n
Dia mengangkat
sebagian kamu di atas
.u lain, untuk mengujimu atas
.u
lib.u
libyang
lib(derajat)
i
i
i
g
g
g
i
i
i
(karunia)
/dSesungguhnya Tuhanmu sangat
/dyang diberikan-Nya kepadamu.
://dcepat
ttp:/Maha Pengampun, Maha penyayang
ttp:/ hukuman dan sungguh,hDia
http
h
memberi
(Al-An’am 165) *)
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
Engkau menyinarihbumi
ttp
ttp
httpYa Allah, sinarilah hati kamihsebagaimana
tp
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
dengan cahaya matahari untuk selama-lamanya.
Ya Allah, tambahkanah cahaya kepadaku, berikanlah cahaya kepadaku dan
/
.id/
.idcahaya.
.id/ bagiku dan jadikanlah diriku
jadikanlah cahaya
c
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
-Amien- b.une
.une
.une
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
Departemen
Agama Republik Indonesia.
http
http 2002. Al-Qur’an dan Terjemahannya.
http
Surabaya: PT Mekar Surabaya.
*)
tp
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpiii
http
tp
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ht
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
.id/
.id/
.id/
lib.u
ac
nej.
:/
http
:/
http
.id/
ac
nej.
digi
tp://
/di
/di
/di
:/
http
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PERNYATAAN
http
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
jurusan : Fisika //S-1
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
menyatakan dengan usesungguhnya
bahwa skripsi yang
.une
.uneberjudul: Karakteristik Optik
. ne
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
i
i
dan Struktur
Film Tipis TiO2:AutpDitumbuhkan
dengan Metode tSpin
://dCoating
://di
://dKristal
ht p
ht
http
ht
/
/ mana pun, serta
/ pernah diajukan pada institusi
/
sumbernya, dan belum
.iddisebutkan
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e bertanggung jawab atas.ukeabsahan
ne
bukan karya jiplakan.
dan kebenaran isinya
.une
.unSaya
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
/dig tinggi.
/dig
://di
sesuaihdengan
ttp:/
ttp:/ sikap ilmiah yang harushdijunjung
http
ht
id/
.ac.
nej
lib.u
ac
nej.
.u
.u
/
id/ ini:
.id/
.bawah
.idSaya
c
c
c
yang
bertanda
tangan
di
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
nama : Oryza Ardhiarisca /dig
dig
:/
://di
p
t
tp://
t
http
h
NIM
: 081810201020
digi
tp://
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
adalah benar-benar hasil karya sendiri, kecuali jika dalam pengutipan substansi
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
Demikian pernyataan ini saya buat dengan sebenarnya, tanpa adanya tekanan
/
/
/
/
c.id sanksi akademik jika j.ac.id
c.idpun serta bersedia mendapatkan
c.iddan paksaan dari pihak mana
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne
.une
.une
.uhari
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
ternyata
di
kemudian
pernyataan
ini
tidak
benar.
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpiv
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
lib.u
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
Oryza Ardhiarisca
p
t
ht
NIM 081810201020
h
h
ht
.id/
ac
nej.
lib.u
lib.u
i
/dig
/
:
p
t
t
lib.u
.id/
.id/
lib.u
ac.
nej.
igi
Jember, Februari :2013
d
/
/
http
Yang menyatakan,
ht
.id/
ac
nej.
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
id/
id/
id/
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
u
ilib.
dig
tp://
.id/
ac
nej.
lib.u
digi
tp://
ht
id/
id/
ac.
nej.
ac.
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
/
/
/
:/
:/
OPTIK
ttp:/
http
httpDAN STRUKTUR KRISTAL
hKARAKTERISTIK
FILM TIPIS TiO2:Au DITUMBUHKAN DENGAN
METODE
SPIN COATING /
/
/
d
i
.
c.id
c.id
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
http
http
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
http
ht
.u
.u
.u
.u
ht
.id/
.id/
.id/
.id/
tp
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
SKRIPSI
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
Oleh
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
/
.id/ Oryza Ardhiarisca
c.id
a
.
j
NIM 081810201020
.une
b
i
l
i
g
://di
p
t
t
h
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
u
ilib.
dig
tp://
ac.
nej.
