Analisis Struktur Lapisan Tipis Titanium Nitrida (TiN) Dengan Metode Rietveld - Universitas Negeri Padang Repository
LAPORAN PENELlTlAN
ANALISIS STRUKTUR LAPISAN TIPIS TITANIUM
NITRIDA (TiN) DENGAN METODE RIETVELD
;{
;L,;!; 1:\
.. . . _
.,-
Oleh :
.
.
...
...
. .
.
.
_ --
.
. -.-
... - . *
Drs. JON HENDRI, M.Si.
( Ketua Peneliti )
Penelitian ini dibiayai oleh :
Dana Rutin IKlP Padang
Tahun Anggaran I99811999
Surat perjanjian kerja No. 41/K12.21KUIRutinll998
Tanggal 20 Juli 1998
INSTITUT KEGURUAN DAN ILMU PENDlDlKAN PADANG
1999
--.
---.-
ANALISIS STRUKTUR LAPISAN TIPIS TITANIUM
NITRIDA (TIN) DENGAN METODE RIETVELD
PERSONALIA PENELITIAN :
Ketua
: Drs. Jon I-lcndri, M.Si
Anggota : Drs. M. Thaufiq Pinat, MDP
Tujunn pcnclitinn ini a(lnl;~li~nclnnkaipcrnngLn1 lunnk Program Mclodc Rictvcld unruk
pcnglinlusnn tlntn tlifrnksi sinnr-S gun3 n~cngnnnlisissltuktur lnpisnn tipis 'I'iN scpcsti
pnramctcr kisi, faktos Ictnpcrntur, tcmpnt lictlutlukan, IuLkan
dcngari difrah~omctcr sinnr-S tcrscb~lt nicmpllnyni irltcrvnl 0,040' tcrhndap sudut
dfiaksi (20) dan bcrgerak mulai 10,0° sampni 100,04O, beratli data mentah difraksi
sinnr-S scbanyak
- 2252 titik.
Fo~rnntnumerik data tcrscbut salu hatis telrlui dali
dclnpan data intcrisitns tcrliatlal~ inlcrvnl sudul dili-nksi(20),
bcnll~k fonnnt data
tcrscbut pada I ~ m p i r a n4. Alat ini sclnin mcnghnsikan data yi vs 20, juga mcmuat
hubungnn nntnra in~cnsi~as
pur~cak(I,) tcrhndap intcrval sudut tlifraksi (20) dalam
bcntuk numerik. Padn Lampiran G diperlihatkan pola data IK w 20 te~xcbutdsn
dibandingknn dengan poln daln sinnr-s. Ulituk lcbih jelasnya kondisi data difraksi
sinar-X, patla Gambar 83 diperlihntkan hasil pengukurnn tcrscbut.
Di dalam proses anlzlisis Rictvcld format datanya bcrbcdn dcngan format data
difraksi sinar-X , yaitu satu bnris terditi dari sepuluh data intensitas tcrhadap interval
sudut difraksi (28), berarti langkah awal dalam pengolahan data atialah merubah format
data difrnksi sinar-X kc format data analisis Rietveld. Lampiran 7 akan mernperlihalkan
hasil perubahan format data difraksi sinar-X.
Setclah proscs pcrubahan format data selcsai, maka langkah selanjutnya proscs
pcnghalusm data difraksi sinar-X ynng sekarang formntnya sudnh berubnh men-jadi
format data mctodc Ricwcld. Langhah pcrtama mcnyinpknn bcrkns masukan dcngnn
mcmuat infolmasi tentang panjang gelombang yang digunakan, interval sudut difiaksi
(28)) konstanta kisi, koordinat atom, grup ruang, serta kondisi perbandingan antara
pola data difi-aksi sinar-X dengan pola data PDF dan lain-lain yang discsuaikan dcngan
pola kalkulasi, kcmudian parameter yang akan diperhalus dinktifian dengan membcri
angka yang sesuai dengan urutan penghalusan, sebagai contoh untuk parameter yang
akan diperhalus dengan urutan pertama sampai kesepuluh ditulis 11.00000, 21.00000,
31.00000, . . . . . . . 101.00000 be~hrut-turut,bila tidak diaktifkan ditulis 0.00000,
bcntuk format pada Lampiran 8.
Sctelah langkah di atas selesai, langkah berikutnya menjalankan program
analisis Rietveld dcngan komputer pribadi (PC), pertama yang dimintnnya adalah
bcrkas data bubuk analisis Rietveld yang intensitas telah tersusun terhadap sudut
difraksi (28), masing-masing intensitas dicatat pada tiap interval merupakan kumpulan
titik-titik yang akan membentuk grafik eksperimen (pengamatan). Pada penelitian ini
diberi kode tin.dat. Sclanjutnya program aknn merninta bcrkas masukan, pada
penelitian diberi kodc tin.inp, jika bcrkas mnsuknn ini telah dimasul&an kc progsam
analisis Rietveld, program memintn sntu berkas Ingi untuk tcmpnt mclctakknn informnsi
dari paramctcr-paranictcr ynng tclnh dipcrhalus dan parameter-pariunctcr ynng tidak
diperlialus, bentuk formatnya samn dcngnn format berkas masuknn. Pacla penelitian ini
dibcri kode tino.inp. Sctelah proscs ana
ANALISIS STRUKTUR LAPISAN TIPIS TITANIUM
NITRIDA (TiN) DENGAN METODE RIETVELD
;{
;L,;!; 1:\
.. . . _
.,-
Oleh :
.
