Koefisien Difusi Penentuan Koefisien Difusi Bahan Semikonduktor Lithium Tantalat (LiTaO3) di atas Substrat Silikon (100) Tipe-p pada Variasi Suhu

19 adanya pergerakan energi dalam temperatur tinggi. Sedangkan difusi interstisi mekanisme perpindahan atom akibat adanya gerakan atom dalam rongga atom. Difusi intertisi ini terjadi apabila atom yang mengalami pergerakan memiliki ukuran jari-jari atom yang jauh lebih kecil dari atom induk. Atom-atom yang terinterstisi tersebut akan bergerak masuk kedalam rongga atom yang tercipta oleh atom besar. Kecepatan dari proses difusi ini tergantung pada ukuran partikel, temperatur, luas area atom. Semakin kecil ukuran atom yang terdapat pada film lithium tantalat, maka akan semakin cepat terjadinya proses difusi pada atom. Dan semakin tinggi temperatur pada saat film tipis diberi perlakuan panas, maka energi yang bergerak pada partikel juga akan semakin cepat sehingga kecepatan pada saat terjadi difusi juga akan semakin tinggi. Serta semakin besar luas area yang memisahkan antara satu atom dengan atom lainnya, maka akan semakin cepat terjadi pergerakan atom sehingga akan menyebabkan kecepatan proses difusi meningkat. Dalam struktur kristal, adanya kekosongan posisi atom memungkinkan atom di sebelahnya bergerak mengisi kekosongan tersebut sementara ia sendiri meninggalkan tempat semula yang ia isi menjadi kosong. Posisi kosong yang baru terbentuk akan memberikan kemungkinan untuk diisi oleh atom di sebelahnya; dan demikian seterusnya. Mekanisme ini merupakan mekanisme yang paling mungkin untuk terjadinya difusi internal. Kemungkinan lain adalah adanya atom yang lepas dari kisi kristalnya dan menjadi atom interstisial dan menjadi mudah bergerak. Tabel 4.1 Koefisien difusi terhadap variasi suhu dan intensitas Suhu Annealing o C Koefisien Difusi nm 2 s Intensitas 0 lux Intensitas 10 3 lux Intensitas 2 10 3 lux Intensitas 3 10 3 lux Intensitas 4 10 3 lux 550 600 650 700 750 800 57 79 89 134 103 174 91 107 158 202 98 325 116 118 180 236 86 342 100 109 91 260 156 376 128 142 114 308 166 391 Berdasarkan persamaan 3.2 dan gambar 4.4 diperoleh hasil koefisien difusi sesuai table 4.1. Semakin tinggi temperatur pada saat film LiTaO 3 diberi perlakuan annealing pada suhu 550 o C, 600 o C, 650 o C, 700 o C, 750 o C dan 800 o C maka energi yang bergerak pada partikel juga akan semakin cepat sehingga kecepatan pada saat terjadinya difusi juga akan semakin tinggi. Tetapi pada suhu annealing 750 o C proses difusi terjadi penuruna yang dilanjutkan kenaikan pada suhu 800 o C. 20 Nilai koefisien difusi berkisar antara 57 – 391 nm 2 s nilai literature koefisien difusi film lithium tantalate LiTaO 3 sebesar 153 nm 2 s Song, 2004, dan termasuk difusi volume karena enthalpy aktivasi atau energi aktivasi yang diperlukan besar untuk terjadinya difusi. Semakin besar suhu yang mengenai film maka akan semakin besar nilai koefisien difusinya dengan kata lain semakin cepat terjadi difusi. 21 5 SIMPULAN DAN SARAN

5.1 Simpulan

Berdasarkan hasil yang didapat disimpulkan bahwa absorbansi maksimum dari film lithium tantalat terjadi pada daerah infra merah yaitu pada panjang gelombang diatas 800 nm, puncak absorbansi tertinggi pada film lithium tantalat pada suhu annealing 800 o C dengan kata lain film LiTaO 3 banyak menyerap energi foton dari cahaya yang mengenainya. Nilai konduktivitas listrik film tipis meningkat seiring dengan kenaikan intensitas cahaya sebaliknya nilai resistansinya akan menurun dan dari nilai konduktivitas listrik yang didapatkan film LiTaO 3 yang diperoleh berkisar antara 1.90 – 9.95 µScm hasil ini menunjukkan bahwa film tipis LiTaO 3 yang dibuat merupakan bahan material semikonduktor. Pada film LiTaO 3 kecepatan pada saat terjadinya difusi semakin tinggi dengan seiringnya kenaikan suhu yang menghasilkan koefisien difusi dari 57 – 391 nm 2 s, film LiTaO 3 yang didapat merupakan cikal bakal sensor infra merah.

