P-N Junction Metode Chemical Solution Deposition

2.2 Litium Tantalat LiTaO

3 Litium tantalat LiTaO 3 merupakan suatu bahan yang memiliki keunikan dari segi sifat pyroelectric dan piezoelectric yang terpadu dengan stabilitas mekanik dan kimia yang baik. Oleh karena itu LiTaO 3 sering digunakan untuk beberapa aplikasi misalnya modulator electro-optical dan detektor pyroelectric. LiTaO 3 merupakan kristal non-hygroskopis, tidak berwarna, larut dalam air, memiliki tingkat transmisi yang tinggi dan tidak mudah rusak sifat optiknya. LiTaO 3 merupakan bahan yang memiliki konstanta dielektrik yang tinggi serta kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi. 7 Pembuatan LiTaO 3 menggunakan peralatan yang cukup sederhana, biaya murah dan dilakukan dalam waktu relatif singkat. LiTaO 3 merupakan campuran hasil reaksi antara Litium asetat [LiO 2 C 2 H 3 , 99,9] dan Tantalum oksida [Ta 2 O 5 , 99,9]. Berikut ini persamaan reaksi menghasilkan LiTaO 3 : 2 LiO 2 C 2 H 3 + Ta 2 O 5 + 4O 2 2 LiTaO 3 + 3 H 2 O + 4 CO 2 LiTaO 3 merupakan kristal ferroelectric yang mengalami proses suhu currie tinggi sebesar 601±5,5 o C. Massa jenis LiTaO 3 sebesar 7,45 gcm 3 yang digunakan untuk menghitung ketebalan film. 8 LiTaO 3 merupakan objek yang diteliti secara intensif selama beberapa tahun terakhir karena memiliki sifat yang unik. Berdasarkan penelitian, bahan LiTaO 3 merupakan semikonduktor tipe-n karena konsentrasi elektron yang dimiliki oleh material LiTaO 3 tersebut lebih banyak dibandingkan dengan konsentrasi hole-nya.

2.3 P-N Junction

Cara kerja sebagian besar piranti semikonduktor berlandaskan pada sifat sambungan antara bahan tipe-n dan tipe-p. Sambungan seperti itu dapat dibuat dengan beberapa cara, misalnya pendifusian ketidakmurnian dalam bentuk uap ke dalam wafer semikonduktor. Sifat penting sambungan semikonduktor p-n adalah arus listrik dapat melewatinya lebih mudah pada suatu arah tertentu daripada arah yang berlawanan dengan arah itu. Bahan semikonduktor tipe-p terdiri atas unsur-unsur dalam golongan IVA pada sistem periodik seperti Si. Bahan semikonduktor tipe-n terdiri atas unsur-unsur dalam golongan V dan golongan III pada sistem periodik. 6 P-N junction adalah daerah pertemuan yang terjadi apabila semikonduktor tipe-p dan semikonduktor tipe-n dipertemukan. Nama lain untuk persambungan semikonduktor tipe-p dan semikonduktor tipe-n yang membentuk kristal adalah dioda. 9 Dioda adalah suatu komponen elektronik yang dapat melewatkan arus pada satu arah saja. Dioda memegang peranan penting dalam elektronika, antara lain untuk menghasilkan tegangan searah dari tegangan bolak-balik, untuk membuat berbagai bentuk gelombang isyarat, untuk mengatur tegangan searah agar tidak berubah dengan beban maupun dengan perubahan tegangan, untuk saklar elektronik, LED, laser semikonduktor. 6

2.4 Metode Chemical Solution Deposition

CSD Metode chemical solution deposition CSD adalah salah satu metode pembuatan film dengan menggunakan larutan yang diletakkan di permukaan substrat kemudian diputar dengan kecepatan tertentu menggunakan alat spin coating. Proses spin coating dapat dipahami dengan perilaku aliran larutan pada piringan substrat yang berputar. Metode CSD memiliki kontrol stoikiometri yang baik, mudah dalam pembuatannya serta sintesisnya terjadi pada suhu rendah. 10 Kelajuan spin coater merupakan salah satu faktor yang dapat mempengaruhi keluaran film yang dihasilkan oleh metode spin coating . Perbedaan laju spin coater ± 50 rpm dapat menyebabkan perbedaan ketebalan film yang dihasilkan dari proses tersebut sekitar ± 10 . Selain kelajuan spin coater terdapat beberapa parameter lagi yang menjadi faktor yang dapat mempengaruhi sifat film diantaranya adalah waktu spinning. Pemberian waktu spin lebih lama dapat mengakibatkan film yang dihasilkan semakin tipis untuk molaritas gel yang sama. Tebal tipisnya suatu film yang ditumbuhkan biasanya dipengaruhi oleh laju putaran spin coater , material untuk membuat film, substrat serta waktu putaran yang diberikan. 11

2.5 Proses Annealing