PC computer dan kamera CCD yang memiliki 3 jenis filter yaitu filter merah, hijau dan hitam. Berikut diagram blok pengamatan beam profile :
Gambar 3.4 Diagram blog pengamatan beam profilex sinar laser
Yang dilakukan pertama adalah penyesuaian jenis filter terhadap sinar laser yang akan difilter menuju ke CCD. Dengan mencocokkan sinar laser dengan jenis filter
dengan melihat tampilan berkas laser yang bagus ditampilkan pada PC. Berkas sinar laser pulsa Nd-YAG pertama di-filter oleh filter yang dipasang pada ujung CCD. Dan
CCD dengan kabel USB yang terhubung ke PC dan memakai software SpectralLine Database Searching yang telah di-instal untuk membaca hasil pencintraan dari CCD
tersebut. Setelah gambar berkas laser telah tampil pada PC, dilakukan variasi jarak antara filter laser dengan sumber laser kemudian dilanjutkan pengambilan data gambar
berupa diameter radius berkas dan divergensinya.
3.4 Perangkat dan Prosedur Pengukuran Energi Laser
3.4.1 Perangkat Pengukuran Energi Laser
1. Laser Nd-YAG q-smart 850
Laser ini sebagai sumber energy yang akan dikontrol keluarnya cahaya laser dengan variasi waktu tunda keluarnya laser pulsa atau disebut
q-switch delay.
2. Energy Meter Coherent
Power meter merupakan alat pengukur besar energy cahaya laser beserta perangkatnya yaitu sensor MaxBlack power meter tersebut. berikut
spesifikasinya adalah : 1.
Energy range :
1.5 mJ to 3J
a
2. Noise Equivalent Energy
: 50
μJ 3.
Wavelength Range :
0.266 μm to 2.1 μm
Power Supply Personal
Computer PC Laser
CCD
4. Max beam Size
: 35mm
5. Max. Pulsa Width
: 340 μs
6. Max. Energy Density
: 14.0 Jcm
2
1064 nm, 10ns 2.8
Jcm
2
532 nm , 10 ns 7.
Sensor coating :
MaxBlack 8.
Diffuser :
YAG
3.4.2 Prosedur Pengukuran Energi Laser
Energy laser diukur menggunakan energy meter coherent dari MaxBlack Energy Max Sensor terdiri dari enery meter itu sendiri dan sensor cahayanya. Pengukuran
energy laser Nd-YAG yang dilakukan adalah untuk 2 panjang gelombang 532 nm dan 1064 nm. Berikut diagram blok pengukurannya :
Gambar 3.5 Diagram blog pengukuran energy sinar Laser Pengukuran energy dilakukan sebanyak 3 kali dengan jarak 50 cm antara laser
Nd-YAG dengan sensor cahaya. Setelah laser Nd-YAG aktif, langkah pertama ialah set alat agar cahaya laser Nd-YAG ditangkap oleh sensor cahaya dengan
menggunakan energy terendah terlebih dahulu. Lalu dioperasikan laser Nd-YAG untuk mengambil energinya dengan variasi waktu tunda atau q-switch delay.
Selanjutnya proses pengolahan data berupa numeric dan grafik akan dianalisa secara kuantitatif hingga diperoleh suatu kesimpulan. Juga data akan diolah dengan
menentukan besar standar deviasi beserta grafiknya untuk melihat besarnya penyimpangan energy yang dihasilkan oleh masing – masing panjang gelombang, dan
berikut rumus standard deviasinya ialah sebagai berikut : � = �
��
2
− ��
2
� � − 1
Dimana : S : Besar standard deviasi
P : Energy mJ N : banyaknya pengukuran
Laser Nd-YAG Energy Meter
Coherent Sensor Cahaya
3.5 Perangkat dan Prosedur Pembuatan Lapisan Tipis dengan teknik Pulsed
Laser Deposition PLD
3.5.1 Perangkat Pembuatan Lapisan Tipis dengan teknik Pulsa Laser
Deposition PLD 1.
Chamber
Chamber adalah ruang vakum tempat terjadinya proses pelapisan. Desain ataupun system yang berada dalam ruang vakum ini sangat
menentukan sekali hasil pelapisan. Chamber ini terbuat dari kaca pada kedua dindingnya untuk pengamatan secara visual atau mengamati plasma
dan pengambilan spectrum material plasma, serta window yang berbentuk bulat dan terdapat katup aliran gas atau udara masuk dan katup aliran gas
atau udara keluar yang berfungsi untuk memvakumkan ruang chamber dari
udara. Ukuran chamber 9 cm x 9 cm x 12 cm.
Gambar 3.6 Chamber 9cm x 9cm x 12cm
2. Selang