27 Tumbukan ini menghasilkan beberapa interaksi yang dapat memberikan
keterangan mengenai struktur material tersebut. Skema pada Gambar 2.10. akan memperlihatkan interaksi tersebut. Sebagian berkas yang jatuh dihamburkan
kembali, yaitu sinar-x karakteristik, elektron sekunder, Backscattered electron, Cathodoluminescence dan elektron Auger sedangkan sebagian ada yang terserap
dan ada juga yang dapat menembus spesimen, yaitu elektron yang mempunyai energi cukup tinggi. Bila spesimen cukup tipis, sebagian akan menembus
spesimen dan sebagian lagi akan dihamburkan secara elastis tanpa kehilangan energinya dan sebagian secara inelastis. Interaksi berkas elektron dengan atom
dalam spesimen menghasilkan pelepasan elektron berenergi rendah, yaitu sinar-x, dan elektron Auger, yang semuanya dapat digunakan untuk mengkarakteristik
material Smallman, 1991. Pancaran berkas elektron akibat interaksi dengan spesimen dapat dilihat pada Gambar 2.10.
Gambar 2.10. Pancaran berkas elektron akibat interaksi dengan spesimen. Principles of SEM, Training Textbook
Energi sinar-x yang dinyatakan dalam keV dideteksi per canal faktor tidak tetap, kira-kira 10 eVcanal. Dalam prakteknya, teknik EDX sangat sering
28 digunakan untuk analisis unsur secara kuantitatif, yaitu untuk mengetahui
prosesntase unsur-unsur yang terkandung di dalam sampel dan analisis unsur secara kualitatif, yaitu untuk mengetahui unsur-unsur yang terkandung di dalam
sampel.
29
BAB III METODOLOGI PENELITIAN
3.1. Waktu dan Tempat Penelitian
1. Preparasi sample dan Pembuatan lapisan tipis S
n
O
2
dilakukan pada bulan November sampai dengan Desember 2006 di Pusat Penelitian
dan Pengembangan Teknologi Maju P3TM, Badan Tenaga Nuklir
Nasional BATAN, Yogyakarta.
2. Karakterisasi resistansi menggunakan Profesional Multimeter Digital seri : UT 70A dilakukan pada bulan Januari sampai dengan Februari
2007 di Pusat Penelitian dan Pengembangan Teknologi Maju P3TM,
Badan Tenaga Nuklir Nasional BATAN, Yogyakarta.
3. Karakterisasi struktur mikro dan analisis komposisi kimia menggunakan SEMEDX milik LP3G Lembaga Pusat Penelitian dan
Pengembangan Geologi dilakukan pada tanggal 28 Februari sampai dengan 2 Maret 2007 di PPPG Pusat Penelitian dan Pengembangan
Geologi, Bandung.
3.2. Bahan dan Alat Penelitian
3.2.1. Bahan yang dipakai
Bahan-bahan yang dipergunakan dalam penelitian ini adalah sebagai berikut :
1. S
n
O
2
sebagai bahan target 2. Substrat dari kaca slide microscope
3. Gas Argon Ar 99,999
30 4. Bahan pembersih substrat kaca berupa air, deterjen dan alcohol
5. Plastik klip sebagai tempat penyimpanan substrat yang telah dibersihkan.
3.2.2. Alat-alat yang dipergunakan
3.2.2.1. Alat-alat preparasi bahan
Alat-alat yang dipakai untuk preparasi bahan, yaitu : 1. pemotong kaca;
2. ultrasonic cleanser; 3. penggaris;
4. pinset; 5. hair dryer.
3.2.2.2. Alat-alat Pembuatan Lapisan Tipis S
n
O
2
Pembuatan lapisan tipis S
n
O
2
menggunakan mesin sputtering DC. Skema mesin sputtering DC dapat ditunjukkan pada Gambar 2.1. dengan alat-alat
pendukungnya : 1. Tabung reaktor plasma
Tabung terbuat dari stainles steel berbentuk silinder dengan diameter 12 cm dan tinggi 2,5 cm. Di dalamnya terdapat dua elektroda dengan
jarak pisah 2 cm. Pada anoda diberi elemen pemanas dan pada katoda diberi pendingin.