/
.id II
Dosen Pembimbing
j.ac
.une
.u
ilib
//dig
ilib
//dig
http
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
ht
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpv
ac.
nej.
ac
nej.
http
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
.id/
.u
.u
.u
ht
.id/
ac
nej.
.u
ac
nej.
lib.u
h
.id/
ac
nej.
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
http
.id/
gilib
i
d
/
/
:
.une
ilib
//dig
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
/
.u
tp
ht
.id
: Endhah Purwandari,
j.ac S. Si., M.Si
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
u
ht
.id/
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
: Dr. Edy Supriyanto, S. Si., M. Si
http
.id/
ac
nej.
id/
ilib.
:
:
tp:
ht
dig
tp://
ht
Dosen Pembimbing I
.id/
http
ac.
nej.
dig
tp://
ht
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
Pembimbing:ilib.u
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
id/
id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PENGESAHAN
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
.id/Film Tipis TiO2:Au .ac.id/
.id/ Optik dan Struktur Kristal
.idSkripsi
c
c
c
berjudul
Karakteristik
a
a
a
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
i
i
i
i
g
g diuji dan disahkan oleh//dFakultas
g
Ditumbuhkan
dengan
Metode Spin Coating/dtelah
dig
: i
:/ i
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h Universitas Jember pada: h
h
Matematika
dan Ilmu Pengetahuan Alam
Hari
nej
.u
ilib
//dig
:
id/
.ac.
tanggal :
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
httSupriyanto, S. Si., M. Si
Dr. Edy
NIP. 19671215 199802 1 001
.id/
c
a
.
Anggota I,
nej
u
ilib.
dig
tp://
nej.
u
.
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
id/
ac.
nej.
Dekan,
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
ht
.id/
une
.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpvi
id/
ht
.id/
ac
nej.
Prof. Drs. Kusno, DEA, Ph. D.
NIP
.id/ 19610108 198602 1 001 .ac.id/
j
j.ac
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
h
.u
http
tp
ht
ht
lib.u
ttp:
h
Mengesahkan
gilib
i
d
/
/
:
une
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
i
/dig
/
:
p
t
t
http
.
gilib
i
d
/
/
:
id/
.un
ilib
//dig
.u
http
ht
Puguh Hiskiawan,
id/ S. Si., M. Si.
.
c
a
NIP. 19741215
200212 1 001
ej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
tp
p
.id/
c
a
.
Anggota
j II,
.une
b
i
l
i
ig
ht
.id/
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
d
tp://
.id/
ac
nej.
tt Si., M.Si
Endhah Purwandari,hS.
NIP. 19811111 200501 2 001
u
ilib.
Priyantari, S. Si., M. Si. d/
/
idNurul
.
c
ac.i
a
NIP. 19700327 199702 e2j.001
j.
e
n
n
u
u
ilib.
ilib.
g
g
i
i
d
d
://
tp://
http
gilib
i
d
/
/
:
http
ac.
nej.
ht
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
dig
tp://
.id/
ac
nej.
.u
p
tp
ht
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
Sekretaris (Dosen Pembimbing
II),
http
http
.u
.u
ac
nej.
.u
.u
.id/
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
Ketuah(Dosen
ttp Pembimbing I),
tp
ht
.id/
Tim Penguji:
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ac
nej.
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
d
d
d
tempat tp: :Fakultas
Matematika dan IlmutpPengetahuan
Alam UniversitastpJember
//
://
://
ht
ht
ht
tp:
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
gilib
i
d
/
/
:
http
ht
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
tp
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
RINGKASAN
http
gilib
i
d
/
/
:
http
Karakteristik Optik dan Struktur Kristal Film Tipis TiO2:Au Ditumbuhkan
dengan Metode Spin Coating; Oryza Ardhiarisca, 081810201020; 2013: 59
halaman; Jurusan Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam
Universitas Jember.
