49 k. Menunggu selama 1 x 24 jam untuk melihat hasil preparasi,
dengan cara: 1. Membuka katup sehingga tekanan udara di dalam chamber
menjadi normal. 2. Membuka penutup chamber dan melepas chamber dari
dudukan. 3. Melepas kabel yang terhubung pada pemanas substrat.
4. Melepas pemanas substrat. 5. Melepas dan mengambil holder.
6. Mengambil hasil preparasi lapisan tipis dan memasukkan ke dalam wadah yang tertutup rapat agar tidak terjadi oksidasi
pada hasil preparasi lapisan tipis tersebut. 7. Menutup kembali chamber dan mengencangkan tutup kembali.
3. Tahap karakterisasi.
Penelitian tahap ini karakterisasi lapisan tipis Sn S
0,5
Te
0,5
yang terbentuk dengan menggunakan XRD, SEM, dan EDS. a. Struktur kristal dengan menggunakan XRD X-Ray Diffraction.
1. Mempersiapkan sampel yang akan dikarakterisasi. 2. Membersihkan tempat sampel dari debu dan memasukkan
sampel yang akan dikarakterisasi pada specimen chamber dan mencetak hasil analisis.
50 b. Morfologi permukaan kristal dengan menggunakan SEM
Scanning Electron Microscopy dan komposisi kimia dengan menggunakan EDS Energy Dispersive Spectrometry.
1. Memotong sampel hasil preparasi, kemudian menempelkan sampel tersebut pada tempat sampel dan mengelemnya dengan
menggunakan lem konduktif. 2. Memanaskan sampel dengan menggunakan water heater untk
mengeringkan lem tersebut. 3. Membesihkan sampel dari debu yang menempel dengan
menggunakan hand blower. 4. Melapisi sampel dengan gold poladium dengan menggunakan
Ion Sputter JFC 1100. 5. Meletakkan sampel yang sudah dilem pada mesin SEM dan
EDS untuk dikarakterisasi. 6. Melakukan pengamatan dan pemotretan pada titik yang
diinginkan dan menyimpan datanya pada sebuah file.
E. Teknik Analisis Data
Data yang diperoleh dari hasil karakterisasi XRD berupa difraktogram. Difraktogram ini menunjukkan intensitas sebagai fungsi
sudut difraksi. Difraktogram tersebut kemudian dicocokkan dengan data standar yang berasal dar database JCPDS Joint Comitee Powder
