3.5 Prosedur Penelitian
3.5.1 Persiapan
1. Substrat yang akan digunakan adalah kaca preparat yang memiliki bentuk persegi panjang dengan panjang 7,6 cm, lebar 2,54 cm dan tebal 0,1 cm.
2. Substrat yang akan dilapisi Aluminium harus dalam kondisi bersih untuk menghasilkan pendeposisian yang baik, untuk membersihkan substrat
digunakan alkohol dan dikeringkan dengan tissue. 3. Aluminium yang akan dideposisikan masih berupa gulungan kawat yang
kemudian dipotong-potong dan ditimbang untuk memperoleh berat sesuai yang diinginkan serta disimpan dalam plastik klip.
3.5.2 Proses deposisi lapisan tipis Al
Proses pelapisan dilakukan pada tekanan sekitar 10
5 −
Torr. Substrat kaca yang akan dilapisi dan telah dibersihkan diletakkan pada penyangganya yang dapat
diputar, menyusul Al yang telah disiapkan diletakkan pada kowi atau wadah yang berbentuk perahu. Dalam proses ini dibutuhkan sistem vakum untuk memperoleh
kondisi proses yang bersih dari kotoran agar lapisan tipis yang dihasilkan tidak terkontaminasi murni Al, tentunya dengan penggunaan pompa vakum yang
meliputi pompa rotari dan pompa difusi. Proses pelapisannya, mula-mula tekanan di dalam ruang vakum diturunkan
dengan menghidupkan pompa rotari atau pompa mekanik sampai mencapai tekanan 10
2 −
Torr dan baru kemudian menghidupkan pompa difusi atau pompa evaporasi
35
sampai diperoleh tekanan 10
5 −
Torr. Selama operasi atau selama proses deposisi pompa difusi tetap dihidupkan untuk mempertahankan tingkat kevakuman. Setelah
penghampaan sistem mencapai 10
5 −
Torr, tegangan pada filamen penguap mulai dihidupkan sampai filamen tersebut menyala. Arus pemanas harus dinaikkan
sedikit demi sedikit agar tidak terjadi loncatan-loncatan Al karena penguapan yang mendadak. Arus dinaikkan sampai seluruh Al mencair tetapi belum menguap.
Setelah Al mencair arus dinaikkan lagi sehingga terjadi penguapan Al hingga Al yang menguap tersebut menempel pada substrat.
3.6 Metode Karakterisasi
Untuk mengetahui karakterisasi lapisan tipis yang terbentuk perlu dilakukan pengujian lapisan tipis tersebut dengan uji XRD Shimadzu_6000. Alat Difraksi
sinar-X yang disebut juga difraktometer adalah alat yang digunakan untuk menganalisa spektrum difraksi seperti yang telah dijelaskan pada bab terdahulu.
SinarX ditembakkan pada sampel kristal dan mengakibatkan terjadinya hamburan sinar-X. Hamburan sinar-X akan ditangkap oleh detektor Sili dan dari
detektor akan diperoleh informasi langsung berupa grafik sudut hamburan 2 θ dan
intensitas I.
3.7 Metode Analisis Hasil
Metode karakterisasi yang dilakukan akan memberikan informasi langsung berupa grafik hubungan antara sudut hamburan 2
θ dan intensitas I. Sudut
36
Kategori