Emisi kendaraan bermotor dan industri memicu meningkatnya polusi udara.
Oleh karena itu, diperlukan upaya untuk mengontrol polusi udara yang dapat
dilakukan dengan menggunakan sensor gas. Salah satu bahan yang dapat digunakan
sebagai lapisan sensitif pada sensor adalah TiO2:Au. Tujuan penelitian ini adalah
untuk menumbuhkan film tipis TiO2:Au dengan metode spin coating dan
mengarakterisasi sifat optik dan struktur kristal film dengan memberikan variasi
konsentrasi doping Au.
Penumbuhan film tipis TiO2:Au diawali dengan preparasi substrat dan
preparasi prekursor. Dalam preparasi prekursor, bahan Au2O3 dilarutkan dalam
pelarut tetrahydrofuran (THF, C4H8O) dan diberikan variasi konsentrasi Au yaitu 0,1
M; 0,2 M; 0,4 M; dan 0,5 M. Larutan yang diperoleh kemudian dicampur dengan
Titanium (IV) Isoproxide atau [Ti{OCH(CH3)2}4] (97%) dengan perbandingan 1:4.
Hasil akhirnya berupa gel. Setelah preparasi substrat, substrat diletakkan di atas
spinner dan dilapisi dengan wetting layer TTIP. Langkah selanjutnya adalah
penumbuhan film tipis di atas substrat dengan laju spinner 1500 rpm selama satu
menit.
Tahap berikutnya dilakukan penguapan pelarut dengan memanaskan lapisan
tipis pada temperatur 100oC dengan menggunakan furnace. Selanjutnya dilakukan
deposisi film tipis dengan memanaskan lapisan tipis pada temperatur 500oC di dalam
furnace. Hasil akhir dari proses ini adalah film tipis TiO2:Au yang siap untuk
vii
ac
nej.
ht
dikarakterisasi menggunakan High Resolution X-Ray Diffraction (HR-XRD), Optical
Reflectance Spectroscopy dan Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS).
Kandungan atom Au pada film tipis TiO2:Au dengan konsentrasi Au 0,1 M;
0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M secara berturut-turut adalah 0,01%, 0,02%, 0,04% dan
0,05%. Adapun struktur kristal dari film yang dihasilkan menunjukkan bahwa pada
konsentrasi Au sebesar 0,1 M dan 0,2 M dihasilkan bidang kristal tunggal rutile (002)
(R(002)). Sedangkan pada konsentrasi Au sebesar 0,4 M dan 0,5 M dihasilkan bidang
polikristal. Hal ini menunjukkan bahwa pemberian dopan Au dengan variasi 0,4 M
dan 0,5 M mengindikasikan kehadiran doping Au yang cukup untuk menghasilkan
puncak baru. Berkaitan dengan sifat optik dari film tipis TiO2:Au, spektrum
reflektansi bahan menunjukkan adanya keteraturan pola puncak osilasi film tipis pada
variasi konsentrasi Au sebesar 0,1 M; 0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M. Hal ini
mengindikasikan homogenitas dari film yang dihasilkan. Semakin banyak doping Au
yang diberikan pada film dapat menghasilkan film yang semakin tebal. Hal ini
ditunjukkan dari semakin banyaknya puncak osilasi film. Disamping itu, berdasarkan
spektrum reflektansi dari film tipis TiO2:Au, diperoleh lebar celah pita energi film
tipis TiO2:Au dengan konsentrasi Au sebesar 0,1 M; 0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M
berturut-turut adalah 3,50 eV; 3,41 eV; 3,39 eV dan 3,37 eV. Sedangkan film tipis
TiO2:Au murni tanpa doping memiliki lebar celah pita energi 3,78 eV.
Hasil penelitian ini diperoleh sebagai berikut: peningkatan persentase
kandungan atom Au dalam film tipis TiO2:Au, penurunan lebar celah pita energi film
perubahan stuktur kristal
tipis, dan
film tipis disebabkan oleh peningkatan
konsentrasi Au. Film tipis TiO2:Au dengan konsentrasi 0,1 M dan 0,2 M dapat
diaplikasikan sebagai divais sensor, karena mempunyai butiran film yang homogen
dan struktur kristal tunggal.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpviii
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
PRAKATA
http
ht
id/
id/
id/
.
