perbesaran 1000 kali dikarenakan akan dilihat secara luas persebaran Alumina pada plat Al.
4.4.2 Lapisan Alumina pada Plat Silicon Wafer
Telah tampak lapisan pelangi berupa setengah lingkaran merupakan lapisan film tipis yang diharapkan. Maka akan dianalisis oleh SEM di 2 daerah juga yaitu
bagian pinggir kiri setengah lingkaran lapisan dan bagian tengan setengah lingkaran lapisan. Pada plat silicon wafer yang diteliti menggunakan SEM ialah menggunakan
panjang gelombang laser Nd-YAG 532 nm.
Gambar 4.11 Foto Hasil Pelapisan Pada
Plat Silicon Wafer
a
b Gambar 4.12 Hasil SEM permukaan lapisan Alumina pada Silicon wafer pada
bagian a kanan dan b tengah.
Hasil Lapisan Alumina
Plat Silicon Wafer
Perbesaran 200 Perbesaran 1000
Perbesaran 3500
Perbesaran 200 Perbesaran 1000
Perbesaran 3500
Hasil SEM lapisan Alumina di plat Silicon wafer terlihat juga seperti pelangi semakin menipis kesampingnya dan pada posisi tengah banyaknya lapisan partikel
yang diketahui dari hasil SEM perbesaran yang sampai 3500 kali dari di bagian pinggir kiri. Dari kasat mata untuk plat silicon wafer sangat jelas terdapat pelangi
dibagian pinggir bawah tengah.
a b
c d
e
Gambar 4.13 Hasil Mapping Alumina pada Silicon wafer; a Gambar yang akan di- mapping, b Kandungan Aluminium Al, c Kandungan Oksigen O,d Kandungan
Silicon Si dan e Hasil Mixing Alumina AL
2
O
3
Hasil dari hasil mapping diatas terdapat kandungan yang sama seperti sebelumnya pada plat Al. Namun pada plat Silicon wafer terdapat juga kandungan
silicon dideteksi sedikit, merupakan silicon wafer yang diduga mengalami ablasi plat silicon wafer akibat plasma.
Gambar 4.14 Point Analysis Alumina pada Silicon wafer
Tabel 4.5 Elemen hasil SEM lapisan alumina pada silicon wafer Element
Massa 1
2 3
4 O
4.82 6.9
6.06 6.06
AL 86.25
84.91 82.81
83.03 Si
0.19 70.04
71.57 77.12
Lainnya 8.93
10.83 10.12
10.77
Kemudian juga dengan plat silicon wafer dengan hasil gabungan dari point analisisnya adalah persen kandungan Al dirata – ratakan sebesar 84.25, kandungan
O 5.96 , Si 0.12 dan kandungan lainnya 10.16 dan telah diketahui adanya lapisan Alumina pada plat silicon wafer.
BAB V KESIMPULAN DAN SARAN
Kategori