sampai diperoleh tekanan 10
5 −
Torr. Selama operasi atau selama proses deposisi pompa difusi tetap dihidupkan untuk mempertahankan tingkat kevakuman. Setelah
penghampaan sistem mencapai 10
5 −
Torr, tegangan pada filamen penguap mulai dihidupkan sampai filamen tersebut menyala. Arus pemanas harus dinaikkan
sedikit demi sedikit agar tidak terjadi loncatan-loncatan Al karena penguapan yang mendadak. Arus dinaikkan sampai seluruh Al mencair tetapi belum menguap.
Setelah Al mencair arus dinaikkan lagi sehingga terjadi penguapan Al hingga Al yang menguap tersebut menempel pada substrat.
3.6 Metode Karakterisasi
Untuk mengetahui karakterisasi lapisan tipis yang terbentuk perlu dilakukan pengujian lapisan tipis tersebut dengan uji XRD Shimadzu_6000. Alat Difraksi
sinar-X yang disebut juga difraktometer adalah alat yang digunakan untuk menganalisa spektrum difraksi seperti yang telah dijelaskan pada bab terdahulu.
SinarX ditembakkan pada sampel kristal dan mengakibatkan terjadinya hamburan sinar-X. Hamburan sinar-X akan ditangkap oleh detektor Sili dan dari
detektor akan diperoleh informasi langsung berupa grafik sudut hamburan 2 θ dan
intensitas I.
3.7 Metode Analisis Hasil
Metode karakterisasi yang dilakukan akan memberikan informasi langsung berupa grafik hubungan antara sudut hamburan 2
θ dan intensitas I. Sudut
36
hamburan yang berbeda akan memberikan besar intensitas yang berbeda pula, sehingga dari grafik tersebut dapat terlihat bahwa intensitas akan terjadi pada sudut
hamburan tertentu. Sudut hamburan ditentukan oleh panjang gelombang sinar X dan konstanta
kisi dari sampel kristal sehingga dengan mengetahui sudut hamburan dapat ditentukan konstanta kisi dan bidang hkl dari kristal tersebut dengan menggunakan
tahapan pengindeksan pola difraksi.
3.7.1 Pengindekan Pola Difraksi Indexing Diffraction Pattterns
Seperti yang telah dijelaskan pada dasar teori, bahwa sistem kristal bisa dikelompokkan menjadi 7 tujuh yaitu kubik, monoklinik, triklinik, tetragonal,
orthorhombik, trigonal atau yang bisa juga disebut rhombohedral, dan hexagonal. Ketujuh kristal tersebut terbagi menjadi 14 empat belas kisi ruang atau kisi
bravais Harold, Stokes .T, 1947. Setiap sistem kristal memiliki nilai bidang-bidang hkl dan parameter kisi
yang berbeda. Untuk sistem kubus, karena paremeter a = b = c maka bisa diartikan bahwa sistem kubus memiliki satu parameter kisi yang tidak diketahui yaitu a.
Sedangkan untuk sistem non kubik akan sedikit lebih rumit karena memiliki dua atau lebih parameter kisi yang belum diketahui, sehingga dari nilai panjang ketiga
sisi unit sel yaitu a, b, c dan besarnya ketiga sudut sumbu kristal α, , diperoleh
hubungan keduanya dengan jarak antar bidang untuk masing-masing jenis kristal, yang disajikan pada Tabel I dan II.
37
