yang menyebabkan penurunan kevakuman. Sebagai contoh sistem vakum statis adalah seperti thermos. Sedangkan sistem vakum dinamis yaitu suatu sistem vakum
yang mana untuk mencapai kevakuman tertentu dengan menvakumkan sistem tersebut secara terus menerus untuk mempertahankan tingkat kevakuman yang telah
dicapai. Sebagai contoh sistem vakum dinamis adalah : sistem coating, akselerator, spektrometer massa dan sebagainya.
Pada metode evaporasi, untuk melakukan proses penguapan pada coatingnya tingkat kevakumannya sudah di atur minimal 10
-5
Torr. Jika tingkat kevakumannya kurang dari 10
-5
Torr, maka proses penguapan belum siap dilakukan karena masih ada partikel-partikel lain yang akan mengganggu. Semakin tinggi
tingkat kevakumannya maka lapisan tipis yang dihasilkan akan semakin bagus. Proses evaporasi bisa dilakukan pada tingkat kevakuman lebih tinggi dari 10
-5
Torr, tetapi memerlukan waktu yang lebih lama.
2. Pompa Vakum
Untuk membuat ruang vakum dipermukaan bumi, usaha yang dilakukan oleh manusia adalah dengan cara memompa keluar udara dari suatu ruangan
tertutup dengan pompa vakum. Telah diketahui bahwa vakum merupakan sarana atau alat dalam melakukan suatu proses, oleh karena itu tingkat kevakuman yang
dibuat juga sesuai dengan kebutuhan. Agar diperoleh kevakuman yang tinggi, maka diperlukan sistem vakum yang terdiri dari sebuah pompa rotari dan pompa difusi.
11
-3
Tingkat kevakuman yang dicapai oleh pompa rotari sekitar 10 Torr dan pompa difusi dapat mencapai tingkat kevakuman hingga 10
-8
Torr.
a. Pompa rotari
Proses penghampaan tingkat tinggi tidak dapat dilakukan secara sekaligus, karena tidak ada pompa apapun yang dapat mencapai tingkat kehampaan yang
tinggi secara langsung. Untuk mencapai tingkat kehampaan yang tinggi diperlukan pompa pendahuluan, dalam hal ini digunakan pompa rotari.
Jenis pompa rotari yang dipakai adalah jenis mekanik katub sorong. Bagian utama dari pompa rotari ini adalah stator dan rotor yang dapat diputar dengan
menggunakan sebuah motor listrik. Katub sorong dilengkapi dengan sebuah pegas yang selalu menyinggung dinding stator dalam putarannya dan berfungsi sebagai
skat antara kedua ruang dalam rongga stator. Bagian rotor akan menggerakkan dan menghisap udara keluar dari sistem yang akan divakumkan.
Prinsip kerja pompa rotari ini adalah sebagai berikut : mula-mula udara dihisap dari ruang yang akan divakumkan oleh katub sorong Gambar 2.2.a . Pegas
dari rotor menekan katub sorong kedinding bejana stator, sehingga merupakan penyekat antara ruang vakum dan udara yang akan dibuang Gambar 2.2.b. Udara
yang dihisap akan dikeluarkan melalui saluran keluar yang sempit. Karena tekanan udara yang akan dibuang semakin besar, maka katub saluran pembuang akan
terbuka sehingga udara bisa keluar Gambar 2.2.c.
12