.
.
Alhamdulillahhirobilalamin,
segala syukur kehadirat
j.ac ALLAH SWT atas nej.ac
j.ac
e
e
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
rahmat dan hidayah-Nya,
sehingga penulis dapat
/dig judul
/dig menyelesaikan skripsi dengan
/dig
ac.
nej.
u
ilib.
ac
nej.
.u
.u
id/
dig
tp://
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ttp:/
ttp:/
ttp:/
ht
h
“Karakteristik
Optik dan Strukturh Kristal Film Tipis TiO2:AuhDitumbuhkan
dengan Metode Spin Coating”./ Karya ilmiah ini disusun sebagai
/ salah satu syarat
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
untuk memperoleh gelar
dan
.une
.unedi Fakultas Matematikailib
.une Sarjana Sains JurusaniliFisika
b
b
i
l
i
g
g
g
Ilmu Pengetahuan
://di
://di
://di Alam Universitas Jember.
http
http
http
ht
/
/
/
dorongan, nasehat, saran
Oleh karena
id/
.idberupa
c.id
c.membantu.
c.id maupun kritik yang sangat
a
a
a
.
.
.
j
j
j
nepenulis ingin mengucapkanb.terima
une kasih kepada :
itu pada kesempatan
.une
.uini
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
ig
ig
://di
p://dselaku Ketua Jurusan Fisika
p://d Supriyanto, S. Si., M.httSi.,
1. Dr.
http Fakultas
httEdy
ht
id/
.ac.
nej
lib.u
digi
tp://
Dalam penulisan skripsi ini tidak lepas dari bantuan semua pihak, baik itu
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam
d/
ac.i
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
Pembimbing I;
Universitas Jember dan Dosen
ac
nej.
nej.
u
.id/
.id/
d/
ac.i
u
u
.
.
ib.
2. Endhah Purwandari,
S. Si., M. Si., selaku
igiltelah
igilibDosen Pembimbing II yang
igilib
p://d
p://d
p://d
tp
ac
nej.
httini;
htt dalam menyelesaikan skripsi
htt
memberikan
bimbingan dan arahannya
ht
3. Nurul Priyantari, S. Si., M. Si. selaku Dosen Penguji I dan Puguh Hiskiawan,
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
S. Si., M. Si. selaku
arahannya dalam nej
j
jDosen Penguji II yang telahnmemberikan
u
.u e
.une
b
b
i
i
l
l
ilib.
i
i
g
g
g
i
i
i
menyelesaikan
skripsi
ini;
d
d
d
/
/
/
:/
:/
:/
http
http
http
4. Drs. Yuda C. Hariadi, M. Sc. Phd., selaku Dosen Pembimbing Akademik yang
d/
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
telah bersedia meluangkand/waktu untuk memberikan bimbingan
dengan penuh
/
id/
i
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
kesabaran;
.une
.une
.une
igilib
igilib
igilib
/d
/d
/d
5. seluruh
ttp:/ Fakultas
ttp:/ Staf Karyawan di lingkungan
ttp:/ Bapak dan Ibu dosen beserta
tp:
ht
ht
h
h
h
Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Jember;
/
/
/ kedua orang tua, Ayahanda
id/ M. dan Ibunda Ir.
.id6.
c.id
c.M.
c.id Ir. Iskandar Hadiyanto,
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
.une
.undoa
.une
Chonaini Agustiningwati,
yang selalu memberikan
dan dukungan;
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
7. adikku
http dan Naufal Ardhisabillahhttpyang selalu
http Ardhizea Maysmugaffillah
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
memberikan dukungan;
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpix
http
tp
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ht
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
.u
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
tp Gaffur,
8. seluruh
httpmenemaniku, Djaminah, M.htAbdul
http keluarga besarku yang selalu
tp
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
Badria Elok Purnawati, S. Sos., Aini purnaningwati, E.A. Zaenal Marzuki, S. H.,
id/
id/
id/
.