5.2 Saran

Pada penelitian selanjutnya diharapkan film LiTaO 3 dapat diaplikasikan sebagai sensor infra merah. Pengembangan penelitian ini sangat dianjurkan untuk bekerjasama dengan bagian instrument, sehingga dapat diperoleh aplikasi yang lebih baik dan terkontrol. 22 DAFTAR PUSTAKA Beata Z, Ewa M, Ryszard J. K. 2012. Synthesis, characterization and photocatalytic properties of lithium tantalite. Journal Materials Characterization 68:71-78. Chaidir A, Kisworo D. 2007. Pengaruh pemanasan terhadap struktur-mikro, sifat mekanik dan korosi paduan Zr-Nb-Sn-Fe. [Hasil-hasil Penelitian EBN]. ISSN 0854-5561. Cullity, B.D. 1956. Elements of X-Ray Diffraction. Massachusetts, Addison Wesley Publishing Company. Irzaman, A. Fuad, and M. Barmawi. 2001. Spectral Response of AlSi Photodiodes for IR Sensor. Proceeding Instrumentation, Measurement, and Communications for the Future, Indonesian German Conference IGC, Bandung: 340 – 342. Irzaman, Darvina Y, Fuad A, Arifin P, Budiman M dan Barmawi M. 2003. Physical and pyroelectric properties of tantalum oxide doped lead zirconium titanate [Pb0.9950 Zr0.525 Ti0.465 Ta0.010 O 3 ] thin films and its applications for IR sensor. Physica Status Solidi a Germany 199: 416-424. Irzaman, Maddu A, Syafutra H dan Ismangil A. 2010. Uji konduktivitas listrik dan dielektrik film tipis lithium tantalate LiTaO 3 yang didadah niobium pentaoksida Nb 2 O 5 menggunakan metode chemical solution deposition. Prosiding Seminar Nasional Fisika, Bandung: 175-183. Ismangil A, Jenie R P, Irmansyah, Irzaman. 2015. Development of lithium tantalite LiTaO 3 for automatic switch on LAPAN-IPB Satellite infra-red sensor. International Journal of Procedia Environmental Sciences 24: 329 – 334. Jun L, Yang L, Zhongxiang Z, Ruyan G, Amar S, and Bhalla . 2013. Structure and dielectric properties of niobium-rich potassium lithium tantalate niobate single crystals. Journal Ceramics International 39:8537-8541 . Kuneva M, Christova K and Tonchev S. 2012. Proton-exchanged optical waveguides in LiTaO 3 : phase composition and stress. Journal of Physics: Conference Series. 398. Kwok, K. N. 1995.Complete Guide to Semiconductor Device. McGraw-Hill, inc. Liu X. 2005. Nanoscale chemical ething of near-stoichiometric lithium tantalite. Journal Material sains 971:30-38. Malvino A V. 1990. Prinsip-prinsip Elektronika. Jakarta: Salemba Teknika. Marco S, Volkmar N, and Gerald G. 2014. Dielectric and pyroelectric properties of ultrathin, monocrystalline lithium tantalite. Journal infrared Physics Technology 63:35-41. Milan J, Lauhon L, and Allen J. 2005. Photoconductivity of Semiconducting. CdS. Milton O. 1991. The Materials Science of Thin Film. Academic Press Limited, London. Omar, M.A. 2007. Elementary Solid State Physics. Addison-Wesley Publishing Company. Paula M.V, Nathalie B, Sebastian Z, Pedro F, Maria H.F. 2014. Are lithium niobate LiNbO3 and lithium tantalate LiTaO3 ferroelectrics bioactive. Journal Materials Science and Engineering 39:395-402. Poole C.P. 1998. The Physics Handbook Fundamentals and Key Equations. New York: John Wiley and Son, Inc.