38
BAB IV HASIL EKSPERIMEN DAN PEMBAHASAN
4.1. Hasil
Pada bab ini akan diuraikan hasil penelitian serta pembahasannya yang terdiri dari proses pembuatan lapisan tipis S
n
O
2
menggunakan teknik sputtering DC dengan memvariasikan waktu deposisi pada parameter jarak antar elektroda,
tekanan kerja, tegangan antar elektroda dan temperatur substrat tetap. Hasil deposisi lapisan tipis S
n
O
2
dikarakterisasi, yaitu meliputi pengamatan morfologi permukaan dan ketebalan lapisan tipis menggunakan SEM, analisis komposisi
kimia menggunakan EDX, dan sifat kelistrikan dari lapisan tipis menggunakan multimeter digital.
4.1.1. Deposisi lapisan tipis S
n
O
2
dengan teknik sputtering DC
Telah berhasil dilakukan deposisi lapisan tipis S
n
O
2
pada substrat kaca dengan variasi waktu 30 menit, 60 menit, 90 menit, 120 menit dan 150 menit
dengan set alat tetap yaitu : 1. Tekanan kerja
: 3 x 10
-2
Torr 2. Tegangan kerja
: 2 KeV 3. Arus
: 40 mA 4. Temperatur
: 200 C
5. Jarak antar elektroda : 2,5 cm
Pendeposisian lapisan tipis di atas permukaan substrat terdiri atas dua tahap, yaitu proses deposisi lapisan tipis S
n
O
2
dan tahap pembuatan kontak perak
39 pada bagian kedua tepi substrat yang telah dilapisi S
n
O
2
. Pemberian kontak perak akan mempengaruhi hasil pengukuran nilai resistansi karena akan memperbesar
daerah sample yang terhubung sehingga arus-arus yang lewat semakin mudah terdeteksi.
Lapisan tipis S
n
O
2
yang terbentuk di atas substrat kaca berwarna agak putih buram. Tebalnya lapisan tipis tergantung dari lamanya waktu deposisi. Hal
ini ditandai dengan lapisan warna putih buram yang semakin tebal sebanding dengan bertambahnya waktu deposisi. Sedangkan hasil dari kontak perak akan
ditandai dengan lapisan warna agak kehitaman pada kedua tepi substrat.
4.1.2. Karakterisasi lapisan tipis S
n
O
2
Setiap alat tentu mempunyai sifat dan karakteristik tersendiri yang tergantung dari prinsip kerjanya. Untuk lapisan tipis S
n
O
2
yang baik sebagai sensor gas, dengan prinsip kerja dari sensor gas itu sendiri adalah berdasarkan
perubahan resistansi dari bahan akibat kehadiran gas-gas di sekelilingnya, dimana semakin kecil perubahan resistansi dari lapisan tipis berarti semakin tinggi
sensitivitas suatu sensor gas tersebut. Telah dilakukan karakterisasi lapisan tipis S
n
O
2
, yang meliputi pengamatan morfologi permukaan dan ketebalan lapisan tipis menggunakan SEM,
analisis komposisi kimia menggunakan EDX, dan sifat kelistrikanresistansi dari lapisan tipis menggunakan multimeter digital. Pengukuran dan pengamatan ini
bermaksud untuk megetahui pada kondisi waktu deposisi berapa sample terukur dengan sensitive.
Kategori