M. H., Farida Kurniawati,
.ac. H, S. Pd., M. Pd., Reni nej.ac.
jYudi
j.ac S. H., Aswaji, S. H., Soni
e
e
n
n
u
.u
lib.u
ilib.
Mauren /dMargareth,
Aulia Yudhawati /Arini,
Faiqoh
igilib
digi Akbarian Aryudhiansyah,
/dig
ttp:/
ttp:/
ttp:/
ht
h
h
Rusdianawati
Lestari, Hisyam Fadlullah,
atas segala dukungan danh doanya;
9. Nur Faizin yang selalu memberikan
motivasi dan menemaniku
/ setiap waktu;
/
/
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
10. rekan kerjaku Dewi
ne S. Si. yang telah banyak
.une
.uZahroh,
.uneRia Agustin dan Fatimatuz
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
membantu
://di
://di
://di dan memotivasi;
http
http
http
id/
.ac.
nej
lib.u
digi
tp://
11. kawan seperjuangan sejak masuk kuliah: Yuliatin, Wira Dian, Hery Indria, Dewi
.id/
ac
nej.
ac
nej.
ac
nej.
.id/
ac
nej.
Marzuki, Jalal
S., A. Syaiful Lutfi, Heri
.u
lib.u
lib.uKurniawan, terima kasihiguntuk
libRosyidi
i
i
i
g
g
i
i
://d
://d
://d
segala
httptelah kalian
httphidup dan kekeluargaan yang
http kebersamaan, pembelajaran
.u
gilib
i
d
/
/
:
Yuliana, Retno Wulandari,
.id/Sudarmono, Khoirul
.id/ Iva Kurniawati, Alfa Rianto,
tp
ht
ht
berikan;
/
/
.id/ Dani Fitri, Ivo Ayu .ac.id/
Amalia
cTiara
c.id Pratiwi, Siti Aisyah, Nisa
c.id12. sahabat terbaik, Rizkij.a
a
a
.
.
j
j
nej
ne
ne
ne
u
u
u
u
.
.
.
.
b
b
b
b
li
li
li
li
Permatasari,
digiUwi,
digi Kaltsum, Shanti, Dera,pTiara,
digi Ratih Ika Maharani, Yulip:Yuliani
digi
/
/
/
/
/
/
/
/
:
:
:
p
p
t
htt
htt
htt
terimakasih
atas segala doa dan dukungan
yang diberikan;
ht
13. Universitas Jember atas bantuannya melalui Hibah Bersaing 2011 (dana DIPA
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
Universitas Jember
Nomor:
271/H25.3.1/PL.6/2011);
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
14. semua:/pihak
penyelesaian
/dig yang telah membantu tdengan
://di
://di tulus dan ikhlas dalamttp
p
p
t
t
t
h
h
h
d/
ac.i
skripsi.
Penulis menyadari bahwa
skripsi ini masih jauh dari
sempurna, untuk itu
.id/
.id/
d/
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
ht
/
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne tangan terbuka penulisbmenerima
dengan senang hati.udan
saran dan kritik yang
.une
.une
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://dimenyempurnakan skripsittini.
bergunattuntuk
http
h p
h p
ht
Akhir kata, semoga skripsi ini dapat bermanfaat dan memberikan tambahan
/
/
/
bagi yang membacanya.
.idpengetahuan
c.id
c.id
a
a
.
.
j
j
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
://di
://di
http
http
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
Jember,
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
Februari 2013
d/
ac.i
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
http
ht
Penulis
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpx
http
tp
.u
gilib
i
d
/
/
:
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
d/
ac.i
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
b.u
b.
HALAMAN MOTO ....................................................................................
/
/
iii
HALAMAN PENGESAHAN .....................................................................
vi
id/
.ac.
lib.u
Halaman ej.ac.
un
HALAMAN/dJUDUL
igili
igili
igili ...................................................................................
d
d
/
/
/
/
/
:
:
:
http
http
http PERSEMBAHAN .................................................................
