39 pada bagian kedua tepi substrat yang telah dilapisi S
n
O
2
. Pemberian kontak perak akan mempengaruhi hasil pengukuran nilai resistansi karena akan memperbesar
daerah sample yang terhubung sehingga arus-arus yang lewat semakin mudah terdeteksi.
Lapisan tipis S
n
O
2
yang terbentuk di atas substrat kaca berwarna agak putih buram. Tebalnya lapisan tipis tergantung dari lamanya waktu deposisi. Hal
ini ditandai dengan lapisan warna putih buram yang semakin tebal sebanding dengan bertambahnya waktu deposisi. Sedangkan hasil dari kontak perak akan
ditandai dengan lapisan warna agak kehitaman pada kedua tepi substrat.
4.1.2. Karakterisasi lapisan tipis S
n
O
2
Setiap alat tentu mempunyai sifat dan karakteristik tersendiri yang tergantung dari prinsip kerjanya. Untuk lapisan tipis S
n
O
2
yang baik sebagai sensor gas, dengan prinsip kerja dari sensor gas itu sendiri adalah berdasarkan
perubahan resistansi dari bahan akibat kehadiran gas-gas di sekelilingnya, dimana semakin kecil perubahan resistansi dari lapisan tipis berarti semakin tinggi
sensitivitas suatu sensor gas tersebut. Telah dilakukan karakterisasi lapisan tipis S
n
O
2
, yang meliputi pengamatan morfologi permukaan dan ketebalan lapisan tipis menggunakan SEM,
analisis komposisi kimia menggunakan EDX, dan sifat kelistrikanresistansi dari lapisan tipis menggunakan multimeter digital. Pengukuran dan pengamatan ini
bermaksud untuk megetahui pada kondisi waktu deposisi berapa sample terukur dengan sensitive.
40 Dari nilai pengukuran resistansi menggunakan multimeter digital akan
diperoleh grafik yang menunjukan perubahan nilai resistansi untuk setiap waktu deposisi. Untuk pengamatan morfologi permukaan dan pengukuran ketebalan
lapisan tipis menggunakan SEM akan diperoleh gambarfoto permukaan lapisan tipis baik penampang muka yang menunjukan banyaknya atom yang terdeposisi
maupun penampang lintang lapisan tipis yang menunjukan pertumbuhan dari lapisan tipis tersebut. Dari gambarfoto penampang lintang dapat diukur ketebalan
lapisan tipis dengan membandingkan garis berwarna putih tipis dengan pertumbuhan lapisan tipis, dari perbandingan ini akan didapatkan grafik hubungan
antara ketebalan lapisan tipis dengan waktu deposisi, sedangkan dari gambarfoto permukaan lapisan tipis penampang muka yang menunjukkan banyaknya atom
dapat juga dicari nilai rata-rata dari pertumbuhan butir atom-atom yang terdeposisi dengan menghitung banyaknya butir atom-atom yang terdeposisi per
satuan panjang kemudian dibagi dengan 2, pengukuran ini akan mendapatkan grafik hubungan antara besarnya pertumbuhan butir-butir dengan waktu deposisi.
Untuk analisis komposisi kimia menggunakan EDX hasilnya dapat langsung dilihat pada layar monitor atau dicetak dengan printer. Tampilan pada monitor
berupa puncak-puncak spektrum sinar-x dari masing-masing unsur yang terkandung dalam sampel.
4.1.2.1. Pengaruh Waktu Deposisi Lapisan Tipis S
n
O
2
Terhadap Resistansi
Lapisan tipis yang baik adalah lapisan tipis yang cukup homogen bila dilihat dengan mata biasa, tidak mudah mengelupas dan mempunyai nilai
