Waktu dan Tempat Penelitian
48 f. Memasang bahan tersebut pada holder pertama.
g. Membuka chamber, kemudian memasukkan bahan yang akan dipreparasi kedalam filamen yang telah dispesifikasikan.
h. Menempatkan kaca preparat yang sudah terpasang pada holder di holder kedua, kemudian memasang pemanas substrat.
2. Tahap preparasi bahan a. Menghidupkan pompa rotari dan membuka katup pertama pada
posisi rough valve system. b. Menghidupkan pompa difusi dengan mengatur slide regulator.
c. Membuka atau memutar katup dari posisi rough valvesy system ke posisi back valve system.
d. Membuka katup ketiga atau baypass valve system. e. Menghidupkan manometer penning dan mengamati tekanannya.
f. Memanaskan pemanas substrat dengan cara menghidupkan dan mengatur slide regulator satu, sampai tegangan 25 v untuk
memperoleh suhu pemanas substrat yang diinginkan. g. Menghidupkan dan mengatur slide regulator dua untuk pemanasan
sehingga bahan yang berada di dalam crusible menguap habis. h. Menutup katup ketiga atau baypass valve system.
i. Mematikan manometer penning dan menunggu pompa difusi mendingin.
j. Mematikan pompa rotari.
49 k. Menunggu selama 1 x 24 jam untuk melihat hasil preparasi,
dengan cara: 1. Membuka katup sehingga tekanan udara di dalam chamber
menjadi normal. 2. Membuka penutup chamber dan melepas chamber dari
dudukan. 3. Melepas kabel yang terhubung pada pemanas substrat.
4. Melepas pemanas substrat. 5. Melepas dan mengambil holder.
6. Mengambil hasil preparasi lapisan tipis dan memasukkan ke dalam wadah yang tertutup rapat agar tidak terjadi oksidasi
pada hasil preparasi lapisan tipis tersebut. 7. Menutup kembali chamber dan mengencangkan tutup kembali.