HALAMAN
ii
id
.ac.
id
.ac.
ht
.id/
c
ej
ej
HALAMAN PERNYATAAN
.....................................................................
iv unej.a
n
n
u
u
.
.
.
igvilib
igilib
igilib
d
d
d
/
/
/
HALAMAN
PEMBIMBINGAN
................................................................
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ht
/
/
/
/
..............................................................................................
vii
.idRINGKASAN
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
PRAKATA ...................................................................................................
ixlib.un
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
i
g
g
g
://di xi
://di
://di
DAFTAR
http
http
http ISI ................................................................................................
ht
nej
digi
tp://
ht
id/
id/
b.u
u
ilib.
dig
tp://
.u
ac.
nej.
ac.
nej.
ac
nej.
http
id/
id/
ac.
nej.
.id/
gilib
i
d
/
/
:
DAFTAR
http ISI
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
DAFTAR GAMBAR ...................................................................................
xiii
/
/
/
/
xiv
c.id
c.id
c.id
c.idDAFTAR LAMPIRAN ...............................................................................
a
a
a
a
.
.
.
.
j
j
j
j
.une
.une
.une .........................................................................
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
BAB
1.
PENDAHULUAN
1
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h 1.1 Latar Belakang Masalahh........................................................
1
d/
ac.i
nej.
u
ilib.
dig
tp://
1.2 Rumusan Masalah ..................................................................
3
d/
ac.i
d/
ac.i
id/
.
1.3 Batasan Masalah
.....................................................................
3
j.ac
j.
j.
e
e
e
n
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib. Penelitian ....................................................................
g
g
g
i
i
i
1.4
Tujuan
4
d
d
d
/
/
/
:/
:/
:/
http
http
http
1.5 Manfaat Penelitian ..................................................................
ht
ht
4
2. TINJAUAN PUSTAKA
5
/
/
dBAB
id/
id/ .................................................................
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
2.1 Film Tipis
5 .une
.une
.uneTiO2 .......................................................................
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
g
i ilib
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
2.2
TiO
sebagai
Sensor
Gas
.........................................................
7
2
http
http
http
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
.id/
ac
nej.
/
2.4 Prekursor Titanium
.id/
c.id (IV) Isopropoxide (TTIP)c.....................
9
g
://di
tp
d/
ac.i
ej.
n
lib.u
i
g
i
d
8
a
nej.
a
nej.
u
u
2.5 Prekursor
ilib.
ilib. Au2O3 .....................................................................
.u
gilib
i
d
/
/
:
2.3 TiO2:Au ....................................................................................
tp://
id/
ac.
nej.
g
://di
.id/
ac
nej.
10 .u
gilib
i
d
/
/
:
p Pelarut Tetrahydrofuranh(THF)
ttp .............................................
http
htt2.6
11
2.7 Substrat Silikon (Si) ................................................................
12
ht
/
/
/
c.id
c.id
c.id
2.8 Wetting Layer
...........................................................................
13
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
xi
h
h
h
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ht
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
BAB 3. METODELOGI PENELITIAN ..................................................
20
3.1 Waktu dan Tempat
/
/ Penelitian ...............................................
20
BAB 4. HASIL DAN PEMBAHASAN ....................................................
23
/
4.1 Komposisi Kimia
Tipis TiO2:Au ..................................
.id/
.idFilm
23
id/
.ac.
nej
lib.u
.id/
ac
nej.
id
.ac.
id
.ac.
ac
nej.
ac
nej.
gi
://di
ht
.id/
c
ej
ej ........................................................................
3.2 Alat dan
Bahan
20 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig21
igilib
igilib Penelitian .................................................................
d
d
d
/
/
/
3.3
Prosedur
/
/
/
:
:
:
http
http
http
gi
://di
ht
.id/
ac
nej.
24 .u
gilib
i
d
/
/
:
http
http2:Au ............................................
http4.3 Sifat Optik Film Tipis TiO
27
BAB 5. KESIMPULAN DAN SARAN ......................................................
