m = massa satu molekul gas v = kecepatan rata-rata
Dari hubungan di atas dapat dilihat bahwa besarnya tekanan sebanding dengan banyaknya partikel atau molekul gas. Jadi semakin kecil
tekanan, molekul gas juga semakin kecil, sehingga tingkat kevakuman semakin tinggi. Dalam satuan internasional SI satuan tekanan dinyatakan
dalam pascal Pa atau Newtonm
2
. Dalam teknologi vakum lebih banyak digunakan satuan TorrmmHg dan mbar.
2.3.1 Tingkat Kevakuman
Keadaan vakum dapat membuat tekanan dalam suatu sistem menjadi jauh dibawah tekanan atmosfir, sehingga molekul-molekul gas letaknya
saling berjauhan. Ini berarti jarak bebas rata-ratanya sangat panjang dan aliran gas tidak dipengaruhi lagi oleh kemungkinan tumbukan gas yang lain,
tetapi dipengaruhi oleh kemungkinan terjadinya tumbukan-tumbukan molekul gas dengan dinding sistem vakum tersebut.
Kevakuman suatu sistem dapat diklasifikasikan menurut tingkat kevakumannya yaitu Suprapto,1998 :
a. Vakum rendah mempunyai tekanan kira-kira sampai dengan 1 Torr.
b. Vakum sedang mempunyai tekanan kira-kira 1 Torr sampai dengan 10
-3
Torr. c.
Vakum tinggi mempunyai tekanan lira-kira 10
-3
Torr sampai dengan 10
-7
Torr. PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI
d. Vakum sangat tinggi mempunyai tekanan kira-kira 10
-7
Torr sampai dengan 10
-16
Torr. Berdasarkan cara menvakumkan sistem vakum hampa, maka dapat
dibedakan sebagai berikut : sistem vakum statis dan sistem dinamis. Sistem vakum statis yaitu suatu sistem vakum yang mana untuk mencapai
kevakuman tertentu dengan menvakumkan sistem tersebut sampai kevakuman yang diinginkan kemudian ditutupdisumbat. Jadi sistem harus
bebas dari kebocoran dan hal-hal yang menyebabkan penurunan kevakuman. Sebagai contoh sistem vakum statis adalah seperti thermos. Sedangkan
sistem vakum dinamis yaitu suatu sistem vakum yang mana untuk mencapai kevakuman tertentu dengan menvakumkan sistem tersebut secara terus
menerus untuk mempertahankan tingkat kevakuman yang telah dicapai. Sebagai contoh sistem vakum dinamis adalah : sistem coating, akselerator,
spektometer massa dan sebagainya. Pada metode evaporasi, untuk melakukan proses penguapan pada
coatingnya tingkat kevakumannya sudah di atur minimal 10
-5
Torr. Jika tingkat kevakumannya kurang dari 10
-5
Torr, maka proses penguapan belum siap dilakukan karena masih ada partikel-partikel lain yang akan
mengganggu. Semakin tinggi tingkat kevakumannya maka lapisan tipis yang dihasilkan akan semakin bagus. Proses evaporasi bisa dilakukan pada
tingkat kevakuman lebih tinggi dari 10
-5
Torr, tetapi memerlukan waktu yang lebih lama.
2.3.2 Pompa Vakum
