bagian 2
b Campurkan bagian 1 dengan bagian 2 ke dalam 1.5 bagian H
2
O 19. 5g
H
5
IO
6
, 50 ml H
2
O, 2 ml HF, 5mg KI Periodic HF
www.virginiasemi.com ,
techvirginiasemi.com
2.5. Mikroskop Elektron Payaran SEM
Struktur permukaan suatu benda uji dapat dipelajari dengan menggunakan mikroskop elektron payaran, karena jauh lebih mudah untuk mempelajari struktur permukaan ini
secara langsung.
Dengan berkas sinar elektron difokuskan ke suatu titik dengan diameter sekitar 100 Å dan digunakan untuk melihat permukaan dalam suatu layar. Elektron-
elektron dari benda uji difokuskan dengan suatu elektroda elektrostatik pada suatu alat
Yedid Novrianus Larosa : Studi Pengetsaan Bentonit Terpilar Fe
2
O
3
, 2007 USU Repository © 2008
pemantul yang dimiringkan. Sinar yang dihasilkan diteruskan melalui suatu pipa sinar pantulan ke suatu alat pembesar foto dan sinyal yang dapat digunakan untuk
memodulasikan terangnya suatu titik osiloskop yang melalui suatu layar dengan adanya persesuaian dengan berkas sinar elektron pada permukaan benda uji
Gambar 2.9. Gambaran yang diperoleh pada layar osiloskop sama dengan
gambaran optik, dan biasanya benda uji digeser ke arah kolektor pada sudut kecil 30
o
terhadap horizontal, untuk alat yang umum dipakai.
Sebagai pengertian awal, mikroskop elektron payaran menggunakan hamburan balik elektron-elektron dengan E = 30 kV, yang merupakan energi datang,
dan elektron-elektron sekunder dengan E = 100 eV yang dipantulkan dari benda uji.
Gambar 2.9
Pemencaran elektron-elektron yang datang oleh lempengan tipis dengan spesimen yang bulky ditransmisikan, berkas yang dipencarkan
secara elastis dan inelastis diserap. Karena elektron-elektron sekunder mempunyai energi yang lebih rendah,
maka elektron-elektron tersebut dapat dibelokkan membentuk sudut dan menimbulkan bayangan topografi. Intensitas dari hamburan balik elektron-elektron yang cenderung
tertimbun karena dengan energinya yang lebih tinggi, maka tidak mudah untuk dikumpulkan oleh sistem kolektor normal seperti yang digunakan pada elektron
mikroskop payaran. Jika elektron-elektron sekunder terkumpul, maka kisi di depan detektor akan mengalami kemiringan sekitar 200 eV. Smallman, 1991.
Yedid Novrianus Larosa : Studi Pengetsaan Bentonit Terpilar Fe
2
O
3
, 2007 USU Repository © 2008
BAB III
BAHAN DAN METODE PENELITIAN
3.1. Alat-alat