31
tp
ht
.id/
.id/
.id/ Spectroscopy ..........................................
c
c
c
2.11 Optical Reflectance
17
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g(EDS) ................................ //dig18
g
2.12/dEnergy
Dispersive Spectrometer
:
://di
:/ i
p
p
t
t
t
t
http
h
h
u
4.2 Struktur
lib....................................
lib.u Kristal Film Tipis TiO2:Au
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
15
dig
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
2.10 X-Ray Diffraction (XRD) ......................................................
j.
digi
tp://
gilib
i
d
/
/
:
14
d/
ac.i
une
ilib.
.id/
p Spin Coating .............................................................................
http
http
htt2.9
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
tp://
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ht
/
/
/
5.1 Kesimpulan...............................................................................
31
c.id
c.id
c.id
a
a
a
.
.
.
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
5.2 Saran
.........................................................................................
31
i
i
i
g
g
g
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h
h PUSTAKA .................................................................................
DAFTAR
33
d/
ac.i
ej.
n
lib.u
i
g
i
d
tp://
ht
LAMPIRAN-LAMPIRAN
ht
......................................
50
/
/
/ ANALISA SPEKTRUM.idREFLEKTANSI
dD.
id/
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
E. KEGIATAN PENELITIAN
..............................................................
55 .une
.une
.une
b
b
i
i
l
l
i
i
g
g
g
i ilib
i
i
d
d
d
/
/
/
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ht
nej.
u
ilib.
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
c
c
c
a
a
a
.
.
.
A. DATA EDS .........................................................................................
38
j
j
j
.une
.une
.une
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
B. DATA://HR-XRD
.................................................................................
dig
://di 41
://di
p
p
p
t
t
t
t
t
t
h
h
h
d/
ac.i
C. DATA OPTIK ....................................................................................
45
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpxii
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
2.1
lib.u
.u
http
ht
id/
id/
id/
Halaman ej.ac.
n
b.u anatase ..................................................................
lib.u
lib.u
libentuk
i
i
i
g
g
g
TiO2 dalam
6
i
i
i
/d
/d
/d
ac.
nej.
ac.
nej.
ttp:/
ttp:/
ttp:/
2.2
h
h
h 2 dalam bentuk rutile......................................................................
TiO
6
2.3
Peristiwa pada permukaan /semikonduktor ..........................................
/
7
2.6
Struktur molekul THF ..........................................................................
11
id/
.ac.
id
.ac.
id
.ac.
ht
.id/
c
ej
ej .........................................................................
2.4 Struktur molekul
TTIP
9 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig11
igilib
igilib Au2O3 ........................................................................
d
d
d
/
/
/
2.5 Struktur
molekul
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ht
/
/
/
/
Struktur Si dalam dua dimensi
12
.id2.7
c.id
c.id
c.id .............................................................
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
e
2.8 Struktur Si ldalam
12lib.un
.un................................
.unetiga dimensi (kristal diamond)
b
b
i
i
l
i
i
i
g
g
g
://di 13
://di
://di
2.9 Bidang
http
http
http kisi 100 ....................................................................................
ht
nej
digi
tp://
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
DAFTAR
http GAMBAR
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
tp
2.10 Peralatan spinner ..................................................................................
14
/
/
/
/
15
c.id
c.id
c.id
c.id2.11 Skema difraktometrij..............................................................................
a
a
a
a
.
.
.
j
j
j
e
e
.une
.undua
.xundari
.une
b
b
b
b
i
i
i
i
l
l
l
l
2.12
Pantulan
sinar
suatu
perangkat
bidang
kisi
dimensi
...........
15
i
i
i
i
g
g
g
dig
://di
://di
://di
p
p
p
t
t
t
tp://
t
t
t
h
h
h
2.13 Sistem
High Resolution X-Ray Diffraction
(HR-XRD) .......................
16
2.14 Diagram sistem peralatan SEM dan EDS ............................................
id/
.
2.15 Sistem Energy Dispersive
X-Ray Spectrometer (EDS)
19
j.ac
j. ........................
j.
e
e
e
n
n
n
u
u
u
ilib.
ilib.
ilib.
g
g
g
i
i
i
3.1 Alat :yang
digunakan
dalam
penelitian
.................................................
