Litium Niobat LiNbO Metode Chemical Solution Deposition CSD Absorbansi, Transmitansi dan Reflektansi

BAB I PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang

Dalam beberapa dekade terakhir terjadi paradigma baru dalam fabrikasi dunia material ferroelectric semikonduktor, yaitu dalam bentuk lapisan film. Perangkat dan bahan film dapat meminimalkan bahan beracun karena kuantitas penggunaannya pada permukaan dan atau lapisan film terbatas 1 . Material yang digunakan dalam pembuatan lapisan tipis ini adalah litium niobat LiNbO 3 . Litium niobat merupakan bahan ferroelektrik penting karena sifat-sifat piezoelektrik, electrooptical, pyroelectrical dan photorefractive yang sangat baik 2 . Pembuatan litium niobat menggunakan peralatan yang cukup sederhana, biaya lebih murah dan dilakukan dalam waktu yang relatif singkat. Terdapat berbagai macam metode yang digunakan dalam pembuatan film, antara lain berupa teknik deposisi film seperti sputtering, pulsed laser deposition PLD, chemical solution deposition CSD dan chemical vapor deposition CVD 3 . Sedangkan dalam penelitian ini, metode yang digunakan yaitu metode CSD. Keunggulan metode ini dapat mengontrol stokiometri film dengan kualitas yang baik, prosedur yang mudah, dilakukan pada suhu kamar dan biaya yang relatif murah 4,5 . Penelitian lapisan tipis litium niobat yang dilakukan adalah untuk membuat film litium niobat dan menguji sifat optiknya berupa absorbansi, reflektansi, celah energi dan indeks bias. Perlakuan pada sampel yang digunakan berupa perlakuan suhu dan lama waktu annealing. Pada perlakuan suhu, sampel dipanaskan dengan suhu 800 C, 850 C dan 900 C, sedangkan pada perlakuan waktu annealing sampel selama 1 jam, 8 jam, 15 jam dan 22 jam.

1.2 Tujuan Penelitian

Tujuan penelitian ini adalah untuk menumbuhkan film litium niobat pada substrat silikon tipe-p dan kemudian diuji sifat optik dari film yang dibuat.

1.3 Perumusan Masalah

Pada penelitian ini bahan LiNbO 3 ditumbuhkan di permukaan substrat silikon dengan metode chemical solution deposition CSD dengan memperhatikan pengaruh suhu dan waktu annealing dengan variasi 800 o C, 850 o C dan 900 o C selama 1 jam, 8 jam, 15 jam dan 22 jam. Kemudian film diuji sifat optik berupa absorbansi, reflektansi, celah energi dan indeks bias.

1.4 Hipotesis

1. Pembuatan litium niobat menggunakan metode CSD dengan teknik spin coating pada kecepatan 3000 rpm dan diameter luar ujung pipet 1 mm akan memiliki ketebalan antara 1-10 m. 2. Film LiNbO 3 memiliki celah energi yang cukup besar antara 3-4 eV

1.5 Manfaat Penelitian

Hasil penelitian ini dapat digunakan sebagai bahan referensi untuk penelitian selanjutnya dalam penggunaan bahan litium niobat sebagai sensor cahaya yang dapat diaplikasikan kemudian.

BAB II TINJAUAN PUSTAKA

2.1 Litium Niobat LiNbO

3 Litium niobat merupakan bahan ferroelektrik penting karena sifat-sifat piezoelektrik, electrooptical, pyroelectrical dan photorefractive yang sangat baik 2 . Litium niobat merupakan campuran dari hasil reaksi antara litium asetat dan niobium oksida. Berikut ini merupakan persamaan reaksi dalam pembuatan litium niobat. 2LiC 2 H 3 O 2 + Nb 2 O 5 + 4O 2 2LiNbO 3 + 3H 2 O + 4CO 2 1 Struktur litium niobat pada suhu kamar berbentuk mendekati rhombohedral trigonal dengan grup ruang R3c dan grup point 3m. Diatas suhu fase transisi, kristal berubah bentuk menjadi centrosymetric dengan grup ruang R3m.

2.2 Metode Chemical Solution Deposition CSD

Pembuatan lapisan dapat dilakukan dengan cara sputtering, metal organik chemical vapour deposition MOCVD dan metode chemical solution deposition CSD. Metode CSD merupakan metode pembuatan lapisan dengan cara pendeposisian larutan kimia di atas subtrat, kemudian dipreparasi dengan menggunakan spin coating pada kecepatan putaran tertentu. Metode CSD memiliki beberapa keuntungan seperti kontrol stoikiometri, homogenitas, dibuat pada suhu relatif rendah dan biaya yang rendah. 3 Proses spin coating ini merupakan reologi atau prilaku aliran larutan pada piringan yang berputar. Mula-mula aliran volumetrik cairan dengan arah radial pada subtrat diasumsikan bervariasi terhadap waktu. Pada saat t = 0, penggenangan awal dan pembasahan menyeluruh pada subtrat tegangan permukaan diminimalisasi yakni tidak adanya getaran, tidak ada noda kering dan sebagainya. Piringan kemudian dipercepat dengan kecepatan rotasi yang spesifik sehingga menyebabkan bulk dari cairan terdistribusi merata.

2.3 Absorbansi, Transmitansi dan Reflektansi

Sifat optik material berkaitan dengan radiasi elektromagenitk, khususnya cahaya tampak. Foton yang jatuh pada material dapat dipantulkan reflektansi, diabsorbsi atau ditransmisikan. Absorbsi atau transmisi foton oleh material bergantung pada senjang energi antara pita valensi dan pita konduksi foton dan energi foton itu sendiri. Pada struktur pita logam tidak terdapat senjang energi sehingga foton dengan energi berapapun diabsorbsi dengan eksitasi elektron dari pita valensi dan elektron memasuki level energi yang lebih tinggi dari pita konduksi. Pada semikonduktor, elektron tereksitasi memasuki level akseptor atau meninggalkan level donor dan foton yang mempunyai cukup energi untuk memacu transisi tersebut akan diabsorbsi. Oleh karena itu, semikonduktor tidak tembus panjang gelombang pendek dan transparan terhadap gelombang panjang. Struktur pita dipengaruhi oleh kristalinitas sehingga material seperti gelas dan polimer dapat bersifat transparan dalam keadaan amorf tetapi tidak tembus cahaya apabila dalam keadaan kristal 6 .

2.4 Indeks Bias