20 40
60 80
100 120
350 450
550 650
750 850
950
Panjang Gelombang nm A
a bs
or ba
ns i
d = 114.815 nm
Gambar 4.17 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang gelombang λ
untuk ketebalan lapisan 114,815 nm
Data absorbansi untuk masing – masing ketebalan lapisan tipis dapat dilihat pada Lampiran 3. Dari data absorbansi hasil karakterisasi dapat
ditentukan nilai koefisien absorbsi lapisan tipis Al.
4.2 Analisis Data dan Pembahasan
4.2.1 Proses Pembuatan Lapisan Tipis
Selama proses pembuatan lapisan tipis dalam penelitian ini, beberapakali terjadi kegagalan atau terjadi pertumbuhan lapisan tipis yang
tidak baik tidak merata. Hal ini bisa disebabkan karena saat mengalirkan arus pemanasnya terlalu besar sehingga menyebabkan filamenwadah tempat
substrat meleleh dan bocor sehingga target yang menguap dan menempel pada substrat tidak merata. Kebocoran filamentwadah tempat substrat juga
bisa disebabkan karena sudah sering digunakan untuk proses evaporasi. PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI
Dari data pada tabel 4.1 dapat dihitung ketebalan lapisan tipis dengan menggunakan pendekatan persamaan 20 yaitu
l p
W d
ρ
=
, hasil analisisnya adalah seperti tercantum pada tabel 4.2
Tabel 4.2 Hasil analisis dari hasil deposisi lapisan tipis d
Cuplikan nm
1 57,40752 2 76,54336
3 95,67920 4 114,81504
4.2.2 Karakterisasi Optik Lapisan Tipis Al
Setelah proses evaporasi maka dilakukan karakterisasi terhadap lapisan tipis hasil evaporasi tersebut. Karakterisasi sifat optik telah
dilakukan pada daerah panjang gelombang cahaya tampak 400 nm - 900 nm dengan menggunakan spektroskopi UV-VIS Shimadzu. Hal ini
dilakukan karena pada panjang gelombang tersebut bersesuaian dengan panjang gelombang sinar matahari.
Karakterisasi sifat optik lapisan tipis Al dilakukan terhadap masing – masing lapisan tipis yang dihasilkan. Cahaya yang datang mengenai
permukaan lapisan tipis ada yang dipantulkandirefleksikan, diserap atau diteruskanditransmisikan. Untuk masing – masing lapisan tipis dengan
ketebalan yang berbeda – beda akan dilihat perubahan nilai reflektansi, transmitansi dan absorbansi cahaya dari lapisan tipis Al tersebut terhadap
setiap perubahan panjang gelombang. PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI
Dari data reflektansi dapat dihitung nilai indek bias lapisan tipis yang dicari dengan menggunakan persamaan 16 yaitu
1 1
T T
s f
R R
n n
n −
+ =
,
dimana nilai indek bias sebanding dengan nilai reflektansinya. Sedangkan dari data absorbansi dapat dicari nilai koefisien absorbsi dengan
menggunakan persamaan 19 yaitu d
A α
= .
Intesitas cahaya yang datang sama dengan intensitas cahaya yang dipantulkan, diserap, diteruskan dan disebarkan. Hal ini dapat dibuktikan
dengan persamaan 6 yaitu, R + T + A
e b
+S = 100 . Dari sejumlah cuplikan lapisan tipis aluminium yang diperoleh, dapat dilihat adanya
perubahan reflektansi, transmitansi dan absorbansi untuk tiap-tiap ketebalan lapisan seperti yang dijelaskan di bawah ini.
a. Cuplikan1