20
d
d
d
/
/
/
/
:/
:/
http
http
http
nej.
u
ilib.
dig
tp://
18
d/
ac.i
d/
ac.i
d/
ac.i
3.2
Bahan yang digunakan dalam penelitian..............................................
ht
ht
21
Diagram alir penelitian.........................................................................
21
/
/
d3.3
id/
id/
.
.
c.id
c
c
a
a
a
.
.
.
j
j
j
ne
4.1 Citra EDS dari.upermukaan
film tipis TiO2:Au dengan
.une
.une konsentrasi Au
b
b
b
i
i
i
l
l
l
i
i
i
g
g
g
i
di (d) 0,5 M .........................p://di 23
://dan
://d(a)
sebesar
0,1 M; (b) 0,2 M; (c) 0,4M
htt
http
http
c.i
ej.a
.un
ilib
//dig
tp:
4.2
.id/
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
4.2
o
Pola HR-XRD Film Tipis TiO2:Au pada Temperatur 500 C dengan
variasi konsentrasi Au
id/ (d) 0,5M
id/ 0,1 M; (b) 0,2 M; (c) 0,4 aMc.dan
c.(a)
a
.
.
j
j
ne Film Tipis a) TiO murni,
une
Spektrum iReflektansi
2 ilib. b) TiO2:Au (0,1 M),
lib.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
id/
ac.
nej.
ht
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpxiii
http
tp
.u
28
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
ac
nej.
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
.id/
25
gilib
i
d
/
/
:
g
://di
g
://di
ttp M), e) TiO2:Au (0,5 M) .........
http
hc)ttpTiO2:Au (0,2 M), d) TiO2:Auh(0,4
tp
ht
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
lib.u
41
C. DATA OPTIK ....................................................................................
/
/
45
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
i
/dig
/
:
p
t
t
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
id/
ac.
nej.
.id/
id/
ac.
nej.
ac
nej.
.u
gilib
i
d
/
/
:
http
httpxiv
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
gilib
i
d
/
/
:
http
.id/
ac
nej.
ac
nej.
.u
.u
http
.id/
ac
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
lib.u
h
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
h
h
gilib
i
d
/
/
:
ac
nej.
lib.u
lib.u
ac
nej.
.id/
.id/
ac
nej.
i
/dig
/
:
p
t
t
ht
ht
.id/
lib.u
digi
tp://
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
.id/
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ht
ht
id/
ac.
nej.
u
ilib.
dig
tp://
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
id/
u
ilib.
ac
nej.
.u
.u
http
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
.u
dig
tp://
.id/
.id/
.id/
.id/
gilib
i
d
/
/
:
id
.ac.
ht
c
ej
ej
D. ANALISA SPEKTRUM
REFLEKTANSI ......................................
50 unej.a
n
n
u
u
.
.
.
ilib
ig55
igilib
igilib ...............................................................................
d
d
d
/
/
/
E. DOKUMENTASI
/
/
/
:
:
:
http
http
http
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
id/
.u
id
.ac.
ht
Halaman ej.ac.
n
lib.u
i
g
38
i
/d
ib
A. DATA /EDS
igilib
igil.........................................................................................
d
d
/
/
/
:/
:
:
http
http
http HR-XRD .................................................................................
B. DATA
id/
.ac.
nej
digi
tp://
http
id/
.u
u
ilib.
dig
tp://
gilib
i
d
/
/
:
ac.
nej.
ac.
nej.
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
id/
id/
ac.
nej.
.id/
ac
nej.
ttp
DAFTARhLAMPIRAN
http
tp
ht
.id/
ac
nej.
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.u
http
.id/
.id/
ac
nej.
ac
nej.
gilib
i
d
/
/
:
http
http
tp
ac
nej.
.u
.u
.u
gilib
i
d
/
/
:
.id/
.id/
.id/
.id/
ac
nej.
id/
ac.
nej.
ht
id/
ac.
nej.