2 2
k hk
h +
+ Nilai jumlahan dari
yang memenuhi adalah 1, 3, 4, 7, 9……..
Langkah cara pengindekannya adalah sebagai berikut yang kemudian disajikan secara mendetail pada lampiran sebagai contoh.
a Hasil data eksperimen. b
Penentuan nilai sin
2
θ .
2 2
k hk
h +
+ c
Menghitung nilai sin
2
θ d
Menghitung nilai C.
Untuk nilai C dapat dicari dengan persamaan
2 2
2 2
sin Cl
k hk
h A
= +
+ −
θ 2.40
c. Sistem Kristal Orthorhombik
Untuk sistem Orthorhombik, bentuk persamaan sin
2
θ yang diberikan
adalah
⎟⎟ ⎠
⎞ ⎜⎜
⎝ ⎛
+ +
⎟⎟ ⎠
⎞ ⎜⎜
⎝ ⎛
= →
2 2
2 2
2 2
2 2
4 sin
hom c
l b
k a
h bic
Orthor
λ θ
dalam bentuk yang lebih sederhana dapat dituliskan menjadi
2 2
2 2
sin Cl
Bk Ah
+ +
= θ
2 2
4 a
A λ
=
2 2
4 b
B λ
=
2 2
4 c
C λ
= ,
, dan merupakan suatu konstanta.
dengan Pengindekan struktur kristal orthorhombik akan menjadi lebih komplek atau
sulit dikarenakan terdapatnya 3 konstanta yang tidak diketahui nilainya yaitu A, B,
44
dan C, dimana nilai dari konstanta tersebut harus ditentukan untuk mencari perbedaan diantara berbagai nilai sudut hamburan. Sebagai contoh,
mempertimbangkan dua garis yang memiliki indeks hk0 dan hkl dengan nilai hk
yang sama seperti 120 dan 121. Perbedaan diantara kedua garis tersebut terletak pada C. Dengan cara yang sama maka pada garis yang memiliki hkl 310 dan 312
perbedaannya adalah 4C dan seterusnya. Jika untuk sistem orthorhombik memiliki metode análisis pengindekan yang seperti itu, maka akan menjadi lebih sulit dalam
mengindeksi karenakan banyak garis yang hilang dalam pola. Terlepas dari kesulitan itu, metode análisis ini telah berhasil diterapkan
untuk mencari nilai indeks dari pola orthorhombik.
45
BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN
Pada penelitian ini pendeposisian lapisan tipis Al menggunakan metode evaporasi dengan variasi ketebalan. Selanjutnya dilakukan karakterisasi struktur
kristal dengan XRD untuk mengetahui orientasi bidang hkl.
4.1 Hasil dan Pembahasan
4.1.1 Pembuatan Lapisan Tipis Al
Proses evaporasi dilakukan dalam ruang vakum dengan tingkat kevakuman 1,1.10
5 −
Torr dimana lama proses evaporasi itu sendiri berkisar antara 2-3 jam dan jarak antara substrat dengan target adalah ± 10,5 cm. Target dalam hal
ini Aluminium Al yang akan dideposisikan terlebih dahulu ditimbang beratnya sesuai dengan keinginan untuk mengetahui berapa berat target tersebut. Substrat
yang berupa kaca preparat juga ditimbang beratnya sebagai W
1
dan substrat yang telah terdeposisi oleh target ditimbang kembali beratnya sebagai
W
2
, berat target W
yang terdeposisi pada substrat dapat dicari dengan persamaan yaitu W
= W
2
- W
1
sehingga ketebalan dari target yang telah terdeposisi dapat dihitung dengan pendekatan persamaan berikut :
d = l
p W
. .
ρ dengan
d = tebal lapisan tipis
46
ρ = massa jenis target
p = panjang substrat
l = lebar substrat
Dari proses evaporasi yang telah dilakukan, diperoleh hasil deposisi seperti yang tercantum pada Tabel III.
Tabel III. Hasil deposisi lapisan tipis
No Berat Al
yang akan dicoating
gram
d=
l p
W .
. ρ
W gram
W
1
gram W
2
gram nm
1 kaca preparat 0
48,971 2 0,0324 0,003
49,642 49,645 57,558
3 0,0444 0,004 49,278
49,282 76,744 4 0,0547 0,005
49,258 49,263 95,930
5 0,0617 0,006 47,624
47,630 115,117 6 0,0672 0,007
134,303 48,976 48,983
4.1.2 Karakterisasi Struktur Kristal Lapisan Al Dengan Menggunakan Difraksi sinar-X XRD
Penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Fakultas MIPA UNS, Surakarta. Penelitian uji XRD ini dilakukan untuk mengetahui karakterisasi struktur
kristal dari lapisan tipis Al yang terdeposisi pada substrat kaca dengan menggunakan panjang gelombang sebesar
λ = 1,54060Ǻ. Informasi langsung yang diperoleh dari uji XRD dari lapisan tipis Al yang telah terdeposisi pada substrat
47