.
...
...
. .
.
.
_ --
.
. -.-
... - . *
Drs. JON HENDRI, M.Si.
( Ketua Peneliti )
Penelitian ini dibiayai oleh :
Dana Rutin IKlP Padang
Tahun Anggaran I99811999
Surat perjanjian kerja No. 41/K12.21KUIRutinll998
Tanggal 20 Juli 1998
INSTITUT KEGURUAN DAN ILMU PENDlDlKAN PADANG
1999
--.
---.-
ANALISIS STRUKTUR LAPISAN TIPIS TITANIUM
NITRIDA (TIN) DENGAN METODE RIETVELD
PERSONALIA PENELITIAN :
Ketua
: Drs. Jon I-lcndri, M.Si
Anggota : Drs. M. Thaufiq Pinat, MDP
Tujunn pcnclitinn ini a(lnl;~li~nclnnkaipcrnngLn1 lunnk Program Mclodc Rictvcld unruk
pcnglinlusnn tlntn tlifrnksi sinnr-S gun3 n~cngnnnlisissltuktur lnpisnn tipis 'I'iN scpcsti
pnramctcr kisi, faktos Ictnpcrntur, tcmpnt lictlutlukan, IuLkan
dcngari difrah~omctcr sinnr-S tcrscb~lt nicmpllnyni irltcrvnl 0,040' tcrhndap sudut
dfiaksi (20) dan bcrgerak mulai 10,0° sampni 100,04O, beratli data mentah difraksi
sinnr-S scbanyak
- 2252 titik.
Fo~rnntnumerik data tcrscbut salu hatis telrlui dali
dclnpan data intcrisitns tcrliatlal~ inlcrvnl sudul dili-nksi(20),
bcnll~k fonnnt data
tcrscbut pada I ~ m p i r a n4. Alat ini sclnin mcnghnsikan data yi vs 20, juga mcmuat
hubungnn nntnra in~cnsi~as
pur~cak(I,) tcrhndap intcrval sudut tlifraksi (20) dalam
bcntuk numerik. Padn Lampiran G diperlihatkan pola data IK w 20 te~xcbutdsn
dibandingknn dengan poln daln sinnr-s. Ulituk lcbih jelasnya kondisi data difraksi
sinar-X, patla Gambar 83 diperlihntkan hasil pengukurnn tcrscbut.
Di dalam proses anlzlisis Rictvcld format datanya bcrbcdn dcngan format data
difraksi sinar-X , yaitu satu bnris terditi dari sepuluh data intensitas tcrhadap interval
sudut difraksi (28), berarti langkah awal dalam pengolahan data atialah merubah format
data difrnksi sinar-X kc format data analisis Rietveld. Lampiran 7 akan mernperlihalkan
hasil perubahan format data difraksi sinar-X.
Setclah proscs pcrubahan format data selcsai, maka langkah selanjutnya proscs
pcnghalusm data difraksi sinar-X ynng sekarang formntnya sudnh berubnh men-jadi
format data mctodc Ricwcld. Langhah pcrtama mcnyinpknn bcrkns masukan dcngnn
mcmuat infolmasi tentang panjang gelombang yang digunakan, interval sudut difiaksi
(28)) konstanta kisi, koordinat atom, grup ruang, serta kondisi perbandingan antara
pola data difi-aksi sinar-X dengan pola data PDF dan lain-lain yang discsuaikan dcngan
pola kalkulasi, kcmudian parameter yang akan diperhalus dinktifian dengan membcri
angka yang sesuai dengan urutan penghalusan, sebagai contoh untuk parameter yang
akan diperhalus dengan urutan pertama sampai kesepuluh ditulis 11.00000, 21.00000,
31.00000, . . . . . . . 101.00000 be~hrut-turut,bila tidak diaktifkan ditulis 0.00000,
bcntuk format pada Lampiran 8.
Sctelah langkah di atas selesai, langkah berikutnya menjalankan program
analisis Rietveld dcngan komputer pribadi (PC), pertama yang dimintnnya adalah
bcrkas data bubuk analisis Rietveld yang intensitas telah tersusun terhadap sudut
difraksi (28), masing-masing intensitas dicatat pada tiap interval merupakan kumpulan
titik-titik yang akan membentuk grafik eksperimen (pengamatan). Pada penelitian ini
diberi kode tin.dat. Sclanjutnya program aknn merninta bcrkas masukan, pada
penelitian diberi kodc tin.inp, jika bcrkas mnsuknn ini telah dimasul&an kc progsam
analisis Rietveld, program memintn sntu berkas Ingi untuk tcmpnt mclctakknn informnsi
dari paramctcr-paranictcr ynng tclnh dipcrhalus dan parameter-pariunctcr ynng tidak
diperlialus, bentuk formatnya samn dcngnn format berkas masuknn. Pacla penelitian ini
dibcri kode tino.inp. Sctelah proscs ana