26 dari penangkapan dan pengolahan elektron sekunder yang dipancarkan oleh
sampel akibat tumbukan dengan berkas elektron berenergi tinggi. Kata kunci dari prinsip kerja SEM adalah Scanning yang berarti bahwa berkas elektron
”menyapu” permukaan sampe, titik demi titik dengan sapuan membentuk garis demi garis, mirip seperti gerakkan mata yang membaca. Sinyal sekunder yang
dihasilkannyapun adalah dari titik pada permukaan, yang selanjutnya ditangkap oleh Secondary Electron SE detektor dan kemudian diolah dan ditampilkan
pada layar CTR Catoda Ray Tube.
Gambar 2.9. Skema dasar dari Scanning Electron Microscope SEM Principles of SEM, Training Textbook
2.3.2.2. Energy Dispersive X-Ray Spektroscopy EDXS
Analisa lapisan tipis menggunakan teknik EDX memanfaatkan pancaran sinar-x karakteristik hasil dari interaksi antara berkas elektron dengan materi.
27 Tumbukan ini menghasilkan beberapa interaksi yang dapat memberikan
keterangan mengenai struktur material tersebut. Skema pada Gambar 2.10. akan memperlihatkan interaksi tersebut. Sebagian berkas yang jatuh dihamburkan
kembali, yaitu sinar-x karakteristik, elektron sekunder, Backscattered electron, Cathodoluminescence dan elektron Auger sedangkan sebagian ada yang terserap
dan ada juga yang dapat menembus spesimen, yaitu elektron yang mempunyai energi cukup tinggi. Bila spesimen cukup tipis, sebagian akan menembus
spesimen dan sebagian lagi akan dihamburkan secara elastis tanpa kehilangan energinya dan sebagian secara inelastis. Interaksi berkas elektron dengan atom
dalam spesimen menghasilkan pelepasan elektron berenergi rendah, yaitu sinar-x, dan elektron Auger, yang semuanya dapat digunakan untuk mengkarakteristik
material Smallman, 1991. Pancaran berkas elektron akibat interaksi dengan spesimen dapat dilihat pada Gambar 2.10.
Gambar 2.10. Pancaran berkas elektron akibat interaksi dengan spesimen. Principles of SEM, Training Textbook
Energi sinar-x yang dinyatakan dalam keV dideteksi per canal faktor tidak tetap, kira-kira 10 eVcanal. Dalam prakteknya, teknik EDX sangat sering
