Data Hasil Lapisan Film Tipis Teknik PLD

LAMPIRAN A DATA PERCOBAAN

1. Data Hasil Lapisan Film Tipis Teknik PLD

Panjang Gelombang Substrat Energi Plat Tekanan Waktu Diameter Plasma Ada Tidak Adanya Lapisan Kiri Kanan 532 nm Alumina 15 mJ Silicon Wafer 5 Pa 15 Menit 2,5 cm Sangat Jelas Sangat Jelas 15 mJ AL 6 Pa 2,5 cm jelas jelas 1064 nm Alumina 12 mJ AL 4,26 Pa 3cm sangat jelas sangat jelas 12 mJ Silicon Wafer 4,26 Pa 3cm terlihat terlihat 1064 nm Alumina 45 mJ AL 4,20 Pa 3 cm Sangat Jelas Sangat Jelas 45 mJ Silicon Wafer 4,53 Pa 3cm Sangat Jelas Sangat Jelas LAMPIRAN B GAMBARAN PERCOBAAN Gambar 1. Rangkaian Percobaan Pengamatan Spektrum Panjang Gelombang Laser Gambar 2. Rangkaian Percobaan Pengamatan Berkas Laser Sinar Laser Pulsa Nd:YAG Q-Smart 850 Gambar 3. Rangkaian Pengukuran Energy Laser Nd-YAG Gambar 4. Rangkaian Percobaan Pelapisan Film Tipis Teknik PLD DAFTAR PUSTAKA Adnyana ,I Gusti Agung Putra ,Dkk . 2007 . Pengaruh Ketebalan Lapisan Penyangga Gan Terhadap Struktur Kristal Dan Sifat Optik Film Tipis Gan Ditumbuhkan Dengan Metode Pulsed Laser Deposition . Bali . LIPI Apsari, Retna, Noriah Bidik Dkk.2011. Karakteristik Sifat Fisik dari Enamel Gigi Manusia Akibat Paparan Laser Nd:YAG Berbasis system Laser Specle Imaging. Jbp.2:9-104 Hanim, Aisyah.2004.Laser Karbondioksida:Aplikasinya dalam Terapi Penyakit Jaringan Lunak Mulut.USU Kane, Joseph W. Sternheim. 1088. FISIKA. Edisi Ketiga. John Wiley Sons. Kimmelma, Ossi . 2009 . Passively Q-Switched Nd:Yag Lasers and Their Use In Uv Light Generation. Doctoral Dissertation . Helsinki University of Technology. Meyer, Jurgen R. and Arendt .1995. Introduction to Classical and Modern Optics. Pacific University Mustofa, Salim. 2007. Rekayasa Bahan Partikel Nano Karbon Untuk Aplikasi Piranti Energy Dan Sensor. Iptek Nuklir: Bunga Rampai Presentasi Ilmiah Jabatan Peneliti. Tanggerang. ISSN 2087-8079.1:425-445. Rancmanto, Arif.2012. Sinar Pengukur Panjang Fokus Lensa Cekung Berbasis Mikrokontroler. UI.Depok. 5:11-16 Satoto. Dwi. Dkk.2007. Studi Interferometer Fabry-Perot untuk Pengukuran Panjang Gelombang Cahaya.UNDIP. Semarang, 4:179-182 Siegmen, Anthony E. 1986 . Laser.Mill Valley, California. University Science Books. Sukirman, E, dkk. 2002. Sintesis Film Tipis Superkonduktor Mgb2 Dengan Teknik Pulsed Laser Deposition. Jakarta .LIPI. Suliyanti,Maria M . 2010 . Aplikasi Laser Dalam Analisa Unsur Dengan Teknik Pembangkitan Plasma Dan Metode Pelapisan . Jakarta . LIPI Suliyanti,Maria M . 2013. Pembuatan Laser Karbon Dioksida Pulsa.Lipi.Jakarta Barat.377:75-80 Suryanto, Ir. Hery . 2001. Laporan Riset Unggulan Terpadu VIII. Jakarta. Dewan Riset Nasional Svelto, Orazio. 2010. Priciples of Laser. Springer New York Dordrecht Heidelberg London. Wetter, N.U.2000. ICS Lectures on Industrial Application of Lasers. UNIDO Young,M. 1997. Optics and Lasers Including Fibers and Optical Waveguides . Third Revised Edition. Springer New York.

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

3.7 Tempat dan Waktu Penelitian 3.7.1 Tempat Penelitian Penelitian ini dilaksanakan di Laboratoruim Laser Pusat Penelitian Fisika PPF Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia, Serpong Tanggerang Selatan, Banten. 3.7.2 Waktu Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada tahun ajaran 20142015. 3.8 Perangkat dan Prosedur Pengamatan Spektrum Panjang Gelombag Sinar Laser 3.8.1 Perangkat Pengamatan Spektrum Panjang Gelombang Sinar Laser

1. Cermin